資料庫
SPOS 技術(shù)在半導(dǎo)體CMP 制程中的應(yīng)用
-
本文由 上海奧法美嘉生物科技有限公司 整理匯編
2021-04-07 19:39 684閱讀次數(shù)
文檔僅可預(yù)覽首頁內(nèi)容，請(qǐng)下載后查看全文信息！
-
立即下載
SPOS 技術(shù)在半導(dǎo)體CMP 制程中的應(yīng)用
登錄或新用戶注冊(cè)
請(qǐng)用手機(jī)微信掃描下方二維碼
快速登錄或注冊(cè)新賬號(hào)
微信掃碼，手機(jī)電腦聯(lián)動(dòng)
更多資料
-
SPOS 技術(shù)在半導(dǎo)體CMP 制程中的應(yīng)用- SPOS 技術(shù)在半導(dǎo)體CMP 制程中的應(yīng)用[詳細(xì)]
-
2021-04-07 19:39
應(yīng)用文章
-
- SPOS技術(shù)在半導(dǎo)體CMP制程中的應(yīng)用
- SPOS技術(shù)在半導(dǎo)體CMP制程中的應(yīng)用[詳細(xì)]
-
2024-09-29 11:24
標(biāo)準(zhǔn)
-
- CPS在CMP中的應(yīng)用
- CPS在CMP中的應(yīng)用[詳細(xì)]
-
2009-10-28 00:00
選購指南
-
- DLS技術(shù)和SPOS技術(shù)在檢測(cè)脂肪乳丙泊酚的應(yīng)用
- DLS技術(shù)和SPOS技術(shù)在檢測(cè)脂肪乳丙泊酚的應(yīng)用[詳細(xì)]
-
2016-01-14 00:00
應(yīng)用文章
-
- DLS 技術(shù)和SPOS 技術(shù)在檢測(cè)脂肪乳丙泊酚的應(yīng)用
- DLS技術(shù)和SPOS技術(shù)在檢測(cè)脂肪乳丙泊酚的應(yīng)用一、摘要:脂肪乳在生產(chǎn)過程中通常要經(jīng)過高壓均質(zhì)化處理，但勻質(zhì)化過程卻并不總是很穩(wěn)定的。使用相同原料、相同勻質(zhì)工藝可以得到滿足質(zhì)量要求的穩(wěn)定乳液，但有些時(shí)候卻不理想。即使幾個(gè)大乳液滴都有可能破壞乳液的穩(wěn)定性而在投放市場(chǎng)之前即出現(xiàn)相分離。此外，過度勻質(zhì)化處理更易破壞脂肪乳的穩(wěn)定性如何檢測(cè)乳劑的尾端穩(wěn)定性。需要及時(shí)檢測(cè)乳液中大粒子的含量。關(guān)鍵詞:脂肪乳DLS動(dòng)態(tài)光散射SPOSUSP<729>PFAT5值二、客戶遇到的問題:某醫(yī)藥研發(fā)公司研發(fā)的脂肪乳丙泊酚，一直不穩(wěn)定，通過粒徑分析儀分析平均粒徑參照標(biāo)準(zhǔn)也沒發(fā)現(xiàn)有異常。該公司判斷是大顆粒很多，需要找到大顆粒的含量來判斷該脂肪乳是否穩(wěn)定合格。三、解決方案:根據(jù)美國藥典USP<729>分別用MethodI測(cè)試平均粒徑（MDD）和MethodII測(cè)試PFAT5值。MethodⅠ：顆粒平均粒徑的測(cè)定，利用動(dòng)態(tài)光散射法（DLS）原理測(cè)定樣品可以得到圖一結(jié)果，顯示出其平均粒徑大小和乳滴分布。MethodⅡ：大顆粒尾部分布的測(cè)定，利用SPOS單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)原理來測(cè)定圖一中Large-DiameterTail部分。PFAT5值是指大顆粒尾部（Large-DiameterTail）分布規(guī)定，其待測(cè)樣品中顆粒的體積粒徑值(X)在5μm＜X＜50μm之間的比例占總的所測(cè)體積徑的百分比要小于0.05%。圖1平均粒徑和單顆粒計(jì)數(shù)檢測(cè)的尾端粒子的區(qū)別用NICOMP380和Accusizer780APS分別測(cè)試穩(wěn)定的脂肪乳丙泊酚成品A和不穩(wěn)定的脂肪乳B(油相20%)。圖2和圖3是NICOMP380檢測(cè)丙泊酚平均粒徑分布。圖4和圖5為AccuSizer780APS全自動(dòng)顆粒計(jì)數(shù)分析儀測(cè)試分析該兩份丙泊酚樣品的尾端分布。圖2圖3：NICOMP380將穩(wěn)定的樣品A和不穩(wěn)定的樣品B進(jìn)行疊加對(duì)比，發(fā)現(xiàn)平均粒徑并沒有很大改變，雖然觀察到有大顆粒存在，但是大于5μm的顆粒很難判定出含量。圖4為丙泊酚脂肪乳成品A。PFAT5值=0.002%＜0.05%，該成品A穩(wěn)定，通過USP729要求。圖5為不穩(wěn)定的脂肪乳B。PFAT5值=0.130%＞0.05%，該脂肪乳B不穩(wěn)定，大顆粒(＞5μm)含量超標(biāo)。四、結(jié)果：Z終該公司在生產(chǎn)工藝中找到了產(chǎn)生大顆粒的原因，及時(shí)采取措施提高了產(chǎn)品的質(zhì)量。五、結(jié)論：DLS動(dòng)態(tài)光散射方法給出了樣品的平均粒徑分布，SPOS單顆粒技術(shù)給出了尾端大顆粒的真實(shí)分布信息，將兩者結(jié)合起來測(cè)試脂肪乳的穩(wěn)定性。樣品的粒度分析。雖然激光衍射儀器有著寬廣的測(cè)試范圍和快速測(cè)試的優(yōu)勢(shì)，但是其本身原理太依賴于光學(xué)部件，在2μm處的衍射環(huán)辨析率不高。SPOS單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)不僅給出了顆粒粒徑的分布情況，還對(duì)粒子數(shù)目有著真實(shí)的檢測(cè)計(jì)數(shù)。用來檢測(cè)過濾效率，既極ng確，又一目了然。[詳細(xì)]
-
2024-09-29 00:10
產(chǎn)品樣冊(cè)
-
- CMP 研磨液中顆粒的評(píng)價(jià)技術(shù)
- CMP 研磨液中顆粒的評(píng)價(jià)技術(shù)[詳細(xì)]
-
2021-04-07 19:41
應(yīng)用文章
-
- 低溫聚酰亞胺工藝在后端制程上的應(yīng)用(1)
- 低溫聚酰亞胺工藝在后端制程上的應(yīng)用(1)[詳細(xì)]
-
2024-09-18 18:06
應(yīng)用文章
-
- CMP 漿體粒徑分析：SPOS 與費(fèi)朗霍夫
- CMP 漿體粒徑分析：SPOS 與費(fèi)朗霍夫[詳細(xì)]
-
2021-04-07 19:29
應(yīng)用文章
-
- 短波紅外相機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
- 短波紅外相機(jī)可以靠紅外線成像。這點(diǎn)是普通相機(jī)不能做到的。短波紅外的成像原理與可見光十分相似，不同的是短波紅外的波長(zhǎng)可以“繞過”煙、霧、霾中的細(xì)小顆粒；相比中波紅外、長(zhǎng)波紅外，短波紅外擁有更好的細(xì)節(jié)分辨和解析能力，能夠很好的識(shí)別出該目標(biāo)是。這就使得短波紅外在霧霾、煙霧濃重的情況下，仍可對(duì)物體清晰成像。
現(xiàn)代潛艇的光電桅桿需要多光譜的成像與檢測(cè)。例如，可見光成像通常無法透過霧霾、塵、煙觀察目標(biāo)，然而短波紅外卻很容易實(shí)現(xiàn)。這種情況下，短波紅外相機(jī)有著更好的成像效果。
短波紅外與中長(zhǎng)波紅外的一項(xiàng)重要差異是，它利用反射光成像，而不是輻射熱成像。中長(zhǎng)波相機(jī)無法看到海上目標(biāo)的重要特征，比如說艦船的名字、船的特征等，短波紅外相機(jī)可以在此提供輔助
純凈的硅錠在室溫下是透明的，而摻雜型的硅錠在室溫下是不透明的，并且隨著溫度的升高，不透明度也隨之升高；
短波紅外相機(jī)的感光范圍是900-1700nm，而1200nm以上的光可以輕易的穿透摻雜型硅錠，這使得利用短波紅外在半導(dǎo)體材料的品質(zhì)檢測(cè)、硅錠和晶片成品的缺點(diǎn)或裂紋檢測(cè)以及晶元切割過程中的激光對(duì)準(zhǔn)等方向上大有所為。
[詳細(xì)]
-
2024-09-12 16:00
應(yīng)用文章
-
特氟龍?jiān)诎雽?dǎo)體行業(yè)的主要應(yīng)用- 特氟龍?jiān)诎雽?dǎo)體行業(yè)的主要應(yīng)用[詳細(xì)]
-
2024-09-16 07:42
安裝說明
-
- 飛納臺(tái)式掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用
- 飛納臺(tái)式掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用隨著近幾年半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)井噴式的增長(zhǎng)，關(guān)鍵技術(shù)中掃描電鏡的使用也受到的重視，如今臺(tái)式電鏡的操作和維護(hù)越來越簡(jiǎn)便，對(duì)國內(nèi)半導(dǎo)體廠商來說無疑增加了研發(fā)和生產(chǎn)的利器，目前臺(tái)式掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)中主要是用來做形貌觀測(cè)，更重要的是做元素分析等。飛納臺(tái)式掃描電鏡擁有方便的操作，較好的維護(hù)，而且能結(jié)合能譜進(jìn)行快速的元素分析，可以明顯提高企業(yè)效率，是半導(dǎo)體行業(yè)的**選擇?，F(xiàn)在臺(tái)灣的臺(tái)積電，臺(tái)聯(lián)電紛紛登陸ZG，在武漢設(shè)廠，但是成品率，產(chǎn)值，效益都還很有待提高。大陸越來越有作為半導(dǎo)體代工工廠的能力了，如何扎實(shí)做好半導(dǎo)體工藝，提高半導(dǎo)體集成電路設(shè)計(jì)水平，是半導(dǎo)體/微電子行業(yè)未來的工作。半導(dǎo)體行業(yè)的市場(chǎng)現(xiàn)狀在日本，有人把半導(dǎo)體比喻為工業(yè)社會(huì)的稻米，是近代社會(huì)一日不可或缺的。在國防上，惟有扎實(shí)的電子工業(yè)基礎(chǔ)，才有強(qiáng)大的國防能力，1991年的波斯灣戰(zhàn)爭(zhēng)中，美國已經(jīng)把新一代電子武器發(fā)揮得淋漓盡致。自1970年后，美國與日本間發(fā)生多次貿(mào)易摩擦，Z后在許多項(xiàng)目中美國都妥協(xié)了，但是為了半導(dǎo)體，雙方均不肯輕易讓步，Z后兩國政府慎重其事地簽訂了協(xié)議，足證對(duì)此事的重視程度，這是因?yàn)榘雽?dǎo)體工業(yè)發(fā)展的成敗，關(guān)系著國家的命脈，不可不慎。而在臺(tái)灣，半導(dǎo)體工業(yè)是新竹科學(xué)園區(qū)的主要支柱，半導(dǎo)體公司也是Z賺錢的企業(yè)，臺(tái)灣如果要成為明日的科技硅島，半導(dǎo)體工業(yè)是必經(jīng)的途徑。經(jīng)過幾十年的調(diào)整，在國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)景氣度也持續(xù)好轉(zhuǎn)。2016年，超過六成上市公司業(yè)績(jī)預(yù)增。其中，全志科技2015年年報(bào)顯示，實(shí)現(xiàn)營業(yè)利潤(rùn)10883.00萬元，比上年同期增長(zhǎng)11.02%；歸屬于母公司凈利潤(rùn)12,797.54萬元，比上年同期增長(zhǎng)15.99%。此外，中穎電子發(fā)布的一季報(bào)業(yè)績(jī)預(yù)告顯示，預(yù)計(jì)2016年13月份歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)為1300萬至1500萬元，同比增長(zhǎng)84.14%至112.46%。其中，半導(dǎo)體及元件行業(yè)平均凈利潤(rùn)增長(zhǎng)率為14.38%。公司表示，報(bào)告期內(nèi)，因客戶需求同比增加，銷售同比呈現(xiàn)增長(zhǎng)，且因去年同期的盈利基期相對(duì)較低，盈利同比則大幅增長(zhǎng)。飛納臺(tái)式掃描電鏡在半導(dǎo)體存儲(chǔ)芯片中的應(yīng)用1、光學(xué)導(dǎo)航下的半導(dǎo)體樣品，可以清楚的定位到某一個(gè)區(qū)域，飛納電鏡du家的光學(xué)導(dǎo)航，具有內(nèi)置彩色光學(xué)顯微鏡，不僅能實(shí)現(xiàn)快速定位到樣品感興趣位置，還能對(duì)樣品在光學(xué)下進(jìn)行拍照，與電鏡下圖片進(jìn)行對(duì)比：[詳細(xì)]
-
2018-08-22 10:00
產(chǎn)品樣冊(cè)
-
- XOS-TAs 在電子半導(dǎo)體排放廢水監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用
- 背景介紹：電子半導(dǎo)體行業(yè)近幾年發(fā)展特別快，隨之而來的是生產(chǎn)過程中產(chǎn)生了大量的有毒有害廢水，包括酸堿廢水、含氟廢水、金屬廢水、有機(jī)廢水、氰化物廢水等，這些廢水必須經(jīng)過處理達(dá)標(biāo)后才能排放。目前，電子半導(dǎo)體行業(yè)沒有針對(duì)性的污染物排放標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布，其執(zhí)行的標(biāo)準(zhǔn)仍為《污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》，但是，電子半導(dǎo)體企業(yè)對(duì)廢水排放有嚴(yán)格的內(nèi)控指標(biāo)。電子半導(dǎo)體企業(yè)除了監(jiān)控COD、氨氮等常規(guī)指標(biāo)外，也非常重視砷、鉛等一類重金屬污染物的排放量。廈門某電子公司于2015年采購了一臺(tái)XOS總砷分析儀，用于排口廢水總砷監(jiān)測(cè)，測(cè)試數(shù)據(jù)通過MODBUS通訊(儀表自帶RS485接口)傳輸至PLC，實(shí)時(shí)上傳至當(dāng)?shù)丨h(huán)保局。儀表從企業(yè)正常生產(chǎn)后開始運(yùn)行，連續(xù)運(yùn)行兩個(gè)多月無需維護(hù)，測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定，用戶反饋較好。更多關(guān)于該案例的詳情，以及XOS總砷分析儀的，請(qǐng)您下載后查看。[詳細(xì)]
-
2018-08-26 10:00
產(chǎn)品樣冊(cè)
-
- XOS-TAs在電子半導(dǎo)體排放廢水監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用
- XOS-TAs在電子半導(dǎo)體排放廢水監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用[詳細(xì)]
-
2024-09-26 03:34
應(yīng)用文章
-
- DRC-ICP-MS在半導(dǎo)體超純材料分析中的應(yīng)用
- DRC-ICP-MS在半導(dǎo)體超純材料分析中的應(yīng)用[詳細(xì)]
-
2024-09-28 00:05
課件
-
- 固相萃取技術(shù)在環(huán)境分析中的應(yīng)用
- 該文介紹了固相萃取技術(shù)的原理、方法、固相萃取劑種類及該技術(shù)在水、氣、土壤等環(huán)境樣品分析中的應(yīng)用。[詳細(xì)]
-
2018-07-27 13:09
期刊論文
-
- 噴霧干燥技術(shù)在保健食品中的應(yīng)用
- 目前，我國保健食品的功能多集中在免疫調(diào)節(jié)、抗衰老、抗疲勞等領(lǐng)域；隨著人們生活水平的提高，末來的發(fā)展趨勢(shì)是產(chǎn)品功能分布將逐步發(fā)散，趨向合理，中藥保健食品、老年保健食品、職業(yè)保健食品、昆蟲保健食品、海洋保健食品等是我國保健食品末來的發(fā)展方向。[詳細(xì)]
-
2022-02-16 11:32
其它
-
- 微膠囊技術(shù)在化妝品中的應(yīng)用
- 眾所周知，在傳統(tǒng)的配方中，生物活性成分的添加會(huì)導(dǎo)致以下幾方面產(chǎn)品性能的不穩(wěn)定[詳細(xì)]
-
2024-01-16 10:33
其它
-
- 微波技術(shù)在食品工業(yè)中的應(yīng)用
- 微波技術(shù)在食品工業(yè)中的應(yīng)用[詳細(xì)]
-
2024-09-13 17:09
安裝說明
-
- 萃取技術(shù)在環(huán)境監(jiān)測(cè)中的應(yīng)用
- 環(huán)境監(jiān)測(cè)是保護(hù)環(huán)境的基礎(chǔ)，是監(jiān)督管理的重要手段。實(shí)際使用中，環(huán)境樣品通常組分復(fù)雜、雜質(zhì)較多、濃度較低且容易受到多種環(huán)境因素的影響，因此一般都需要對(duì)樣品進(jìn)行前處理，才能進(jìn)行下一步的環(huán)境監(jiān)測(cè)分析。本文ZD講述了目前在環(huán)境監(jiān)測(cè)中常用的幾種萃取方法的作用機(jī)理、應(yīng)用情況及優(yōu)缺點(diǎn)。[詳細(xì)]
-
2024-09-27 23:54
期刊論文
-
- 微波萃取技術(shù)在環(huán)境分析中的應(yīng)用
- 微波萃取技術(shù)在環(huán)境分析中的應(yīng)用[詳細(xì)]
-
2024-09-15 11:24
應(yīng)用文章
Copyright 2004-2026 yiqi.com All Rights Reserved , 未經(jīng)書面授權(quán) , 頁面內(nèi)容不得以任何形式進(jìn)行復(fù)制
在線留言
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號(hào)
參與評(píng)論
登錄后參與評(píng)論