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  西安交通大學(xué)老師發(fā)表利用Picosun ALD沉積石墨烯的技術(shù)應(yīng)用文章[詳細(xì)]

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  利用Picosun的PEALD沉積石墨烯薄膜[詳細(xì)]

  2015-09-23 00:00

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• Picosun ALD應(yīng)用于石墨烯、OLED

  Picosun ALD應(yīng)用于石墨烯、OLED[詳細(xì)]

  2016-01-14 00:00

  應(yīng)用文章

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• (ALD)原子層沉積技術(shù)理論資料

  (ALD)原子層沉積技術(shù)理論資料[詳細(xì)]

  2024-09-11 18:03

  其它

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• ALD 原子層沉積

  ALD原子層沉積可以滿(mǎn)足精確膜厚控制以及高深寬比結(jié)構(gòu)的保形沉積，這方面ALD原子層沉積遠(yuǎn)超過(guò)其它沉積技術(shù)。由于前驅(qū)體流量的隨意性不會(huì)帶來(lái)影響，所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應(yīng)將會(huì)帶來(lái)非統(tǒng)計(jì)的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續(xù)以及無(wú)孔的特性，可以提供優(yōu)異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實(shí)現(xiàn)到大基片上。[詳細(xì)]

  2022-07-28 11:42

  產(chǎn)品樣冊(cè)

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• PICOSUN P-300B ALD 產(chǎn)品是成功的！

  PICOSUN P-300B ALD 產(chǎn)品是成功的！[詳細(xì)]

  2024-09-25 07:12

  期刊論文

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• Picosun 將ALD技術(shù)引入10nm 微處理器制造工藝

  Picosun 將ALD技術(shù)引入10nm 微處理器制造工藝[詳細(xì)]

  2015-04-22 00:00

  實(shí)驗(yàn)操作

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• 原子層沉積技術(shù) PICOSUN? P-300 Advanced產(chǎn)品樣冊(cè)

  原子層沉積技術(shù) PICOSUN? P-300 Advanced產(chǎn)品樣冊(cè)[詳細(xì)]

  2016-10-18 14:55

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  2016-10-18 14:55

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  2016-10-18 14:55

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  2015-11-25 00:00

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