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通過激光直寫技術(shù)制造光子設(shè)備:SEM如何作出貢獻

本文由 復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司 整理匯編

2018-08-22 10:00 410閱讀次數(shù)

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光子設(shè)備被廣泛應(yīng)用于自然科學(xué)中,用于制造,操作和探測光。在未來,制造先進的光子設(shè)備將是一種挑戰(zhàn),并需要靈活性和可調(diào)諧性。因為它們需要先進的三維光刻技術(shù),制造這些設(shè)備并非易事。激光直寫技術(shù)(DLW)是一種有趣的方式,它的目標(biāo)是運用液態(tài)晶體光刻膠作為感光材料。在這篇博客中,我們將描述用于生產(chǎn)人造橡膠光學(xué)可調(diào)諧光子設(shè)備的光刻膠是如何進行特殊設(shè)計和測試的,以及如何用掃描電子顯微鏡(SEM)來幫助設(shè)計改進過程。圖1:激光直寫流程(DWL):i)光束聚焦,ii)激光書寫,iii)開發(fā)和iv)完成結(jié)構(gòu)(A.Selimisetal,MicroelectronicEngineering,132(2015),83-89)。圖2:左邊的SEM顯微圖和線條放大的圖像,是通過不同的激光功率和書寫速度獲得的。圖3:使用不同的光功率和不同光刻膠(ac)、特定結(jié)構(gòu)放大圖(d和e)的掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)圖案,并放大圖像。標(biāo)尺為10m。圖4:圓柱形結(jié)構(gòu)的SEM圖像,用于研究光刻膠的光響應(yīng)。標(biāo)尺寸為10m。

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