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通過激光直寫技術(shù)制造光子設(shè)備:SEM如何作出貢獻
本文由 復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司 整理匯編
2018-08-22 10:00 410閱讀次數(shù)
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光子設(shè)備被廣泛應(yīng)用于自然科學(xué)中,用于制造,操作和探測光。在未來,制造先進的光子設(shè)備將是一種挑戰(zhàn),并需要靈活性和可調(diào)諧性。因為它們需要先進的三維光刻技術(shù),制造這些設(shè)備并非易事。激光直寫技術(shù)(DLW)是一種有趣的方式,它的目標(biāo)是運用液態(tài)晶體光刻膠作為感光材料。在這篇博客中,我們將描述用于生產(chǎn)人造橡膠光學(xué)可調(diào)諧光子設(shè)備的光刻膠是如何進行特殊設(shè)計和測試的,以及如何用掃描電子顯微鏡(SEM)來幫助設(shè)計改進過程。圖1:激光直寫流程(DWL):i)光束聚焦,ii)激光書寫,iii)開發(fā)和iv)完成結(jié)構(gòu)(A.Selimisetal,MicroelectronicEngineering,132(2015),83-89)。圖2:左邊的SEM顯微圖和線條放大的圖像,是通過不同的激光功率和書寫速度獲得的。圖3:使用不同的光功率和不同光刻膠(ac)、特定結(jié)構(gòu)放大圖(d和e)的掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)圖案,并放大圖像。標(biāo)尺為10m。圖4:圓柱形結(jié)構(gòu)的SEM圖像,用于研究光刻膠的光響應(yīng)。標(biāo)尺寸為10m。
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通過激光直寫技術(shù)制造光子設(shè)備:SEM如何作出貢獻
光子設(shè)備被廣泛應(yīng)用于自然科學(xué)中,用于制造,操作和探測光。在未來,制造先進的光子設(shè)備將是一種挑戰(zhàn),并需要靈活性和可調(diào)諧性。因為它們需要先進的三維光刻技術(shù),制造這些設(shè)備并非易事。激光直寫技術(shù)(DLW)是一種有趣的方式,它的目標(biāo)是運用液態(tài)晶體光刻膠作為感光材料。在這篇博客中,我們將描述用于生產(chǎn)人造橡膠光學(xué)可調(diào)諧光子設(shè)備的光刻膠是如何進行特殊設(shè)計和測試的,以及如何用掃描電子顯微鏡(SEM)來幫助設(shè)計改進過程。圖1:激光直寫流程(DWL):i)光束聚焦,ii)激光書寫,iii)開發(fā)和iv)完成結(jié)構(gòu)(A.Selimisetal,MicroelectronicEngineering,132(2015),83-89)。圖2:左邊的SEM顯微圖和線條放大的圖像,是通過不同的激光功率和書寫速度獲得的。圖3:使用不同的光功率和不同光刻膠(ac)、特定結(jié)構(gòu)放大圖(d和e)的掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)圖案,并放大圖像。標(biāo)尺為10m。圖4:圓柱形結(jié)構(gòu)的SEM圖像,用于研究光刻膠的光響應(yīng)。標(biāo)尺寸為10m。[詳細]
2018-08-22 10:00
產(chǎn)品樣冊
桌面激光直寫設(shè)備Dilase_250_Brochure
桌面激光直寫設(shè)備Dilase_250_Brochure[詳細]
2024-09-28 00:12
標(biāo)準(zhǔn)
通過智能測量如何提高鋰離子電池的制造工藝
監(jiān)測鋰離子電池制造過程中的濕度:鋰離子電池在制造過程中對濕度十分敏感。這一具有挑戰(zhàn)性的生產(chǎn)環(huán)境要求濕度探測儀表性能可靠并且對可能在此過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)品具有較強的抵抗性。
出于以下三個原因,干燥空氣管理在鋰離子(Li-ion) 電池制造過程中至關(guān)重要。首先,為了防止發(fā)生可能導(dǎo)致失火和爆炸之類危險的意外化學(xué)反應(yīng);第二,為了防止出現(xiàn)產(chǎn)品質(zhì)量問題;第三,為了在控制與干燥大量氣體相關(guān)聯(lián)的工藝中節(jié)約成本。鋰離子電池制造過程是在干燥室或手套箱中執(zhí)行的,其中,必須對本地微環(huán)境進行控制,以便保持**生產(chǎn)條件。處理環(huán)境的典型露點溫度范圍是從 -50 °C到 -40 °C。使用露點來表示此級別下的水蒸汽濃度,因為相應(yīng)的相對濕度值低于1%。[詳細]
2019-09-19 16:56
應(yīng)用文章
如何啟動SEM
如何啟動SEM[詳細]
2024-09-29 12:08
課件
掃描電鏡(SEM)是如何檢測樣品信息的
掃描電鏡(SEM)是一種用途廣泛的科學(xué)儀器,它可以根據(jù)用戶的需求提供樣品不同類型的信息。在這里我們將闡述在掃描電鏡(SEM)中產(chǎn)生的不同類型的電子,它們是如何被檢測出來的,以及它們可以提供的信息等。電子顯微鏡是通過電子束來成像的。在圖1中,您可以看到電子與物質(zhì)相互作用所產(chǎn)生的各種信號,所有這些不同類型的信號攜帶著關(guān)于樣品的不同的有用信息,由電子顯微鏡的操作人員根據(jù)需要選擇接收的信號。例如在透射電鏡(TEM)中,正如它的名字所示,檢測到的信號是透過樣品的電子,會提供樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的信息。在掃描電鏡(SEM)下,通常需要檢測兩種類型的信號:背散射電子(BSE)和二次電子(SE)。圖1:電子與物質(zhì)相互作用區(qū)域,產(chǎn)生不同類型的信號[詳細]
2018-08-22 10:00
產(chǎn)品樣冊
激光直寫系統(tǒng)3D應(yīng)用資料
激光直寫系統(tǒng)3D應(yīng)用資料[詳細]
2010-10-12 00:00
報價單
激光直寫系統(tǒng)3D應(yīng)用資料
激光直寫系統(tǒng)3D應(yīng)用資料[詳細]
2010-10-12 00:00
期刊論文
激光直寫系統(tǒng)2D應(yīng)用資料
激光直寫系統(tǒng)2D應(yīng)用資料[詳細]
2024-09-28 00:22
課件
雙光子顯微成像光源 —— SPARK LASERS飛秒激光器如何助力 Mini2P 微型雙光子顯微鏡
SPARK LASERS 憑借其 FLeX 激光器內(nèi)置高達 +120,000 fs2 的正 GDD 預(yù)補償能力,徹底省去外部色散補償組件;工廠預(yù)耦合的 HC-920 光纖實現(xiàn)即插即用。[詳細]
2026-02-28 17:06
其它
清潔度設(shè)備技術(shù)協(xié)議
壓力沖洗
通過噴槍對待檢產(chǎn)品以一定壓力或流速,角度進行清洗,萃取并采集殘余顆粒??梢栽O(shè)定噴洗壓力(國標(biāo))或流速(歐標(biāo)),用定量或定時及設(shè)定流速的方式來操作,具體需要根據(jù)不同產(chǎn)品的清潔度操作規(guī)范來進行。
四壁噴淋自清洗
設(shè)備壓力清洗槽上部區(qū)域裝有多個廣角噴頭,可以自動對壓力清洗槽四壁進行清洗,為實驗做好前期準(zhǔn)備。[詳細]
2024-03-22 14:25
產(chǎn)品樣冊
樣品制備:如何使用噴金儀(離子濺射儀)改善SEM 成像
掃描電子顯微鏡(SEM)是一種多功能的工具,在大部分時候,無需什么樣品制備,即可提供各種樣品的納米級信息。而在某些情況下,為了獲得更好的SEM圖像,會推薦或甚至有必要結(jié)合噴金儀(離子濺射儀)使用SEM。在這篇博客中,我們將解釋噴金儀是如何工作的,以及適用的樣品類型。如上所述,SEM幾乎可以對所有類型的樣本進行圖像處理,陶瓷、金屬、合金、半導(dǎo)體、聚合物、生物樣品等。然而,某些特定類型的樣品更具有挑戰(zhàn)性,并且需要操作者進行額外的樣品制備,以便借助SEM收集高質(zhì)量圖片。這些額外的步驟包括在樣品中表面濺射一個額外的導(dǎo)電薄層(~10nm)材料,如金、銀、鉑或鉻等。需要濺射噴金的樣品使用SEM前需要噴金的**類樣品是電子束敏感樣品。這類樣品主要是生物樣品,但也可能是其他種類,例如塑料材料。SEM中的電子束具有較高能量,在與樣品的相互作用過程中,它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是由電子束敏感的材料制成,那么,這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結(jié)構(gòu)。在這種情況下,用一種非電子束敏感材料制成的表面鍍層就可以起到保護層作用,防止此類損傷。另一類經(jīng)常需要濺射噴金的是非導(dǎo)電材料。由于它們的非導(dǎo)電性,其表面帶有“電子陷阱”的作用。這種表面上的電子積累被稱為“充電”,在圖1a中可以看到,樣品上產(chǎn)生了額外的白色區(qū)域,這會影響到樣品的圖像信息。為了消除充電效應(yīng),一種常見的解決該問題的的方法是降低樣品腔的真空度。這樣可以在樣品表面附近引入帶有正電荷的分子。它們與充電電子相互中和,從而消除充電效應(yīng)。這已經(jīng)被證明是一種行之有效的方法。然而,真空室中引入的空氣分子會干擾電子束,影響圖像質(zhì)量。因此,為了追求高質(zhì)量的SEM圖像,則建議選擇使用磁射噴金;鍍層充當(dāng)一個導(dǎo)電通道,使充電電子可以從材料中轉(zhuǎn)移走。在圖1b中,你可以看到用噴金處理去除充電效果的成像。圖1:a)非導(dǎo)電樣品的充電效應(yīng)和b)噴金后的BSD成像在某些情況下,濺射噴金的樣品制備技術(shù)可用于提高圖像的質(zhì)量和分辨率。由于其優(yōu)良的高導(dǎo)電性,在掃描電鏡成像時,濺射材料可以增加信噪比,從而獲得更好的成像質(zhì)量。濺射噴金的缺點由于操作簡單方便,在使用濺射噴金時,幾乎沒有什么顧慮。只是在開始時,用戶需要摸索**參數(shù)以獲得**噴金效果。另外,濺射噴金有一個更重要的缺點:噴金后表面不再是原始材料,元素的襯度信息會發(fā)生丟失。在某些極端情況下,它可能會導(dǎo)致表面形貌失真或呈現(xiàn)樣品的虛假成分信息。然而,在大多數(shù)情況下,只要選擇合理的噴金參數(shù),操作者既能夠獲得高質(zhì)量的成像,又不會損失樣品的原始信息。哪些材料可以作為樣品的鍍層材料?Z常用的濺射材料是金屬,因為它的導(dǎo)電性高,顆粒尺寸相對較小,可以得到高分辨率成像。此外,如果需要EDX分析,SEM操作者通常會將碳鍍在他們的樣品上,因為碳的X射線峰不會與其他元素的峰值發(fā)生沖突。如今,當(dāng)需要超高分辨率成像時,還可以使用其他晶粒組織細小的濺射材料,如鎢、銥或鉻等。另一些鍍層材料如鉑、鈀和銀,則具有可逆性的優(yōu)點。[詳細]
2024-09-28 18:34
產(chǎn)品樣冊
力士樂REXROTH液壓閥如何通過流量的選擇
如果選擇與該流量相當(dāng)?shù)膿Q向閥,在換向動作時可能產(chǎn)生較大的壓力沖擊,為了改善系統(tǒng)工作性能,可選擇大一檔規(guī)格的換向閥;某些系統(tǒng),大部分工作狀態(tài)通過的流量不大,偶然會有大流量通過,考慮到系統(tǒng)布置的緊湊,以及閥本身工作性能的允許,或者壓力損失的瞬時增加,在許可的情況下,不按偶然的大流量工況選取,仍按大部分工作狀況的流量規(guī)格選取,允許閥在短時超流量狀態(tài)下使用也是可以的。對液壓閥流量參數(shù)的選擇,可依產(chǎn)品標(biāo)明的公稱流量為根據(jù)。如果產(chǎn)品能提供通過不同流量時的有關(guān)性能曲線,則對元件的選擇使用就更為合理了。一個液壓系統(tǒng)各部分回路通過的流量不可能都是相同的。因此,不能單純根據(jù)液壓泵的額定輸出流量來選擇閥的流量參數(shù),而應(yīng)該考慮到液壓系統(tǒng)在所有設(shè)計工作狀態(tài)下各部分閥可能通過的Zda流量。如換向閥的選擇則要考慮到如果系統(tǒng)中采用差動油缸,在油缸換向動作時,無桿腔排出的流量比有桿腔排出的流量大許多,甚至可能比液壓泵輸出的Zda流量還要大;再如選擇節(jié)流閥、調(diào)速閥時,不僅要考慮可能通過該閥的Zda流量,還應(yīng)考慮到該閥的Z小穩(wěn)定流量指標(biāo);又如某些回路通過的流量比較大。上海穎哲自動化設(shè)備有限公司專業(yè)代理進口液壓產(chǎn)品ATOS阿托斯MOOG穆格PARKER派克VICKERS威格士REXROTH力士樂HYDAC賀德克WANDFLUH萬福樂HAWE哈威等品牌部分型號現(xiàn)貨,歡迎新老客戶前來詢價~ATOS阿托斯大量現(xiàn)貨,MOOG穆格072G761D634G631系列大量現(xiàn)貨,PARKER派克D1VW系列,D3W系列,F(xiàn)11F12泵系列,派克氣動PHS系列,派克DENISON丹尼遜T6泵系列,VICKERS威格士PVXS系列,REXROTH力士樂PVV系列,特價供應(yīng)[詳細]
2018-09-18 10:00
產(chǎn)品樣冊
超導(dǎo)納米線單光子探測技術(shù)介紹
超導(dǎo)納米線單光子探測技術(shù)介紹[詳細]
2015-05-20 00:00
實驗操作
制造標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
制造標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范[詳細]
2024-09-14 19:41
應(yīng)用文章
布魯克 Micro-CT for SEM
布魯克 Micro-CT for SEM[詳細]
2025-05-14 10:20
產(chǎn)品樣冊
實驗離心技術(shù)的設(shè)備
實驗離心技術(shù)的設(shè)備[詳細]
2008-12-10 00:00
期刊論文
如何通過掃描電鏡能譜分析,給出可信的成分分析結(jié)果?
能譜(EDS)結(jié)合掃描電鏡使用,能進行材料微區(qū)元素種類與含量的分析。其工作原理是:各種元素具有自己的 X 射線特征波長,特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量 E,能譜儀就是利用不同元素 X 射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。 能譜定量分析的準(zhǔn)確性與樣品的制樣過程,樣品的導(dǎo)電性,元素的含量以及元素的原子序數(shù)有關(guān)。因此,在定量分析的過程中既有一些原理上的誤差(數(shù)據(jù)庫及標(biāo)準(zhǔn)),我們無法消除,也有一些人為因素產(chǎn)生的誤差(操作方法),這些因素都會導(dǎo)致能譜定量不準(zhǔn)確。 [詳細]
2020-06-30 13:32
應(yīng)用文章
超聲波清洗技術(shù)在液晶面板制造過程中的應(yīng)用
超聲波清洗技術(shù)在液晶面板制造過程中的應(yīng)用[詳細]
2010-01-12 00:00
期刊論文
Picosun 將ALD技術(shù)引入10nm 微處理器制造工藝
Picosun 將ALD技術(shù)引入10nm 微處理器制造工藝[詳細]
2015-04-22 00:00
實驗操作
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