Q：求問電鏡分辨率1.6nm和0.8nm在實效果差多少？主要觀測半導(dǎo)體芯片，具體差別在哪里？

A：當(dāng)然總的來說空間分辨率越高，成像特征越清晰；但實際應(yīng)用與樣品基體效應(yīng)、分析需求、電鏡優(yōu)勢性能、操作條件比如加速電壓、電流、工作距離，真空環(huán)境等都有關(guān)系，由具體情況決定。

通常供應(yīng)商提供分辨率指標(biāo)都是在特定條件比如高加速電壓下低電流由標(biāo)準(zhǔn)樣品測試得到的。如果觀測半導(dǎo)體芯片，如果看淺表形貌特征，需要低加速電壓，這時候可能電鏡分辨率1.6nm和0.8nm的實際差異不大，要看此電鏡在低加速電壓的分辨能力；

當(dāng)分析對象尺度接近電鏡空間分辨能力的時候，比如幾個納米的形貌特征（小于10nm），可能分辨率1.6nm和0.8nm的不同電鏡能體現(xiàn)出成像差異；但當(dāng)分析特征的尺度遠(yuǎn)大于空間分辨率的時候，比如100nm，從成像上兩者的差別不會很明顯。

以上是經(jīng)驗淺談，畢竟PHI不是電鏡供應(yīng)商，僅供大家參考。

Q：請問AES和SEM-EDS測試的元素分布的區(qū)別？

A：AES和EDS成分分析的主要區(qū)別：

Q：這種AES化學(xué)態(tài)的分析和XPS有什么區(qū)別？

A：總的來說化學(xué)態(tài)分析主要用XPS，而AES主要獲得元素信息，也有一定的化學(xué)態(tài)信息： 

(1)俄歇激發(fā)本身涉及不同軌道能級三個電子的行為，俄歇電子動能與三個電子對應(yīng)的軌道的結(jié)合能相關(guān)，比較難預(yù)測動能變化與化學(xué)態(tài)的相關(guān)性，不像XPS是單電子激發(fā)，原子得電子和失電子帶來的結(jié)合能位移有一定的原則，有助于判斷化學(xué)態(tài)；

(2)俄歇是電子源入射，電子源本身對化學(xué)態(tài)尤其是有機材料的化學(xué)鍵有一定的破壞作用；電子源激發(fā)出的圖譜里有較大的背景（背散電子 彈性散射和非彈性散射背底、二次電子背底等）影響譜峰判定，給化學(xué)態(tài)判斷帶來影響；

(3)AES能量分辨率沒有XPS能量分辨高，AES譜峰寬、譜峰分裂多（多種終態(tài)），不對稱性等都影響化學(xué)態(tài)判斷。而XPS譜峰（能量分辨好、背底干擾小、對稱性好、 特征峰比如軌道分裂峰、衛(wèi)星峰等）有化學(xué)態(tài)特征性。

Q：請問不導(dǎo)電的樣品可以測試AES嗎？

A：俄歇主要用于測導(dǎo)體，半導(dǎo)體，對于絕緣材料除非改善荷電效應(yīng)可以用俄歇分析，但對于有機材料本身電子束對化學(xué)鍵損傷，即使測出有機材料的元素比如C/O/N/S對有機材料的成分分析來說信息非常有限，意義不大。

Q：硅酸鹽粘土礦物可以嗎？也是絕緣性的？AES可以區(qū)分出來不同羥基嗎? Si-OH Al-OH可以區(qū)分出來嗎? 

A：同上，除非能改善荷電效應(yīng)才能分析絕緣材料，本來荷電效應(yīng)大就會使譜峰信號差，譜峰變形嚴(yán)重（展寬、能量位移等），不能進行化學(xué)態(tài)判定，所以主要獲得元素信息，不能識別化學(xué)態(tài)（比如羥基等）。

Q：請問AES在鈣鈦礦太陽能電池上有何應(yīng)用嗎？

A：只要樣品有一定導(dǎo)電性或通過樣品制備改善荷電效應(yīng)，都可以用AES進行分析，所以AES可以分析鈣鈦礦太陽能電池材料（采用導(dǎo)電銅膠固定樣品），但因為鈣鈦礦材料主要是有機金屬鹵化物半導(dǎo)體材料，AES電子束對有機化學(xué)鍵有一定損傷，不能用于化學(xué)態(tài)判定，但可以用俄歇表征元素定性和半定量結(jié)果（里面有特征元素比如Pb/I(Br)等），但也有譜峰重合問題（比如I和O譜峰）；所以總體來說AES對鈣鈦礦材料成分表征有一定局限性。

1.問：求問電鏡分辨率1.6nm和0.8nm在實際效果差多少？主要觀測半導(dǎo)體芯片，具體差別在哪里？

回復(fù)：當(dāng)然總的來說空間分辨率越高，成像特征越清晰；但實際應(yīng)用與樣品基體效應(yīng)、分析需求、電鏡優(yōu)勢性能、操作條件比如加速電壓、電流、工作距離，真空環(huán)境等都有關(guān)系，由具體情況決定。

通常供應(yīng)商提供分辨率指標(biāo)都是在特定條件比如高加速電壓下低電流由標(biāo)準(zhǔn)樣品測試得到的。如果觀測半導(dǎo)體芯片，如果看淺表形貌特征，需要低加速電壓，這時候可能電鏡分辨率1.6nm和0.8nm的實際差異不大，要看此電鏡在低加速電壓的分辨能力；

當(dāng)分析對象尺度接近電鏡空間分辨能力的時候，比如幾個納米的形貌特征（小于10nm），可能分辨率1.6nm和0.8nm的不同電鏡能體現(xiàn)出成像差異；但當(dāng)分析特征的尺度遠(yuǎn)大于空間分辨率的時候，比如100nm，從成像上兩者的差別不會很明顯。

以上是經(jīng)驗淺談，畢竟PHI不是電鏡供應(yīng)商，僅供大家參考。

2.問：請問AES和SEM-EDS測試的元素分布的區(qū)別？

回復(fù): AES 和 EDS成分分析的主要區(qū)別：

3.問：這種AES化學(xué)態(tài)的分析和XPS有什么區(qū)別？

回復(fù): 

總的來說化學(xué)態(tài)分析主要用XPS，而AES主要獲得元素信息，也有一定的化學(xué)態(tài)信息：

1)  俄歇激發(fā)本身涉及不同軌道能級三個電子的行為，俄歇電子動能與三個電子對應(yīng)的軌道的結(jié)合能相關(guān)，比較難預(yù)測動能變化與化學(xué)態(tài)的相關(guān)性，不像XPS是單電子激發(fā)，原子得電子和失電子帶來的結(jié)合能位移有一定的原則，有助于判斷化學(xué)態(tài)；

2)  俄歇是電子源入射，電子源本身對化學(xué)態(tài)尤其是有機材料的化學(xué)鍵有一定的破壞作用；電子源激發(fā)出的圖譜里有較大的背景（背散電子'彈性散射和非彈性散射背底、二次電子背底等）影響譜峰判定，給化學(xué)態(tài)判斷帶來影響；

3)  AES能量分辨率沒有XPS能量分辨高，AES譜峰寬、譜峰分裂多（多種終態(tài)），不對稱性等都影響化學(xué)態(tài)判斷。而XPS譜峰（能量分辨好、背底干擾小、對稱性好、 特征峰比如軌道分裂峰、衛(wèi)星峰等）有化學(xué)態(tài)特征性。

4.問:請問AES在鈣鈦礦太陽能電池上有何應(yīng)用嘛？

回復(fù)：只要樣品有一定導(dǎo)電性或通過樣品制備改善荷電效應(yīng)，都可以用AES進行分析，所以AES可以分析鈣鈦礦太陽能電池材料（采用導(dǎo)電銅膠固定樣品），但因為鈣鈦礦材料主要是有機金屬鹵化物半導(dǎo)體材料，AES電子束對有機化學(xué)鍵有一定損傷，不能用于化學(xué)態(tài)判定，但可以用俄歇表征元素定性和半定量結(jié)果（里面有特征元素比如Pb/I(Br)等）， 但也有譜峰重合問題（比如I和O譜峰）；所以總體來說AES對鈣鈦礦材料成分表征有一定局限性。

5.問：請問不導(dǎo)電的樣品可以測試AES嗎？

回復(fù) : 俄歇主要用于測導(dǎo)體，半導(dǎo)體，對于絕緣材料除非改善荷電效應(yīng)可以用俄歇分析，但對于有機材料本身電子束對化學(xué)鍵損傷，即使測出有機材料的元素比如C/O/N/S對有機材料的成分分析來說信息非常有限，意義不大。

6.問：硅酸鹽粘土礦物可以嗎？也是絕緣性的？AES可以區(qū)分出來不同羥基嗎? Si-OH Al-OH可以區(qū)分出來嗎?

回復(fù): 同上，除非能改善荷電效應(yīng)才能分析絕緣材料，本來荷電效應(yīng)大就會使譜峰信號差，譜峰變形嚴(yán)重（展寬、能量位移等），不能進行化學(xué)態(tài)判定，所以主要獲得元素信息，不能識別化學(xué)態(tài)（比如羥基等）。

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認(rèn)真聽課的小伙伴們，

快快來收一下老師劃的ZD啦~

小伙伴們，上一篇的知識點總結(jié)，大家都認(rèn)真看完了嗎？(～￣▽￣)～

大家提出的問題，老師都一一解答，快來跟我去一探究竟吧！

明天（3月3日）下午三點繼續(xù)解鎖新課程“數(shù)據(jù)處理：數(shù)據(jù)處理原則和MultiPak軟件功能概述”，如果喜歡我們的課程，歡迎朋友圈分享哦￣ω￣=

Q：為何俄歇譜縱坐標(biāo)是：電子數(shù)和能量乘積，XPS的縱坐標(biāo)是只有電子數(shù)而沒有能量?

A：請參考我們的俄歇講堂第二課有關(guān)硬件原理的回放視頻。

Q：俄歇和XPS都用SCA，為何得到信號不同？

A：首先，我不確定我是否清楚這個問題。因此，我會以兩種方式作出回答。diyi種回答：XPS是通過用X射線轟擊樣品,從而產(chǎn)生包括光電子，俄歇電子和二次電子。 結(jié)果中XPS能譜將是這三種電子的疊加。對于AES，它是由電子擊中樣本，產(chǎn)生俄歇電子，二次電子和背散射電子。結(jié)果譜將是這三種電子的疊加。因此，如果我們的問題是為什么XPS和AES的“信號”不同，可以如以上的方法解釋。第二種回答：對于XPS分析，能量分析器將以FAT模式工作，輸入透鏡會對正在偵測電子減速至同一的動能，以讓分析器的通過能保持不變。 對于俄歇分析，能量分析器將以FRR模式工作，偵測中的電子會以固定的減速比進入能量分析器，并時通過能實際上持續(xù)變化。 因此，結(jié)果圖譜也將有所不同。

Q：高和低電子束分析時，樣品深度不一樣嗎？

A：偵測深度不會隨著入射電子束能量的升高或降低而改變。AES是表面分析技術(shù)，因為產(chǎn)生的俄歇電子僅具有?5nm的非彈性平均自由程。無論入射電子束能量是高還是低，這都是相同的。但是，需要注意的一件事是，更高或更低的入射電子束能量將極大地改變背散射電子的行為，當(dāng)中在SEM和AES的結(jié)果都會因為這因素而受到影響。

Q：彈性散射峰的強度忽高忽低，為啥？

A：通常，在進行Zalign調(diào)整工作距離時，我們會看到彈性峰在Z合適的Z值處達(dá)到Z大訊號強度。如果您看到強度信號不穩(wěn)，Z好請工程師進行檢查出真正的原因。

Q：AES能做元素價態(tài)分析嗎？

A：可以。如ppt材料（以及下面）所示，AES能夠?qū)崿F(xiàn)一些化學(xué)態(tài)面掃(Map)分析。

Q：高能區(qū)域的峰信號弱，怎樣改善?

A：可以使用更高的入射電子束能量以獲得在這動能的俄歇峰更好的信噪比。通常我們會說，如果感興趣的俄歇峰 > 1000eV動能，Z好使用較高的入射電子束能量（例如10kV），而如果感興趣的俄歇峰位于較低的KE范圍（<1000eV），那么可以使用較低的入射電子束能量（例如3kV或5kV）去獲得更好的峰值訊噪比圖譜結(jié)果。

Q：如有重疊峰，軟件可以依據(jù)次強峰去自動換算?

A：是的，MultiPak可以很容易地做到這一點。只需將選定的元素改成所希望用的另一軌道的峰(e.g.Cu1改到Cu2)，就可以使用同元素不同軌道俄歇峰做定量。

Q：定量計算式，需要扣除背底嗎?

A：在XPS中我們是使用峰的面積進行定量計算，而在AES中，我們則是使用微分譜中峰對峰(Peak-to-Peak)強度去做定量計算。因此，對于AES定量分析，并不存在扣背景扣除的概念。但是像在PPT講堂中提到，另一些時侯如背景太高而影響峰形時,或需要判斷化學(xué)態(tài)峰形狀等原因，有時我們是會需要對俄歇原始數(shù)據(jù)進行背景扣除的。

AES系列講座雖然已經(jīng)結(jié)束

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Q：如果樣品本身導(dǎo)電呢？是樣品和樣品托底座之間絕緣？

A：樣品本身必須導(dǎo)電，否則很難做俄歇測試，而在HERO模式時，樣品并不是接地而是要和樣品托外側(cè)絕緣。

Q：調(diào)制的電壓連續(xù)變化嗎？

A：測試精細(xì)譜時，調(diào)制電壓不變，儀器在測試一個固定的峰位。

Q：xps里選配的auger是用的什么分析器？

A：半球型（SCA型）。

Q：是樣品和樣品托底座之間絕緣？XPS選配auger用的是SCA？

A：樣品和底座要導(dǎo)電接觸。XPS選配auger半球型（SCA型）。

Q：高分辨測量的時候，調(diào)制電壓是連續(xù)變化的，還是對某一范圍能量電子用一個調(diào)制電壓？

A：測試精細(xì)譜時，調(diào)制電壓不變，儀器在測試一個固定的峰位。

Q：HERO分辨率Z高多少？

A：是0.1% 。

Q：SCA分析器實現(xiàn)高能量分辨是通過什么？

A：在FAT（固定通過能）模式下0.5eV,而在俄歇分析模式下（FRR）也是0.1% 。

Q：cma的mcp是裝在什么部位？

A：如下圖Multi-Channel Detector 的位置。

Q：pass energy 是什么？

A：pass energy是能量分析器允許電子通過時所具備的動能（Kinetic Energy）

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今天下午三點

AES樣品制備、數(shù)據(jù)采集及處理

就等你啦！

1.問：如果樣品本身導(dǎo)電呢？是樣品和樣品托底座之間絕緣？

回復(fù)：樣品本身必須導(dǎo)電，否則很難做俄歇測試，而再HERO模式時，樣品并不是接地而是要和樣品托外側(cè)絕緣。

1.問：如果樣品本身導(dǎo)電呢？是樣品和樣品托底座之間絕緣？

回復(fù)：樣品本身必須導(dǎo)電，否則很難做俄歇測試，而再HERO模式時，樣品并不是接地而是要和樣品托外側(cè)絕緣。

9.問：pass energy 是什么？

回復(fù)： pass energy是能量分析器允許電子通過時所具備的動能（Kinetic Energy）

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隨著移動通信、物聯(lián)網(wǎng)（IoT）和嵌入式系統(tǒng)的快速發(fā)展，系統(tǒng)電源管理接口（System Power Management Interface, SPMI）逐漸成為現(xiàn)代電子設(shè)備中不可或缺的通信協(xié)議。SPMI協(xié)議專為高效管理多電源域、傳感器和外部設(shè)備而設(shè)計，廣泛應(yīng)用于智能手機、汽車電子、工業(yè)控制器等領(lǐng)域。

SPMI是一種基于兩線制（時鐘線SCL、數(shù)據(jù)線SDA）的低功耗串行總線協(xié)議，由MIPI聯(lián)盟制定。其目標(biāo)是實現(xiàn)主控制器（如應(yīng)用處理器）與從設(shè)備（如電源管理IC、傳感器、射頻模塊）之間的高效通信。SPMI支持動態(tài)電壓調(diào)節(jié)（DVFS）、電源狀態(tài)切換和實時監(jiān)控等功能，尤其適用于對功耗敏感的移動設(shè)備。然而，SPMI總線的時序要求嚴(yán)格、協(xié)議層次復(fù)雜，開發(fā)者在調(diào)試過程中需準(zhǔn)確捕捉總線信號并解析數(shù)據(jù)含義。

Prodigy SPMI協(xié)議分析儀是一款硬件與軟件結(jié)合的專業(yè)工具，能夠?qū)崟r捕獲、解析和分析SPMI總線上的通信數(shù)據(jù)。它通過物理層信號抓取、協(xié)議層數(shù)據(jù)解析以及應(yīng)用層交互可視化，幫助工程師快速定位問題、驗證設(shè)計并優(yōu)化系統(tǒng)性能。其設(shè)計理念是“從底層信號到高層語義的無縫銜接”，覆蓋從硬件調(diào)試到固件開發(fā)的完整流程。

Prodigy在印度和東南亞市場擁有更密集的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，其中國區(qū)業(yè)務(wù)由深圳市歐奧電子科技有限公司代理。

好啦，看完老師歸納的ZD，現(xiàn)在來解答小伙伴們的疑惑吧！之后就是俄歇電子能譜ZT講座嘍，說好了，一定要來看?(?????)?

1.用稱量紙包著樣品是不是也不行？

雖然這是目前常見的樣品包裝方式，但是不建議這樣包裝。對于粉末樣品，建議使用潔凈的離心管乘裝樣品，這樣可以避免樣品從稱量紙包裝中撒漏出來。對于薄膜樣品，建議使用潔凈的表面皿并用少量雙面膠固定樣品，這樣可以避免樣品表面接觸其他物質(zhì)造成污染和損傷。

2.粉末狀樣品怎么包裝送樣會防止污染？

如問題（1），對于粉末樣品，建議使用潔凈的離心管盛裝樣品，這樣可以避免樣品被外部污染。另外，對于粉末樣品需要注意的是，部分污染物可能來自于樣品本身，例如合成過程中所使用的表面活性劑，在樣品制備時就要格外注意。

3.含量特別少，在掃全譜時會有譜峰嗎？

對于含量較少的元素，在全譜中可能不會出現(xiàn)明顯的譜峰。遇到此種情況，建議送樣同學(xué)將樣品詳細(xì)信息告知測試?yán)蠋?，然后測試?yán)蠋熆梢酝ㄟ^優(yōu)化測試參數(shù)，例如增大通過能和延長測試時間，在窄譜掃描時來提高低含量元素譜圖的信噪比。但是如果元素含量在ppm甚至ppb級別，建議采用基于質(zhì)譜（如ICP-MS或TOF-SIMS）的分析技術(shù)進行檢測。

4.同一樣品不同元素能用不同pass energy嗎？

這是一個需要值得注意的問題，因為分析器在不同pass energy條件下的傳輸函數(shù)是有差別的。對于PHI的XPS設(shè)備，會對不同pass energy進行校準(zhǔn)靈敏度因子，然后采用校準(zhǔn)的靈敏度因子進行計算元素含量。這種條件下，是可以對同一樣品中不同元素采用不同的pass energy進行測試的。

5.有機晶體如何裝配到樣品臺上？

如果有機晶體的尺寸足夠大，可以采用樣品托所配的Mask進行固定樣品；如果尺寸較小，可以將樣品用導(dǎo)電膠粘附在樣品托上，測試時通過SXI影像對分析位置進行定位。

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新的一天，新的一周開始啦！小伙伴們是否與我一樣開始投入到新的一輪工作與學(xué)習(xí)中了呢？本周將開始關(guān)于數(shù)據(jù)處理的新一輪課程，明天的課程內(nèi)容為“數(shù)據(jù)處理原則和MultiPak軟件功能概述”，想要了解的小伙伴們速速調(diào)好鬧鐘，下午三點準(zhǔn)時開講~

學(xué)習(xí)新知識的同時，也不要忘記溫習(xí)喲！第三課的ZD老師已總結(jié)和歸納好了，我們一起回顧吧！

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