透射式照明法分ZX照明和斜射照明兩種形式： 
    （1） ZX照明：這是Z常用的透射式照明法，其特點(diǎn)是照明光束的中軸與顯微鏡的光軸同在一條直線上。它又分為“臨界照明”和“柯勒照明”兩種。 
    A． 臨界照明（Critical illumination）:這是普通的照明法。這種照明的特點(diǎn)是光源經(jīng)聚光鏡后成像在被檢物體上，光束狹而強(qiáng)，這是它的優(yōu)點(diǎn)。但是光源的燈絲像與被檢物體的平面重合，這樣就造成被檢物體的照明呈現(xiàn)出不均勻性，在有燈絲的部分則明亮；無燈絲的部分則暗淡，不僅影響成像的質(zhì)量，更不適合顯微照相，這是臨界照明的主要缺陷。其補(bǔ)救的方法是在光源的前方放置乳白和吸熱濾色片，使照明變得較為均勻和避免光源的長時(shí)間的照射而損傷被檢物體。 
    B． 柯勒照明：柯勒是十九世紀(jì)末蔡司廠的工程師,為了紀(jì)念他在光學(xué)領(lǐng)域的突出貢獻(xiàn),后人把他發(fā)明的二次成像叫做柯勒照明. 柯勒照明克服了臨界照明的缺點(diǎn)，是研究用顯微鏡中的理想照明法。這中照明法不僅觀察效果佳，而且是成功地進(jìn)行顯微照相所必須的一種照明法。光源的燈絲經(jīng)聚光鏡及可變視場光闌后，燈絲像*次落在聚光鏡孔徑的平面處，聚光鏡又將該處的后焦點(diǎn)平面處形成第二次的燈絲像。這樣在被檢物體的平面處沒有燈絲像的形成，不影響觀察。此外照明變得均勻。觀察時(shí)，可改變聚光鏡孔徑光闌的大小，使光源充滿不同物鏡的入射光瞳，而使聚光鏡的數(shù)值孔徑與物鏡的數(shù)值孔徑匹配。同時(shí)聚光鏡又將視場光闌成像在被檢物體的平面處，改變視場光闌的大小可控制照明范圍。此外，這種照明的熱焦點(diǎn)不在被檢物體的平面處，即使長時(shí)間的照明，也不致?lián)p傷被檢物體。2004年蔡司公司又在傳統(tǒng)柯勒式照明基礎(chǔ)上推出了帶有反光碗的全系統(tǒng)復(fù)消色差照明技術(shù)，消除照明色差，增強(qiáng)光的還原性，進(jìn)而提高分辨率，同時(shí)照明均勻而光效高。 
    （2） 斜射照明：這種照明光束的中軸與顯微鏡的光軸不在一直線上，而是與光軸形成一定的角度斜照在物體上，因此成斜射照明。相襯顯微術(shù)和暗視野顯微術(shù)就是斜射照明。 
      2． 反射式照明 
    這種照明的光束來自物體的上方通過物鏡后射到被檢物體上，這樣物鏡又起著聚光鏡的作用。這種照明法是適用于非透明物體，如金屬，礦物等。

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應(yīng)用工程師 @KLA Instruments

Michelle Shi 是KLA Instrument Group Filmetrics 光學(xué)輪廓儀以及薄膜測(cè)量儀的應(yīng)用工程師。Michelle 于2019年5月加入KLA公司, 擔(dān)任Filmetrics薄膜測(cè)量以及光學(xué)輪廓產(chǎn)品的應(yīng)用，客戶支持以及業(yè)務(wù)開發(fā)，主要支持Profilm3D光學(xué)輪廓儀以及Filmetrics全系列薄膜測(cè)量產(chǎn)品。在加入KLA之前，Michelle在美國俄亥俄大學(xué)獲得物理學(xué)碩士學(xué)位并在NASA Ames硅谷研究ZX進(jìn)行科學(xué)研究，以及在高新科技初創(chuàng)企業(yè)kaiaTech擔(dān)任高級(jí)工藝工程師負(fù)責(zé)半導(dǎo)體薄膜材料的研發(fā)及新應(yīng)用。