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- 521逆水行舟 2017-10-06 02:07:04
- 主要是保證擴(kuò)散泵加熱的。 擴(kuò)散泵泵油在工作之前需要加熱，加熱過程中，如果之前的環(huán)境有大量的空氣分子，那么擴(kuò)散泵泵油會(huì)被污染，抽真空就不利。而且在換工件的時(shí)候，只要關(guān)上前置閥就可，不必全部重啟整個(gè)系統(tǒng)。所以在擴(kuò)散泵前面加一個(gè)閥門，不讓擴(kuò)散泵和真空室直接連通。
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