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- 這有個Lml 2014-07-26 00:00:00
- 無論何種設(shè)備,大體相似:先清洗好材料(如工件和鋁料),然后真空室充氣,再打開真空室,裝好材料,再關(guān)閉真空室,開泵或直聯(lián)泵抽低真空,達到預真空要求后,開擴散泵或分子泵,達到高真空要求后,開前烘,到溫度后開高壓,預置偏轉(zhuǎn)電壓,確保檔板關(guān)閉,開電子槍緩慢加電子束流,確保電子束打在鋁料正中,加大電子束電子流到要求值,穩(wěn)定約一分鐘后開檔板,到時間要求后關(guān)檔板,關(guān)電子槍,關(guān)高壓,關(guān)加熱電源降溫,到溫度后關(guān)擴散泵或分子泵,關(guān)泵或直聯(lián)泵,真空室充氣,取出工件,檢測鋁膜質(zhì)量并記錄。
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