請(qǐng)問(wèn)如何用橢偏儀測(cè)量氧化硅的折射率？
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列為高人，請(qǐng)問(wèn)如何用橢偏儀測(cè)量氧化硅的折射率？其原理是什么？為什么橢偏儀不能測(cè)量厚度大于200納米的氧化硅？？小弟正在困惑中。。。。。。。... 列為高人，請(qǐng)問(wèn)如何用橢偏儀測(cè)量氧化硅的折射率？其原理是什么？為什么橢偏儀不能測(cè)量厚度大于200納米的氧化硅？？小弟正在困惑中。。。。。。。 展開(kāi)
全部評(píng)論(5條)
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- 13934911355mxl 2013-11-05 00:00:00
- 我有一個(gè)關(guān)于你問(wèn)題的資料，如果想要，可以站短
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- 書(shū)生漫畫(huà)作品 2013-11-05 00:00:00
- 橢偏儀方面的paper很多，反射膜厚儀方面的幾乎沒(méi)有，很奇怪！
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- YangjunlLiu 2013-11-05 00:00:00
- 橢偏儀可以測(cè)試多晶硅的膜厚和折射率嗎？怎么測(cè)試。我們現(xiàn)在的一臺(tái)好像只有測(cè)試SIN和SIO2的功能，哪位達(dá)人指教一下呢？
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- pisces611 2013-11-05 00:00:00
- 引用:原帖由 JJ_2ic 于 2008-7-18 09:39 發(fā)表 樓主還是找一些橢偏的資料看看吧，橢偏的技術(shù)方式比較多，但總的來(lái)說(shuō)，反射光的光強(qiáng)和位相在經(jīng)薄膜反射后都會(huì)改變，我們知道，位相的改變是非常敏感的，所以橢偏能夠達(dá)到反射式測(cè)量達(dá)不到的精度。但橢偏有一個(gè)問(wèn)題， ...
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- hdbdmxJicnsnZn 2013-11-05 00:00:00
- 我只有一本關(guān)于橢偏原理的書(shū)，關(guān)于如何測(cè)量折射率，這要看生產(chǎn)廠家提沒(méi)提供這項(xiàng)功能，你用的是誰(shuí)家的機(jī)臺(tái)？我說(shuō)一種方法吧，如果是光譜式的話，需要測(cè)量折射率的那一膜層可以用柯西色散模式建模型，這樣可以將每一波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的折射率以及K值求出來(lái)。所以我想問(wèn)下你用的是哪一家的
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