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晶圓清洗機主要結(jié)構(gòu)特點及工藝流程

那諾—馬斯特中國有限公司 2022-08-18 14:32:14 797  瀏覽
  •  一.產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

    晶圓清洗機主要結(jié)構(gòu)特點:
    1、采用三套獨立的電腦控制機械臂自動化作業(yè)
    2、采用第三代技術(shù),全面完善的防酸防腐措施,保護到機器每一個角落
    3、全自動補液技術(shù)
    4、*的硅片干燥前處理技術(shù),保證硅片干燥不留任何水痕
    5、成熟的硅片干燥工藝,多種先進技術(shù)集于一身

    6、彩色大屏幕人機界面操作,方便參數(shù)設(shè)置多工藝方式轉(zhuǎn)換


    二.產(chǎn)品特點
    晶圓清洗機具有以下特點:
    1、械手或多機械手組合,實現(xiàn)工位工藝要求。
    2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利。
    3、自動上下料臺,準確上卸工件。
    4、凈化烘干槽,*的烘干前處理技術(shù),工作干燥無水漬。
    5、全封閉外殼與抽風系統(tǒng),確保良好工作環(huán)境。
    6、具備拋動清洗功能,保證清洗均勻。
    7、全封閉清洗均勻。

    8、全封閉外殼與抽風系統(tǒng),確保良好工作環(huán)境。


    三、晶圓清洗機工藝流程

        自動上料→去離子水+超聲波清洗+振動篩拋動→堿液+超聲波清洗+拋動→去離子水+超聲波清洗+拋動→堿液+超聲波清洗+拋動→堿液+超聲波清洗+拋動→去離子水+超聲波清洗+拋動+溢流→去離子水+超聲波清洗+拋動+溢流→自動下料


    四、晶圓清洗機應(yīng)用范圍
    1、爐前清洗:擴散前清洗。
    2、光刻后清洗:除去光刻膠。
    3、氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
    4、拋光后自動清洗:除去切、磨、拋的沾污。
    5、外延前清洗:除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。
    6、合金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質(zhì)及光膠殘渣。
    7、離子注入后的清洗:除去光刻膠,SiO2層。
    8、擴散預淀積后清洗:除去預淀積時的BSG和PSG。
    9、CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。
    10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物


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晶圓清洗機主要結(jié)構(gòu)特點及工藝流程

 一.產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

晶圓清洗機主要結(jié)構(gòu)特點:
1、采用三套獨立的電腦控制機械臂自動化作業(yè)
2、采用第三代技術(shù),全面完善的防酸防腐措施,保護到機器每一個角落
3、全自動補液技術(shù)
4、*的硅片干燥前處理技術(shù),保證硅片干燥不留任何水痕
5、成熟的硅片干燥工藝,多種先進技術(shù)集于一身

6、彩色大屏幕人機界面操作,方便參數(shù)設(shè)置多工藝方式轉(zhuǎn)換


二.產(chǎn)品特點
晶圓清洗機具有以下特點:
1、械手或多機械手組合,實現(xiàn)工位工藝要求。
2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面,操作便利。
3、自動上下料臺,準確上卸工件。
4、凈化烘干槽,*的烘干前處理技術(shù),工作干燥無水漬。
5、全封閉外殼與抽風系統(tǒng),確保良好工作環(huán)境。
6、具備拋動清洗功能,保證清洗均勻。
7、全封閉清洗均勻。

8、全封閉外殼與抽風系統(tǒng),確保良好工作環(huán)境。


三、晶圓清洗機工藝流程

    自動上料→去離子水+超聲波清洗+振動篩拋動→堿液+超聲波清洗+拋動→去離子水+超聲波清洗+拋動→堿液+超聲波清洗+拋動→堿液+超聲波清洗+拋動→去離子水+超聲波清洗+拋動+溢流→去離子水+超聲波清洗+拋動+溢流→自動下料


四、晶圓清洗機應(yīng)用范圍
1、爐前清洗:擴散前清洗。
2、光刻后清洗:除去光刻膠。
3、氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、拋光后自動清洗:除去切、磨、拋的沾污。
5、外延前清洗:除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。
6、合金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質(zhì)及光膠殘渣。
7、離子注入后的清洗:除去光刻膠,SiO2層。
8、擴散預淀積后清洗:除去預淀積時的BSG和PSG。
9、CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。
10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物


2022-08-18 14:32:14 797 0
晶圓測試及芯片測試

一、需求目的:1、熱達標;2、故障少 1KJ[&jS ]
二、細化需求,怎么評估樣品:1、設(shè)計方面;2、測試方面 ): r'IR
三、具體到芯片設(shè)計有哪些需要關(guān)注: MW=rX>tE
1、頂層設(shè)計 k\ZU%"^J
2、仿真 Ppx4#j
3、熱設(shè)計及功耗 B<~BX [
4、資源利用、速率與工藝 -&QpQ7q1
5、覆蓋率要求 ytV4qU82G
6、 t~Ic{%bdA
四、具體到測試有哪些需要關(guān)注: SW HiiF@
1、可測試性設(shè)計 W=,]#Z+M;
2、常規(guī)測試:晶圓級、芯片級 8Z 0@-8vi
3、可靠性測試 c{jTCkzq
4、故障與測試關(guān)系 K=dG-+B~}
5、 W@~a#~1O
+V#dJ[,8;.
測試有效性保證; |Lc.XxBkc
設(shè)計保證?測試保證?篩選?可靠性?  x![ut  
設(shè)計指標?來源工藝水平,模塊水平,覆蓋率 cn'r BY

晶圓測試:接觸測試、功耗測試、輸入漏電測試、輸出電平測試、全面的功能測試、全面的動態(tài)參數(shù)測試、   模擬信號參數(shù)測試。 Nh6!h%
晶圓的工藝參數(shù)監(jiān)測dice, V j[,o Vt$
:/;;|lGw
Ul|htB<1:
芯片測試:ATE測試項目來源,邊界掃描 `L.nj6F
=8 DS~J{
  a!;K+wL>
故障種類: :n oZ p:a
缺陷種類: 0|(6q=QK
針對性測試: fc%C!^7
~Ecx>f4nX
性能功能測試的依據(jù),可測試性設(shè)計:掃描路徑法scan path、內(nèi)建自測法BIST-built in self-test YKa9]Q
|PLWF[+t8
t;lK=m|
芯片資源、速率、功耗與特征尺寸的關(guān)系; szy2"~hm
仿真與誤差, {z8wFL\
n 預研階段 Vc "+|^
n 頂層設(shè)計階段 !Ee&e~"
n 模塊設(shè)計階段 e`% <D[-
n 模塊實現(xiàn)階段 Bv}nG|
n 子系統(tǒng)仿真階段 oh >0}Gc8
n 系統(tǒng)仿真,綜合和版面設(shè)計前門級仿真階段 r6}-EYq=
n 后端版面設(shè)計 LLwC*)#
n 測試矢量準備 <*djtO
n 后端仿真 mB*;> 
n 生產(chǎn) eo4v[V&
n 硅片測試 N1'$;9 c
頂層設(shè)計: @Y+9")?
n 書寫功能需求說明 _MUSXB'
n 頂層結(jié)構(gòu)必備項 <7J\8JR&=
n 分析必選項-需要考慮技術(shù)靈活性、資源需求及開發(fā)周期 !Bb^M3iA  
n 完成頂層結(jié)構(gòu)設(shè)計說明 -2y>X`1Y
n 確定關(guān)鍵的模塊(盡早開始) ~6Hi"w
n 確定需要的第三方IP模塊 W/
n 選擇開發(fā)組成員 IsB=G-s
n 確定新的開發(fā)工具 6ieP` bct
n 確定開發(fā)流程/路線 >3y:cPTM5
n 討論風險 GhY MO6Q4
n 預計硅片面積、輸入/輸出引腳數(shù)  開銷和功耗 AJ85[~(lX
n 國軟檢測 芯片失效分析ZX

2019-08-21 11:39:34 579 0
氟塑料磁力泵結(jié)構(gòu)特點及主要分類有哪些
我公司想采購一批耐腐蝕泵用于輸送鹽酸,客戶介紹使用氟塑料磁力泵,因以前位使用過該泵,想在此了解一下氟塑料磁力泵的一些相關(guān)參數(shù)及國內(nèi)生產(chǎn)質(zhì)量比較好的廠家。... 我公司想采購一批耐腐蝕泵用于輸送鹽酸,客戶介紹使用氟塑料磁力泵,因以前位使用過該泵,想在此了解一下氟塑料磁力泵的一些相關(guān)參數(shù)及國內(nèi)生產(chǎn)質(zhì)量比較好的廠家。 展開
2009-02-16 00:58:45 596 3
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2018-03-31 23:42:15 434 1
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有誰知道超聲波故意流程的講一下,謝了!!
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容量瓶的結(jié)構(gòu)特點主要標注和規(guī)格
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2014-10-31 06:20:24 390 1
VOC檢測儀的主要介紹及性能特點

我們有很多的人都了解對于氣體檢測的重要,隨著科技的不斷發(fā)展,不斷的有新的氣體檢測儀的出現(xiàn),來幫助我們解決檢測氣體的難題。

揮發(fā)性有機化合物檢測儀采用先進的光離子化檢測器(Photo lonization De-tector簡稱PID)可以檢測在1ppb(十億分之一)到10,000ppm(百分之一)濃度范圍內(nèi)的多種揮發(fā)性有機化合物(Volatile Organic Compound,簡稱VOC)。

當電離電位(IP)小于紫外燈能量的化合物氣體或蒸氣通過離子化腔時,PID的紫外光源(UV)就會將該化合物擊碎成可被檢測到正負離子(該過程即離子 化)。

檢測器測量離子化后的氣體電荷并將其轉(zhuǎn)化為電流信號,然后電流被放大并轉(zhuǎn)化為濃度值。在被檢測后,離子重新復合成為原來的氣體和蒸氣。

 VOC檢測儀概述可以被PID檢測的揮發(fā)性有機化合物包括(詳情請參閱校正系數(shù)表) 飽和烴及不飽和烴:辛烷、乙烯、環(huán)已烷等芳香類:苯甲、甲苯、萘、硝基苯、氯苯等。酮、醛、醚;丙酮,丙醛,苯甲醚等。胺類:二甲基胺,丁胺等。鹵代烴類:三氯乙烯、三溴甲烷等。硫代烴類:硫化氫、二硫化碳等醇類:乙醇、甲硫醇等脂類:醋酸丁脂,乙酰水楊酸甲脂等。肼類:肼、,二等。除了有機物,PID還可以測量一些不含碳的無機氣體:氨氣、硒化氫、溴和碘類化合物等 。   

要知道對于PID不能檢測的氣體和蒸氣包括放射性氣體(Rm)、空氣(N2、O2、CO2、H2O)常見有毒有害氣體(如CO、SO2),天然氣(甲烷),酸性氣體(如HCI、HF、HNO3)氟利昂氣體、臭氧等。     

1.連續(xù)靈敏測量:PID可以實時檢測低至PPb濃度(十億分之一)的有機物。特別適合現(xiàn)代石油化工、勞動衛(wèi)生、環(huán)境監(jiān)測等部門健康、安全的需要。

2.快速:PID的反應(yīng)較快,一般小于3秒,適合快速應(yīng)急的需要。

3.便攜測量:儀器儀器體積小巧、重量輕,可攜至任何需要檢測的地點。內(nèi)置QL吸氣泵可以吸取人員不便到達地點的待測氣體。

4.安全性高:儀器本質(zhì)安全,且無需氫氣等危險載氣。

5.適應(yīng)性廣:可以檢測1ppb到10,000ppb濃度范圍內(nèi)的絕大多數(shù)的機物。

6.非破壞性測量:由于PID僅僅是使有機物電離,所以在有機組分離開檢測器后會重新復合。因此用戶可以利用PID的QL吸氣泵進行采樣操作,對被測樣品做進一步的實驗室分析。

7.傳感器不會中毒:同大多數(shù)基它原理的檢測器或傳感器不同,采用光學原理的PID檢測器不會被高濃度的被測物質(zhì)損壞。

【VOC檢測儀主要有哪些操作方法及介紹】

VOC檢測儀的介紹

VOC檢測儀有固定式和便攜式的,便攜式的VOC檢測儀操作方便,體積小巧,可以攜帶至不同的生產(chǎn)環(huán)境中。新型VOC檢測儀大多采用PID原理,目前VOC檢測儀這類儀器在各類工廠和環(huán)保部門的應(yīng)用越來越廣。

VOC檢測儀在開放空間中的使用

在開放的工作車間中,采用便攜式的VOC檢測儀,可以隨時、隨地、精確地顯示現(xiàn)場的VOC濃度情況。有的便攜式VOC檢測儀還配有振動警報附件,以免在噪聲中聽不到報警聲音。

VOC檢測儀在密閉空間中的使用

在密閉空間中使用VOC檢測儀應(yīng)注意易燃有害氣體,例如反應(yīng)罐、下水道、船運貨艙、地下設(shè)施等環(huán)境地中。在進入密閉環(huán)境之前,就必須進行檢測。此情形下,必須選擇帶有吸氣泵的檢測儀,因為密閉環(huán)境中由于空氣不流通,氣體擴散較慢,不同部位的氣體分布有較大的不同。例如,可燃氣體質(zhì)量較輕。

大部分分布在密閉空間的上層,一氧化碳質(zhì)量與空氣相近,一般位于密閉空間的中層,像硫化氫這種較重的氣體就位于密閉空間的底部。另外,考慮到密閉空間的危險氣體,應(yīng)使用具有內(nèi)置吸氣泵可以非接觸長距離檢測多氣體功能。同時便于攜帶,不影響工人工作,這樣才能保證進入密閉空間人員的安全。

另外,在進入密閉環(huán)境后,要持續(xù)不斷地對內(nèi)部氣體進行檢測,防止人員進入后發(fā)生泄漏的情況,以及由于溫度等其它情況導致危險氣體濃度變化。

VOC檢測儀在緊急情況中的使用

面對緊急事故、檢查和檢漏,應(yīng)該采用泵吸式,這種情況突出它響應(yīng)時間短、靈敏度高的優(yōu)點,更容易快速檢測出斷泄漏點的位置。


2020-09-18 14:36:36 540 0
知識要點:光電子能譜儀器功能結(jié)構(gòu)及功能特點

期待已久的“光電子能譜儀器功能結(jié)構(gòu)及功能特點”課程的知識要點來啦,知識要點和視頻回放更配哦,讓我們一起共享^_^

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2020-03-04 10:13:39 450 0

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