調(diào)節(jié)閥的結構及特點
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請問調(diào)節(jié)閥的具體結構及特點有哪些?... 請問調(diào)節(jié)閥的具體結構及特點有哪些? 展開
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- 854770408羅 2018-04-01 00:00:00
- 調(diào)節(jié)閥（英文：control valve）國外稱為：控制閥，國內(nèi)習慣稱為：調(diào)節(jié)閥。 用于調(diào)節(jié)工業(yè)自動化過程控制領域中的介質(zhì)流量、壓力、溫度、液位等工藝參數(shù)。根據(jù)自動化系統(tǒng)中的控制信號，自動調(diào)節(jié)閥門的開度，從而實現(xiàn)介質(zhì)流量、壓力、溫度和液位的調(diào)節(jié)。 調(diào)節(jié)閥結構組成 調(diào)節(jié)閥通常由電動執(zhí)行機構或氣動執(zhí)行機構與閥體兩部分共同組成。直行程主要有直通單座式和直通雙座式兩種，后者具有流通能力大、不平衡辦小和操作穩(wěn)定的特點，所以通常特別適用于大流量、高壓降和泄漏少的場合。角行程主要有：V型電動調(diào)節(jié)球閥、電動蝶閥、通風調(diào)節(jié)閥、偏心蝶閥等。 調(diào)節(jié)閥種類 按用途和作用、主要參數(shù)、壓力、介質(zhì)工作溫度、特殊用途（即特殊、專用閥）、驅動能源、結構等方式進行了分類，其中Z常用的分類法是按結構將調(diào)節(jié)閥分為九個大類，6種為直行程，3種為角行程。
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一．產(chǎn)品結構
晶圓清洗機主要結構特點：1、采用三套獨立的電腦控制機械臂自動化作業(yè)2、采用第三代技術，全面完善的防酸防腐措施，保護到機器每一個角落3、全自動補液技術4、*的硅片干燥前處理技術，保證硅片干燥不留任何水痕5、成熟的硅片干燥工藝，多種先進技術集于一身6、彩色大屏幕人機界面操作，方便參數(shù)設置多工藝方式轉換
二．產(chǎn)品特點晶圓清洗機具有以下特點：1、械手或多機械手組合，實現(xiàn)工位工藝要求。2、PLC全程序控制與觸摸屏操作界面，操作便利。3、自動上下料臺，準確上卸工件。4、凈化烘干槽，*的烘干前處理技術，工作干燥無水漬。5、全封閉外殼與抽風系統(tǒng)，確保良好工作環(huán)境。6、具備拋動清洗功能，保證清洗均勻。7、全封閉清洗均勻。8、全封閉外殼與抽風系統(tǒng)，確保良好工作環(huán)境。
三、晶圓清洗機工藝流程自動上料→去離子水+超聲波清洗+振動篩拋動→堿液+超聲波清洗+拋動→去離子水+超聲波清洗+拋動→堿液+超聲波清洗+拋動→堿液+超聲波清洗+拋動→去離子水+超聲波清洗+拋動+溢流→去離子水+超聲波清洗+拋動+溢流→自動下料
四、晶圓清洗機應用范圍1、爐前清洗：擴散前清洗。2、光刻后清洗：除去光刻膠。3、氧化前自動清洗：氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。4、拋光后自動清洗：除去切、磨、拋的沾污。5、外延前清洗：除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。6、合金前、表面鈍化前清洗：除去鋁布線后，表面雜質(zhì)及光膠殘渣。7、離子注入后的清洗：除去光刻膠，SiO2層。8、擴散預淀積后清洗：除去預淀積時的BSG和PSG。9、CVD后清洗：除去CVD過程中的顆粒。10、附件及工具的清洗：除去表面所有的沾污物
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三氣培養(yǎng)箱 結構特點：
§大屏真彩觸摸屏電腦控制型三氣培養(yǎng)箱，能準確直觀地控制培養(yǎng)箱溫度和氣體濃度，以解決現(xiàn)有技術中無法實現(xiàn)人機互動和無法提供清晰的數(shù)據(jù)圖像顯示及參數(shù)配置界面的技術問題，具有安全可靠、簡潔直觀、操作便捷的特點。
采用氣套式結構，工作室采用上等不銹鋼板制作并設有風道，裝有風機形成強制對流，提高了箱內(nèi)溫度均勻性co2，O2濃度的均衡性。
箱門打開時，自動關閉風機（關閉CO2、氮氣進氣閥）并停止加熱，減少空氣的進入而造成的污染。
溫度控制采用微機數(shù)據(jù)分析及智能PID控制，精度高、抗干擾能力強，并采用三探頭分別控制箱溫及門溫，使工作室溫度準確度高波動小。
輕觸式調(diào)節(jié)開關，輕便靈活，顯示及設動的參數(shù)均采用數(shù)字顯示各工作狀態(tài)均有LED指示
具有超溫斷氣等多中保護功能，確保設備安全運行。
采用無菌氣體過濾裝置和紫外線滅jun燈，以減少污染。
自然蒸發(fā)加濕，使工作室保持較好的溫度。
O2檢查采用進口的紅外波導z利及鍍金探頭，確保測量數(shù)據(jù)的準確性，工作室內(nèi)O2濃度可在0~20%范圍內(nèi)任意設定，其控制采用微機數(shù)據(jù)分析智能PID控制，并有超濃度、濃度上升過慢及斷氣報警，02檢測采用進口探頭，確保測量數(shù)據(jù)的準確性，室內(nèi)O2濃度可在1~25%范圍內(nèi)任意設定，其控制采用微機數(shù)據(jù)分析及智能PID控制，并設有超濃度、濃度上升過慢及斷氣報警。
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