新的LPC 500-Avio 500 ICP-OES油品聯(lián)用解決方案簡(jiǎn)化了工作流程，60秒內(nèi)即可得到準(zhǔn)確的結(jié)果

珀金埃爾默日前宣布推出全新LPC 500?液體顆粒計(jì)數(shù)器（LPC 500）平臺(tái)。該平臺(tái)將與珀金埃爾默現(xiàn)有的Avio? 500 ICP-OES油品系統(tǒng)結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)運(yùn)行中油品和潤(rùn)滑油的顆粒計(jì)數(shù)和粒度以及磨損金屬元素分析。

正在申請(qǐng)ZL的LPC 500平臺(tái)采用單顆粒光學(xué)傳感（SPOS）技術(shù)，結(jié)合Avio 500系統(tǒng)，使?jié)櫥蜋z測(cè)實(shí)驗(yàn)室能夠在一次高度精確的運(yùn)行中同時(shí)完成兩個(gè)原本獨(dú)立的分析，而且一分鐘之內(nèi)即可得到結(jié)果。

這種新型改進(jìn)方法將大大提高實(shí)驗(yàn)室工作效率，幫助他們?yōu)楣I(yè)、清潔能源和石化領(lǐng)域的客戶更快地獲得重要結(jié)果。

將LPC 500 - Avio 500 ICP-OES油品解決方案與珀金埃爾默lingxian的工業(yè)檢測(cè)產(chǎn)品組相結(jié)合，將可以大大簡(jiǎn)化實(shí)驗(yàn)室整體工作流程——既省時(shí)又省錢。

通過(guò)組合和優(yōu)化兩種分析技術(shù)的強(qiáng)大功能，新解決方案的單批次處理量可增至數(shù)百個(gè)樣品之多。聯(lián)用方案僅需對(duì)樣品進(jìn)行一次預(yù)處理、樣品消耗量更少，不僅可以節(jié)省樣品采集和預(yù)處理時(shí)間，還可以降低樣品運(yùn)輸、儲(chǔ)存和廢液處理成本。

此外，LPC 500 - Avio 500 ICP-OES油品解決方案利用珀金埃爾默的Syngistix? for ICP軟件簡(jiǎn)化并加速工作流程和報(bào)告，可生成直觀、匯總的結(jié)果供查看、分享、預(yù)定義分析方法以及向LIMS無(wú)縫導(dǎo)出結(jié)果。

這一解決方案的經(jīng)濟(jì)效益還體現(xiàn)在它小巧的設(shè)計(jì)，節(jié)約了實(shí)驗(yàn)室空間，LPC 500是目前業(yè)內(nèi)占用實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)面積Z小的顆粒計(jì)數(shù)儀器。

珀金埃爾默應(yīng)用市場(chǎng)副總裁兼總經(jīng)理金南勳表示：“在用油品的顆粒和磨損金屬元素分析對(duì)于重型設(shè)備和機(jī)械的性能優(yōu)化至關(guān)重要。我們的LPC 500-Avio 500 ICP-OES油品系列提供了一種成熟且易于使用的解決方案。這種業(yè)界shouchuang的方法可以節(jié)省實(shí)驗(yàn)室時(shí)間、金錢和工作臺(tái)空間，同時(shí)客戶可以獲得更快、更準(zhǔn)確的響應(yīng)，幫助優(yōu)化性能并滿足ASTM D5185和ISO 4406等關(guān)鍵標(biāo)準(zhǔn)?！?/span>

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關(guān)于珀金埃爾默：

珀金埃爾默致力于為創(chuàng)建更健康的世界而持續(xù)創(chuàng)新。我們?yōu)樵\斷、生命科學(xué)、食品及應(yīng)用市場(chǎng)推出獨(dú)特的解決方案，助力科學(xué)家、研究人員和臨床醫(yī)生解決Z棘手的科學(xué)和YL難題。憑借深厚的市場(chǎng)了解和技術(shù)專長(zhǎng)，我們助力客戶更早地獲得更準(zhǔn)確的洞見。在，我們擁有12500名專業(yè)技術(shù)人員，服務(wù)于150多個(gè)國(guó)家，時(shí)刻專注于幫助客戶打造更健康的家庭，改善人類生活質(zhì)量。2018年，珀金埃爾默年?duì)I收達(dá)到約28億美元，為標(biāo)準(zhǔn)普爾500指數(shù)中的一員，紐交所上市代號(hào)1-877-PKI-NYSE。了解更多有關(guān)珀金埃爾默的信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)www.perkinelmer.com.cn

珀金埃爾默日前宣布推出全新LPC 500?液體顆粒計(jì)數(shù)器（LPC 500）平臺(tái)。該平臺(tái)將與珀金埃爾默現(xiàn)有的Avio? 500 ICP-OES油品系統(tǒng)結(jié)合，首次實(shí)現(xiàn)對(duì)運(yùn)行中油品和潤(rùn)滑油的顆粒計(jì)數(shù)和粒度以及磨損金屬元素分析。

No.1提高工作效率

正在申請(qǐng)ZL的LPC 500平臺(tái)采用單顆粒光學(xué)傳感（SPOS）技術(shù)，結(jié)合Avio 500系統(tǒng)，使?jié)櫥蜋z測(cè)實(shí)驗(yàn)室能夠在一次高度精確的運(yùn)行中同時(shí)完成兩個(gè)原本獨(dú)立的分析，而且一分鐘之內(nèi)即可得到結(jié)果。

這種新型改進(jìn)方法將大大提高實(shí)驗(yàn)室工作效率，幫助他們?yōu)楣I(yè)、清潔能源和石化領(lǐng)域的客戶更快地獲得重要結(jié)果。

No.2降低工作成本

將LPC 500 - Avio 500 ICP-OES油品解決方案與珀金埃爾默lingxian的工業(yè)檢測(cè)產(chǎn)品組相結(jié)合，將可以大大簡(jiǎn)化實(shí)驗(yàn)室整體工作流程——既省時(shí)又省錢。

通過(guò)組合和優(yōu)化兩種分析技術(shù)的強(qiáng)大功能，新解決方案的單批次處理量可增至數(shù)百個(gè)樣品之多。聯(lián)用方案僅需對(duì)樣品進(jìn)行一次預(yù)處理、樣品消耗量更少，不僅可以節(jié)省樣品采集和預(yù)處理時(shí)間，還可以降低樣品運(yùn)輸、儲(chǔ)存和廢液處理成本。

No.3簡(jiǎn)化工作流程

此外，LPC 500-Avio 500 ICP-OES油品解決方案利用珀金埃爾默的Syngistix? for ICP軟件簡(jiǎn)化并加速工作流程和報(bào)告，可生成直觀、匯總的結(jié)果供查看、分享、預(yù)定義分析方法以及向LIMS無(wú)縫導(dǎo)出結(jié)果。

這一解決方案的經(jīng)濟(jì)效益還體現(xiàn)在它小巧的設(shè)計(jì)，節(jié)約了實(shí)驗(yàn)室空間，LPC 500是目前業(yè)內(nèi)占用實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)面積Z小的顆粒計(jì)數(shù)儀器。

珀金埃爾默應(yīng)用市場(chǎng)副總裁兼總經(jīng)理金南勳表示：“在用油品的顆粒和磨損金屬元素分析對(duì)于重型設(shè)備和機(jī)械的性能優(yōu)化至關(guān)重要。我們的LPC 500-Avio 500 ICP-OES油品系列提供了一種成熟且易于使用的解決方案。這種業(yè)界shouchuang的方法可以節(jié)省實(shí)驗(yàn)室時(shí)間、金錢和工作臺(tái)空間，同時(shí)客戶可以獲得更快、更準(zhǔn)確的響應(yīng)，幫助優(yōu)化性能并滿足ASTM D5185和ISO 4406等關(guān)鍵標(biāo)準(zhǔn)。”

除此以外，我們還為您提供靈活、全面的油品分析方案，助您輕松完成磨損金屬分析和油品狀態(tài)監(jiān)控：

通過(guò)Avio? 系列ICP-OES，可以準(zhǔn)確定量潤(rùn)滑油中多種金屬元素含量，不僅能降低定期拆卸部件進(jìn)行外觀檢查的成本，而且能在部件失效前發(fā)現(xiàn)異常磨損，并了解潤(rùn)滑油中添加劑的損耗情況。

通過(guò)紅外光譜儀檢測(cè)潤(rùn)滑油中可能存在的多種添加劑、降解產(chǎn)物和潛在污染物，確保潤(rùn)滑油在Z佳周期進(jìn)行更換，既可以降低成本，又可以及早發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，及時(shí)采取預(yù)防措施以降低嚴(yán)重機(jī)械損毀風(fēng)險(xiǎn)。

通過(guò)頂空氣相色譜儀檢測(cè)使用過(guò)的發(fā)動(dòng)機(jī)潤(rùn)滑油中的乙烯乙二醇，預(yù)測(cè)發(fā)動(dòng)機(jī)磨損問(wèn)題。

通過(guò)OilPrep?和OilExpress?可以實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守的高通量樣品制備，適應(yīng)不同樣品容器、避免污染，降低人力成本。

掃描上方二維碼，即可獲取珀金埃爾默潤(rùn)滑油解決方案

關(guān)于珀金埃爾默：

珀金埃爾默致力于為創(chuàng)建更健康的世界而持續(xù)創(chuàng)新。我們?yōu)樵\斷、生命科學(xué)、食品及應(yīng)用市場(chǎng)推出獨(dú)特的解決方案，助力科學(xué)家、研究人員和臨床醫(yī)生解決Z棘手的科學(xué)和YL難題。憑借深厚的市場(chǎng)了解和技術(shù)專長(zhǎng)，我們助力客戶更早地獲得更準(zhǔn)確的洞見。在，我們擁有12500名專業(yè)技術(shù)人員，服務(wù)于150多個(gè)國(guó)家，時(shí)刻專注于幫助客戶打造更健康的家庭，改善人類生活質(zhì)量。2018年，珀金埃爾默年?duì)I收達(dá)到約28億美元，為標(biāo)準(zhǔn)普爾500指數(shù)中的一員，紐交所上市代號(hào)1-877-PKI-NYSE。

了解更多有關(guān)珀金埃爾默的信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)www.perkinelmer.com.cn。

珀金埃爾默工程色譜解決方案推出ZX解決方案——Arnel 8071型成品汽油分析儀，遵循ASTM D8071要求，利用氣相色譜-真空紫外光譜法 (GC-VUV) 對(duì)成品汽油樣品中的正構(gòu)烷烴、支鏈烷烴、烯烴、環(huán)烷烴和芳烴等油品族組分 (PIONA) 進(jìn)行完整的化合物類別表征。

Arnel 8071型成品汽油分析儀組合了Clarus^? 690氣相色譜和VUV  PIONA+檢測(cè)器，具備以下特點(diǎn)：

●設(shè)備簡(jiǎn)單，單柱單次進(jìn)樣，無(wú)需預(yù)柱和閥切換，運(yùn)行時(shí)間僅為35分鐘，實(shí)現(xiàn)快速的數(shù)據(jù)自動(dòng)分析。

●VUV Analyze?數(shù)據(jù)分析軟件可采集三維GC-VUV吸光度數(shù)據(jù)（保留時(shí)間、吸光度和波長(zhǎng)），直觀獲得單個(gè)化合物的高度結(jié)構(gòu)化特性。

●VUV Analyze數(shù)據(jù)分析軟件實(shí)現(xiàn)對(duì)共洗脫峰進(jìn)行解卷積的方程和擬合程序，準(zhǔn)確報(bào)告單個(gè)化合物和族組成碳?xì)浠衔锏馁|(zhì)量或體積百分比。

●遵循ASTM D8071要求，在一次進(jìn)樣測(cè)量中獲得所有PIONA化合物類別信息，無(wú)需使用多種ASTM方法等對(duì)不同族組分單獨(dú)測(cè)量。

●VUV Verified?分析物鑒別技術(shù)將PIONA化合物吸光度數(shù)據(jù)與VUV光譜庫(kù)數(shù)據(jù)進(jìn)行快速比較和驗(yàn)證，避免了僅僅通過(guò)比較保留時(shí)間進(jìn)行驗(yàn)證所產(chǎn)生的誤差。

●Clarus 690氣相色譜配有ZL的高性能柱溫箱，具有現(xiàn)有市售柱溫箱中zui快的加熱和冷卻速度，進(jìn)而可顯著縮短運(yùn)行時(shí)間，縮短進(jìn)樣之間的間隔時(shí)間，提高檢測(cè)通量和效率。

珀金埃爾默Arnel 8071型成品汽油分析儀在35分鐘內(nèi)成功完成正構(gòu)烷烴、異構(gòu)烷烴、烯烴、環(huán)烷、芳烴、乙醇、異辛烷、萘、甲基萘、苯、甲苯、乙苯和二甲苯總量等13個(gè)ASTM能力驗(yàn)證樣品的同時(shí)檢測(cè)。

●可靠的PIONA化合物類別和形態(tài)表征

●清晰的共洗脫化合物分辨率

●相較于傳統(tǒng)ASTM方法明顯縮短的運(yùn)行時(shí)間

●與使用ASTM備選方法分析結(jié)果相當(dāng)，準(zhǔn)確可靠

欲詳細(xì)了解珀金埃爾默Arnel 8071型成品汽油分析儀，掃描下方二維碼即刻獲取珀金埃爾默工程色譜解決方案——《8071型氣相色譜-真空紫外法成品汽油分析儀》，或與珀金埃爾默當(dāng)?shù)劁N售人員聯(lián)系。

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在制藥領(lǐng)域，所有計(jì)算機(jī)化系統(tǒng)必須符合21 CFR Part 11 法規(guī)規(guī)定，該法規(guī)設(shè)定了有關(guān)電子記錄、電子簽名、審計(jì)追蹤等方面的標(biāo)準(zhǔn)，確保分析測(cè)試過(guò)程中數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性、完整性和可靠性。珀金埃默爾用于其旗下PinAAcle 系原子吸收、Avio系列電感耦合等離子體發(fā)射光譜和NexION系列電感耦合等離子體質(zhì)譜的Syngistix ES 軟件，用于Spectrum 系列紅外近紅外產(chǎn)品的Spectrum 10 ES軟件，用于LAMBDA系列紫外/可見光譜產(chǎn)品的WinLab ES軟件，以及用于FL 6500和FL8500熒光光譜儀的Spectrum FL ES軟件可完全支持實(shí)驗(yàn)室遵守此規(guī)定。

我們精選出11篇ZX相關(guān)技術(shù)文獻(xiàn)，匯集成《珀金埃爾默應(yīng)用軟件文集》，幫助您更好地了解和使用這些軟件，在日常質(zhì)控檢測(cè)工作中做到合法合規(guī)。文集主要內(nèi)容如下：

1 棄簡(jiǎn)就繁的跨平臺(tái)多類型儀器用Syngistix Enhanced Security軟件

2 軟件加速并簡(jiǎn)化監(jiān)管過(guò)程的Syngistix Enhanced Security軟件

3 符合21CFR Part 11法規(guī)要求的Syngistix for AAS ES軟件

4 常見問(wèn)題回答 —— Syngistix for AAS ES軟件

5 符合21CFR Part 11法規(guī)要求的Syngistix for ICP ES軟件

6 常見問(wèn)題回答 —— Syngistix for ICP ES軟件

7 符合21CFR Part 11法規(guī)要求的Syngistix for ICP-MS ES軟件

8 常見問(wèn)題回答 —— Syngistix for ICP-MS ES軟件

9 數(shù)據(jù)完整性 —— Spectrum 10 ES紅外光譜軟件

10 數(shù)據(jù)完整性 —— Spectrum FL ES 熒光分光光度計(jì)軟件

11 數(shù)據(jù)完整性 —— UV WinLab ES 紫外-可見光譜軟件

欲了解詳細(xì)內(nèi)容，請(qǐng)掃描下方二維碼即刻獲取《珀金埃爾默應(yīng)用軟件文集》。

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波通 Glutomatic^? 2000 系統(tǒng)集觸控屏界面、自動(dòng)化和LIMS互聯(lián)為一體

致力于為創(chuàng)建更健康的世界而持續(xù)創(chuàng)新的技術(shù)型企業(yè)珀金埃爾默，日前推出了Perten Glutomatic^? 2000系統(tǒng)，該系統(tǒng)適用于小麥、硬質(zhì)小麥、粗麥粉和面粉中面筋含量和面筋質(zhì)量檢測(cè)。

該解決方案采用全新的Perten Glutomatic 2000系統(tǒng)，該系統(tǒng)配有現(xiàn)代化用戶操作界面和簡(jiǎn)化的數(shù)據(jù)互聯(lián)性能，專為自動(dòng)化工藝流程而設(shè)，并可與珀金埃爾默高速離心機(jī)2010（含兩個(gè)面筋指數(shù)測(cè)試卡座）和Glutork 2020干燥技術(shù)無(wú)縫集成。

Glutomatic 2000系統(tǒng)使用了Perten面筋指數(shù)法，過(guò)去40年來(lái)，這一方法已成為小麥和面粉面筋測(cè)試的世界標(biāo)準(zhǔn)。

Glutomatic 2000設(shè)有大的觸控屏（支持多語(yǔ)言版本）。貿(mào)易商、小型生產(chǎn)商、食品制造企業(yè)和面包店的操作員可通過(guò)Glutomatic 2000上批準(zhǔn)的測(cè)試程序，根據(jù)儀器提示進(jìn)行操作。儀器會(huì)自動(dòng)計(jì)算并顯示結(jié)果，還可自動(dòng)保存數(shù)據(jù)，以供日后查看和存檔。 

為進(jìn)一步減少手動(dòng)操作時(shí)間，提高結(jié)果的可靠性和重現(xiàn)性，該系統(tǒng)在整個(gè)測(cè)試流程中接入了常用的全自動(dòng)稱重系統(tǒng)，并在物料混合前加入試劑溶液。 

Glutomatic 2000系統(tǒng)兼容LIMS系統(tǒng)和PC，具有強(qiáng)大的數(shù)據(jù)管理和共享能力，其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)允許其在貯倉(cāng)、實(shí)驗(yàn)室、加工車間或烘焙室等不同環(huán)境下工作。 

“面筋測(cè)試可以幫助消費(fèi)者了解他們所購(gòu)買的谷物類食品的質(zhì)量，無(wú)論是意大利面、面包還是菜單上的其他美味，” 珀金埃爾默副總裁兼食品業(yè)務(wù)總經(jīng)理Greg Sears說(shuō)道。 “與此同時(shí)，食品公司希望保持品牌聲譽(yù)，整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的成員都希望獲得更高質(zhì)量的原料以打造更大價(jià)值。我們的Perten Glutomatic 2000系統(tǒng)通過(guò)易用性、準(zhǔn)確性、連通性和基于標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試和分析，幫助行業(yè)實(shí)現(xiàn)這些目標(biāo)。”

Perten Glutomatic 2000系統(tǒng)是一種針對(duì)谷物質(zhì)量和安全檢測(cè)的解決方案，是珀金埃爾默產(chǎn)品家族的一部分，也是珀金埃爾默所提供的涵蓋肉類、乳制品、海產(chǎn)品、農(nóng)產(chǎn)品、食用油、da麻等眾多分析產(chǎn)品中的一部分。

關(guān)于珀金埃爾默

珀金埃爾默致力于為創(chuàng)建更健康的世界而持續(xù)創(chuàng)新。我們?yōu)樵\斷、生命科學(xué)、食品及應(yīng)用市場(chǎng)推出獨(dú)特的解決方案，助力科學(xué)家、研究人員和臨床醫(yī)生解決zui棘手的科學(xué)和YL難題。憑借深厚的市場(chǎng)了解和技術(shù)專長(zhǎng)，我們助力客戶更早地獲得更準(zhǔn)確的洞察。在，我們擁有約13000名專業(yè)技術(shù)人員，服務(wù)于190個(gè)國(guó)家，時(shí)刻專注于幫助客戶打造更健康的家庭，改善人類生活質(zhì)量。2019年，珀金埃爾默年?duì)I收達(dá)到約29億美元，為標(biāo)準(zhǔn)普爾500指數(shù)中的一員，紐交所上市代號(hào)1-877-PKI-NYSE。

了解更多有關(guān)珀金埃爾默的信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)www.perkinelmer.com.cn

新品發(fā)布

致力于為創(chuàng)建更健康的世界而不懈努力的珀金埃爾默，日前宣布推出全新的FT 9700?傅里葉變換近紅外光譜儀。FT 9700?基于珀金埃爾默在設(shè)計(jì)和生產(chǎn)紅外光譜儀方面70余載的豐富經(jīng)驗(yàn)研發(fā)，具有極簡(jiǎn)的操作性、優(yōu)越的性能和出色的性價(jià)比。其設(shè)計(jì)緊湊、完全集成、采樣穩(wěn)定的特性，配合簡(jiǎn)單直觀的ResultPlus觸屏操作界面，確保無(wú)論在實(shí)驗(yàn)室還是現(xiàn)場(chǎng)，F(xiàn)T 9700系統(tǒng)都能開展快速無(wú)損的分析評(píng)價(jià)。

FT 9700?傅里葉變換近紅外光譜儀沿用珀金埃爾默大受好評(píng)的ZLDynascan?干涉儀設(shè)計(jì)以及光學(xué)衛(wèi)士（OpticsGuard）技術(shù)，令儀器經(jīng)久耐用，其標(biāo)準(zhǔn)化的儀器功能，保障不同儀器之間的數(shù)據(jù)高度一致性和模型可傳遞性。FT 9700?標(biāo)配高靈敏度、方法可轉(zhuǎn)移的反射采樣附件（NIRM），并配合磁性可卸的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)固體、液體及粉末樣品的快速直接測(cè)量，1分鐘內(nèi)獲取結(jié)果。全新的ResultPlus觸屏操作界面簡(jiǎn)單直觀，無(wú)論是經(jīng)驗(yàn)豐富的研究人員還是技巧生澀的初學(xué)者，都能輕松操作這款儀器。目前在食品、化工、紡織品、酒類、醫(yī)藥等行業(yè)，F(xiàn)T 9700均可替代傳統(tǒng)的化學(xué)分析方法，實(shí)現(xiàn)快速無(wú)損的分析評(píng)價(jià)，以滿足不斷增長(zhǎng)的科研或不斷發(fā)展的生產(chǎn)要求。

簡(jiǎn)單直觀的ResultPlus操作軟件

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FT 9700?傅里葉變換近紅外光譜儀產(chǎn)品資料

在《光刻膠研發(fā)相關(guān)解決方案推薦（上集）》 中推薦了兩個(gè)光刻膠研發(fā)相關(guān)解決方案，這次我們來(lái)介紹一下光刻膠曝光動(dòng)力學(xué)原位測(cè)試與光刻膠DILL模型建立的相關(guān)解決方案。

光刻膠曝光動(dòng)力學(xué)原位測(cè)試

紫外光-功率補(bǔ)償型差示掃描量熱分析儀

（用于光刻膠在不同紫外波段下的曝光動(dòng)力學(xué)研究）

曝光動(dòng)力學(xué)研究對(duì)于光刻膠的研發(fā)異常關(guān)鍵，因?yàn)槠湫苤苯記Q定了制程良品率和生產(chǎn)效率。為了更加準(zhǔn)確原位模擬光刻膠在不同紫外-可見波段下的曝光歷程，建議增加功率補(bǔ)償型差示掃描量熱分析儀（DSC）和紫外光源聯(lián)用設(shè)備，光源可選汞燈或者LED光源分別模擬不同波段范圍的實(shí)際需求，比如：模擬i線-365 nm，g線-436 nm或者h(yuǎn)線-405nm采用汞燈，DUV區(qū)間則選擇LED光源等等。

目前市面上的DSC分為熱流型和功率補(bǔ)償型兩種原理。前者僅適合常規(guī)的熔點(diǎn)或結(jié)晶過(guò)程的測(cè)定，而功率補(bǔ)償型DSC 8500具備更高的量熱靈敏度，極短的瞬態(tài)背景干擾，且可主動(dòng)補(bǔ)償由于紫外光源照射或固化過(guò)程產(chǎn)生的額外背景溫度/熱量擾動(dòng)，非常適合用于研究光刻膠的固化動(dòng)力學(xué)過(guò)程，為研發(fā)更加穩(wěn)定可靠的新一代無(wú)機(jī)金屬氧化物復(fù)合光刻膠提供準(zhǔn)確熱力學(xué)數(shù)據(jù)支撐。

光刻膠DILL模型建立

——為理論計(jì)算提供支撐

高性能紫外-可見-近紅外分光光度計(jì) [1]

（輔助建立DILL透光模型）

標(biāo)量衍射原理計(jì)算模擬光刻膠的曝光過(guò)程一般采用Dill方程，以Dill模型或者M(jìn)ack模型計(jì)算光刻膠的顯影過(guò)程，獲得其在單位體積分布范圍所吸收的光能大小，該大小最 終決定了光刻膠曝光過(guò)程中各個(gè)組分自身化學(xué)結(jié)構(gòu)的變化速率（反應(yīng)速率）[2]。簡(jiǎn)言之，我們必須保證所研發(fā)的光刻膠在固定的曝光時(shí)效內(nèi)實(shí)現(xiàn)自上而下的均勻透光、反應(yīng)。

DILL模型具備A，B和C三個(gè)參數(shù)。A代表與曝光相關(guān)的吸收參數(shù)，B代表與曝光非相關(guān)的吸收參數(shù)，C則代表光刻膠的漂白速率（化學(xué)物質(zhì)的光化學(xué)反應(yīng)速率）。利用高性能Lambda 1050+ UV-Vis光譜儀可以測(cè)定光刻膠在曝光前后的吸光度信號(hào)，輔助計(jì)算DILL模型所需的各個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，為研究新型光刻膠的曝光顯影模擬提供基礎(chǔ)數(shù)據(jù)支撐。

PerkinElmer光刻膠解決方案

PerkinElmer的科學(xué)家們將會(huì)持續(xù)不斷的用更加全面的解決方案助力半導(dǎo)體行業(yè)蓬勃發(fā)展。

參考文獻(xiàn)：

[1] Andrew Estroff, Photoresist Absorbance and Bleaching.

[2] Chris Mack, Fundamental principles of optical lithography: the science of microfabrication, John Wiley & Sons, 2007.