冰升溫至0℃會變成水，如繼續(xù)使溫度升至100℃，那么水就會沸騰成為水蒸氣。隨著溫度的上升，物質(zhì)的存在狀態(tài)一般會呈現(xiàn)出固態(tài)→液態(tài)→氣態(tài)三種物態(tài)的轉(zhuǎn)化過程，我們把這三種基本形態(tài)稱為物質(zhì)的三態(tài)。那么對于氣態(tài)物質(zhì)，溫度升至幾千度時(shí)，將會有什么新變化呢? 由于物質(zhì)分子熱運(yùn)動(dòng)加劇，相互間的碰撞就會使氣體分子產(chǎn)生電離，這樣物質(zhì)就變成由自由運(yùn)動(dòng)并相互作用的正離子和電子組成的混合物（蠟燭的火焰就處于這種狀態(tài)）。我們把物質(zhì)的這種存在狀態(tài)稱為物質(zhì)的第四態(tài)，即等離子體(plasma)。

因?yàn)殡婋x過程中正離子和電子總是成對出現(xiàn)，所以等離子體中正離子和電子的總數(shù)大致相等，總體來看為準(zhǔn)電中性。反過來，我們可以把等離子體定義為：正離子和電子的密度大致相等的電離氣體。

從剛才提到的微弱的蠟燭火焰，我們可以看到等離子體的存在，而夜空中的滿天星斗又都是高溫的完全電離等離子體。據(jù)印度天體物理學(xué)家沙哈(M．Saha，1893-1956)的計(jì)算，宇宙中的99.9%的物質(zhì)處于等離子體狀態(tài)。而我們居住的地球倒是例外的溫度較低的星球。此外，對于自然界中的等離子體，我們還可以列舉太陽、電離層、極光、雷電等。

在人工生成等離子體的方法中，氣體放電法比加熱的辦法更加簡便高效，諸如熒光燈、霓虹燈、電弧焊、電暈放電等等。在自然和人工生成的各種主要類型的等離子體的密度和溫度的數(shù)值，其密度為106（單位：個(gè)／m3）的稀薄星際等離子體到密度為1025的電弧放電等離子體，跨越近20個(gè)數(shù)量級。其溫度分布范圍則從100K的低溫到超高溫核聚變等離子體108-109K（1-10億度）。

溫度軸的單位eV(electron volt)是等離子體領(lǐng)域中常用的溫度單位，1eV=11600K。

通常，等離子體中存在電子、正離子和中性粒子(包括不帶電荷的粒子如原子或分子以及原子團(tuán))等三種粒子。設(shè)它們的密度分別為ne,ni,nn，由于準(zhǔn)電中性，所以電離前氣體分子密度為ne≈nn。于是，我們定義電離度β=ne/(ne+nn)，以此來衡量等離子體的電離程度。日冕、核聚變中的高溫等離子體的電離度都是100%，像這樣β=1的等離子體稱為完全電離等離子體。電離度大于1%(β≥10-2)的稱為強(qiáng)電離等離子體，像火焰中的等離子體大部分是中性粒子(β<10-3 )，稱之為弱電離等離子體。

若放電是在接近于大氣壓的高氣壓條件下進(jìn)行，那么電子、離子、中性粒子會通過激烈碰撞而充分交換動(dòng)能，從而使等離子體達(dá)到熱平衡狀態(tài)。

若電子、離子、中性粒子的溫度分別為了Te，Ti，Tn，我們把這三種粒子的溫度近似相等(Te≈Ti≈Tn)的熱平衡等離子體稱為熱等離子體(thermal plasma)，在實(shí)際的熱等離子體發(fā)生裝置中，陰極和陽極間的電弧放電作用使得流入的工作氣體發(fā)生電離，輸出的等離子體呈噴射狀，可用作等離子體射流(plasma jet)、等離子體噴焰(plasma torch)等。

另一方面，數(shù)百帕以下的低氣壓等離子體常常處于非熱平衡狀態(tài)。此時(shí)，電子在與離子或中性粒子的碰撞過程中幾乎不損失能量，所以有Te>>Ti , Te>>Tn。我們把這樣的等離子體稱為低溫等離子體(cold plasma)。當(dāng)然，即使是在高氣壓下，低溫等離子體還可以通過不產(chǎn)生熱效應(yīng)的短脈沖放電模式即電暈放電（corona discharge）或電弧滑動(dòng)噴射式放電來生成。

大氣壓下的輝光放電技術(shù)目前也已成為世界各國的研究熱點(diǎn)?？僧a(chǎn)生大氣壓非平衡態(tài)等離子體的機(jī)理尚不清楚，在高氣壓下等離子體的輸運(yùn)特性的研究也剛剛起步，現(xiàn)已形成新的研究熱點(diǎn)。

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冰升溫至0℃會變成水，如繼續(xù)使溫度升至100℃，那么水就會沸騰成為水蒸氣。隨著溫度的上升，物質(zhì)的存在狀態(tài)一般會呈現(xiàn)出固態(tài)→液態(tài)→氣態(tài)三種物態(tài)的轉(zhuǎn)化過程，我們把這三種基本形態(tài)稱為物質(zhì)的三態(tài)。那么對于氣態(tài)物質(zhì)，溫度升至幾千度時(shí)，將會有什么新變化呢? 由于物質(zhì)分子熱運(yùn)動(dòng)加劇，相互間的碰撞就會使氣體分子產(chǎn)生電離，這樣物質(zhì)就變成由自由運(yùn)動(dòng)并相互作用的正離子和電子組成的混合物（蠟燭的火焰就處于這種狀態(tài)）。我們把物質(zhì)的這種存在狀態(tài)稱為物質(zhì)的第四態(tài)，即等離子體(plasma)。因?yàn)殡婋x過程中正離子和電子總是成對出現(xiàn)，所以等離子體中正離子和電子的總數(shù)大致相等，總體來看為準(zhǔn)電中性。反過來，我們可以把等離子體定義為：正離子和電子的密度大致相等的電離氣體。

從剛才提到的微弱的蠟燭火焰，我們可以看到等離子體的存在，而夜空中的滿天星斗又都是高溫的完全電離等離子體。據(jù)印度天體物理學(xué)家沙哈(M．Saha，1893-1956)的計(jì)算，宇宙中的99.9%的物質(zhì)處于等離子體狀態(tài)。而我們居住的地球倒是例外的溫度較低的星球。此外，對于自然界中的等離子體，我們還可以列舉太陽、電離層、極光、雷電等。在人工生成等離子體的方法中，氣體放電法比加熱的辦法更加簡便GX，諸如熒光燈、霓虹燈、電弧焊、電暈放電等等。在自然和人工生成的各種主要類型的等離子體的密度和溫度的數(shù)值，其密度為106（單位：個(gè)／m3）的稀薄星際等離子體到密度為1025的電弧放電等離子體，跨越近20個(gè)數(shù)量級。其溫度分布范圍則從100K的低溫到超高溫核聚變等離子體的108-109K（1-10億度）。 溫度軸的單位eV(electron volt)是等離子體領(lǐng)域中常用的溫度單位，1eV=11600K。

通常，等離子體中存在電子、正離子和中性粒子(包括不帶電荷的粒子如原子或分子以及原子團(tuán))等三種粒子。設(shè)它們的密度分別為ne,ni,nn，由于準(zhǔn)電中性，所以電離前氣體分子密度為ne≈nn。于是，我們定義電離度β=ne/(ne+nn)，以此來衡量等離子體的電離程度。日冕、核聚變中的高溫等離子體的電離度都是1**%，像這樣β=1的等離子體稱為完全電離等離子體。電離度大于1%(β≥10-2)的稱為強(qiáng)電離等離子體，像火焰中的等離子體大部分是中性粒子(β<10-3 )，稱之為弱電離等離子體。

若放電是在接近于大氣壓的高氣壓條件下進(jìn)行，那么電子、離子、中性粒子會通過激烈碰撞而充分交換動(dòng)能，從而使等離子體達(dá)到熱平衡狀態(tài)。若電子、離子、中性粒子的溫度分別為了Te，Ti，Tn，我們把這三種粒子的溫度近似相等(Te≈Ti≈Tn)的熱平衡等離子體稱為熱等離子體(thermal plasma)，在實(shí)際的熱等離子體發(fā)生裝置中，陰極和陽極間的電弧放電作用使得流入的工作氣體發(fā)生電離，輸出的等離子體呈噴射狀，可用作等離子體射流(plasma jet)、等離子體噴焰(plasma torch)等。

另一方面，數(shù)百帕以下的低氣壓等離子體常常處于非熱平衡狀態(tài)。此時(shí)，電子在與離子或中性粒子的碰撞過程中幾乎不損失能量，所以有Te>>Ti , Te>>Tn。我們把這樣的等離子體稱為低溫等離子體(cold plasma)。當(dāng)然，即使是在高氣壓下，低溫等離子體還可以通過不產(chǎn)生熱效應(yīng)的短脈沖放電模式即電暈放電（corona discharge）或電弧滑動(dòng)噴射式放電來生成。大氣壓下的輝光放電技術(shù)目前也已成為世界各國的研究熱點(diǎn)?？僧a(chǎn)生大氣壓非平衡態(tài)等離子體的機(jī)理尚不清楚，在高氣壓下等離子體的輸運(yùn)特性的研究也剛剛起步，現(xiàn)已形成新的研究熱點(diǎn)。

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1.傳統(tǒng)清潔方法的缺點(diǎn)

傳統(tǒng)的清洗方法包括水清洗、有機(jī)溶劑清洗和化學(xué)性質(zhì)。一般將超聲波分離處理、超高壓注入等物理效應(yīng)與增溶轉(zhuǎn)化等化學(xué)效應(yīng)結(jié)合起來，實(shí)現(xiàn)清洗的作用。這種清潔方法看起來很便宜，但它會消耗大量的可再生資源，并造成環(huán)境污染。清洗中常用的有機(jī)溶劑大多是易燃或有害的化學(xué)品，排放的廢水和工業(yè)廢氣對生態(tài)環(huán)境造成了嚴(yán)重的破壞。采用傳統(tǒng)的濕法清洗后，表層總會有大量的水或有機(jī)化學(xué)殘留物，必須選擇其他方法進(jìn)行二次清洗。

2.等離子清洗的優(yōu)點(diǎn)是什么？

等離子清洗可以提高清洗率。整個(gè)清洗和生產(chǎn)過程在10分鐘內(nèi)就能成功，因此具有輸出率高的特點(diǎn)。

等離子體清洗還可以清潔各種材料，無論是金屬材料、半導(dǎo)體材料、金屬氧化物，還是聚合物原料(如聚丙烯、高密度聚乙烯、四氟乙烯、聚酰亞胺薄膜、聚氨酯、環(huán)氧樹脂膠粘劑和其他聚合物化合物)。它還可以清洗各種材料，無論是金屬材料、半導(dǎo)體材料、金屬氧化物，還是聚合物材料，如聚丙烯、高密度聚乙烯、四氟乙烯、聚酰亞胺薄膜、聚氨酯、環(huán)氧樹脂膠粘劑等。因此，它非常適合于不耐高溫和耐溶劑的材料。而且還可以有選擇地做好整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清理工作。

等離子體清洗的真空值約為100Pa，這種清洗條件很容易達(dá)到，因此這種設(shè)備的機(jī)械設(shè)備生產(chǎn)成本不高，清洗工藝不需要使用非常昂貴的有機(jī)溶液，從而使整體生產(chǎn)成本低于傳統(tǒng)濕法清洗工藝。

同時(shí)，當(dāng)清洗和去污成功完成時(shí)，材料本身的表層性能也可以得到改善，如改善表層的潤濕性能、改善薄膜的附著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。

與高精度、高潔凈度標(biāo)準(zhǔn)的電子元件相比，還應(yīng)采用精細(xì)清洗工藝。等離子清洗是一種可以合理、有效地替代化學(xué)清洗的加工技術(shù)。此外，等離子清洗還可以與水清洗工藝相結(jié)合，以增強(qiáng)清洗處理的實(shí)際效果。等離子體干洗也是一種很好的輔助水清洗加工技術(shù)。

等離子清洗機(jī)在清除表層污染源時(shí)不會對健康或安全造成危害。

用于涂層所有的工業(yè)材料、金屬、玻璃、陶瓷

等離子聚合反應(yīng)

單體被導(dǎo)入等離子反應(yīng)腔。等離子使氣體原子化并使其沉積在工藝部件的表面。

應(yīng)用

．疏水層的沉積

．親水層的沉積

．保護(hù)或絕緣層的沉積

．防擴(kuò)散層

適用部件

．精密驅(qū)動(dòng)件

．洗碗機(jī)

．醫(yī)療器械

．車大燈反射鏡

．?dāng)z像頭

．以及其他部件

應(yīng)用領(lǐng)域

．生物芯片制造

．精密機(jī)械制造

．洗碗機(jī)制造

．醫(yī)療器械制造

．傳感器工程

．紡織業(yè)

．鐘表制造業(yè)

．以及其他應(yīng)用領(lǐng)域

對于低壓等離子技術(shù)， 氣體在真空中通過獲取能量從而被激發(fā)。

等離子由高能離子、高能電子以及其它反應(yīng)粒子組成。 由此，等離子材料表面可以被有效的改變。

其等離子效應(yīng)可以分為以下三類

·微砂噴射：材料表面通過離子轟擊被消減

·化學(xué)反應(yīng)：材料表面與離子化的氣體產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)

·紫外線放射：紫外射線將長鏈破化合物分解通過改變工藝參數(shù)， 如：壓力、 發(fā)生器功率、 工藝時(shí)間、氣體流量和氣體組成，可以獲得不同的等離子效果。

如此便可在一道工序內(nèi)完成多種工藝效果。

低壓等離子技術(shù)特點(diǎn)

• 特別適用于處理2D或3D部件

• 用于處理散裝材料

• 批處理工藝

Diener等離子表面處理技具有出類拔萃的等離子系統(tǒng)。

Diener的產(chǎn)品線包含標(biāo)準(zhǔn)及特種設(shè)備，涵蓋所有等離子表面處理應(yīng)用領(lǐng)域。

為您提供量身定制的解決方案,根據(jù)您的需求為您開發(fā)設(shè)計(jì)及生產(chǎn)設(shè)備。

上海爾迪儀器科技有限公司代理德國Diener的產(chǎn)品、大氣壓等離子清洗機(jī)，具有免費(fèi)的售前售后服務(wù)，響應(yīng)速度快，如有需要，可聯(lián)系上海爾迪儀器科技有限公司。