Q：求問電鏡分辨率1.6nm和0.8nm在實效果差多少？主要觀測半導(dǎo)體芯片，具體差別在哪里？

A：當(dāng)然總的來說空間分辨率越高，成像特征越清晰；但實際應(yīng)用與樣品基體效應(yīng)、分析需求、電鏡優(yōu)勢性能、操作條件比如加速電壓、電流、工作距離，真空環(huán)境等都有關(guān)系，由具體情況決定。

通常供應(yīng)商提供分辨率指標(biāo)都是在特定條件比如高加速電壓下低電流由標(biāo)準(zhǔn)樣品測試得到的。如果觀測半導(dǎo)體芯片，如果看淺表形貌特征，需要低加速電壓，這時候可能電鏡分辨率1.6nm和0.8nm的實際差異不大，要看此電鏡在低加速電壓的分辨能力；

當(dāng)分析對象尺度接近電鏡空間分辨能力的時候，比如幾個納米的形貌特征（小于10nm），可能分辨率1.6nm和0.8nm的不同電鏡能體現(xiàn)出成像差異；但當(dāng)分析特征的尺度遠(yuǎn)大于空間分辨率的時候，比如100nm，從成像上兩者的差別不會很明顯。

以上是經(jīng)驗淺談，畢竟PHI不是電鏡供應(yīng)商，僅供大家參考。

Q：請問AES和SEM-EDS測試的元素分布的區(qū)別？

A：AES和EDS成分分析的主要區(qū)別：

Q：這種AES化學(xué)態(tài)的分析和XPS有什么區(qū)別？

A：總的來說化學(xué)態(tài)分析主要用XPS，而AES主要獲得元素信息，也有一定的化學(xué)態(tài)信息： 

(1)俄歇激發(fā)本身涉及不同軌道能級三個電子的行為，俄歇電子動能與三個電子對應(yīng)的軌道的結(jié)合能相關(guān)，比較難預(yù)測動能變化與化學(xué)態(tài)的相關(guān)性，不像XPS是單電子激發(fā)，原子得電子和失電子帶來的結(jié)合能位移有一定的原則，有助于判斷化學(xué)態(tài)；

(2)俄歇是電子源入射，電子源本身對化學(xué)態(tài)尤其是有機(jī)材料的化學(xué)鍵有一定的破壞作用；電子源激發(fā)出的圖譜里有較大的背景（背散電子 彈性散射和非彈性散射背底、二次電子背底等）影響譜峰判定，給化學(xué)態(tài)判斷帶來影響；

(3)AES能量分辨率沒有XPS能量分辨高，AES譜峰寬、譜峰分裂多（多種終態(tài)），不對稱性等都影響化學(xué)態(tài)判斷。而XPS譜峰（能量分辨好、背底干擾小、對稱性好、 特征峰比如軌道分裂峰、衛(wèi)星峰等）有化學(xué)態(tài)特征性。

Q：請問不導(dǎo)電的樣品可以測試AES嗎？

A：俄歇主要用于測導(dǎo)體，半導(dǎo)體，對于絕緣材料除非改善荷電效應(yīng)可以用俄歇分析，但對于有機(jī)材料本身電子束對化學(xué)鍵損傷，即使測出有機(jī)材料的元素比如C/O/N/S對有機(jī)材料的成分分析來說信息非常有限，意義不大。

Q：硅酸鹽粘土礦物可以嗎？也是絕緣性的？AES可以區(qū)分出來不同羥基嗎? Si-OH Al-OH可以區(qū)分出來嗎? 

A：同上，除非能改善荷電效應(yīng)才能分析絕緣材料，本來荷電效應(yīng)大就會使譜峰信號差，譜峰變形嚴(yán)重（展寬、能量位移等），不能進(jìn)行化學(xué)態(tài)判定，所以主要獲得元素信息，不能識別化學(xué)態(tài)（比如羥基等）。

Q：請問AES在鈣鈦礦太陽能電池上有何應(yīng)用嗎？

A：只要樣品有一定導(dǎo)電性或通過樣品制備改善荷電效應(yīng)，都可以用AES進(jìn)行分析，所以AES可以分析鈣鈦礦太陽能電池材料（采用導(dǎo)電銅膠固定樣品），但因為鈣鈦礦材料主要是有機(jī)金屬鹵化物半導(dǎo)體材料，AES電子束對有機(jī)化學(xué)鍵有一定損傷，不能用于化學(xué)態(tài)判定，但可以用俄歇表征元素定性和半定量結(jié)果（里面有特征元素比如Pb/I(Br)等），但也有譜峰重合問題（比如I和O譜峰）；所以總體來說AES對鈣鈦礦材料成分表征有一定局限性。

1.問：求問電鏡分辨率1.6nm和0.8nm在實際效果差多少？主要觀測半導(dǎo)體芯片，具體差別在哪里？

回復(fù)：當(dāng)然總的來說空間分辨率越高，成像特征越清晰；但實際應(yīng)用與樣品基體效應(yīng)、分析需求、電鏡優(yōu)勢性能、操作條件比如加速電壓、電流、工作距離，真空環(huán)境等都有關(guān)系，由具體情況決定。

通常供應(yīng)商提供分辨率指標(biāo)都是在特定條件比如高加速電壓下低電流由標(biāo)準(zhǔn)樣品測試得到的。如果觀測半導(dǎo)體芯片，如果看淺表形貌特征，需要低加速電壓，這時候可能電鏡分辨率1.6nm和0.8nm的實際差異不大，要看此電鏡在低加速電壓的分辨能力；

當(dāng)分析對象尺度接近電鏡空間分辨能力的時候，比如幾個納米的形貌特征（小于10nm），可能分辨率1.6nm和0.8nm的不同電鏡能體現(xiàn)出成像差異；但當(dāng)分析特征的尺度遠(yuǎn)大于空間分辨率的時候，比如100nm，從成像上兩者的差別不會很明顯。

以上是經(jīng)驗淺談，畢竟PHI不是電鏡供應(yīng)商，僅供大家參考。

2.問：請問AES和SEM-EDS測試的元素分布的區(qū)別？

回復(fù): AES 和 EDS成分分析的主要區(qū)別：

3.問：這種AES化學(xué)態(tài)的分析和XPS有什么區(qū)別？

回復(fù): 

總的來說化學(xué)態(tài)分析主要用XPS，而AES主要獲得元素信息，也有一定的化學(xué)態(tài)信息：

1)  俄歇激發(fā)本身涉及不同軌道能級三個電子的行為，俄歇電子動能與三個電子對應(yīng)的軌道的結(jié)合能相關(guān)，比較難預(yù)測動能變化與化學(xué)態(tài)的相關(guān)性，不像XPS是單電子激發(fā)，原子得電子和失電子帶來的結(jié)合能位移有一定的原則，有助于判斷化學(xué)態(tài)；

2)  俄歇是電子源入射，電子源本身對化學(xué)態(tài)尤其是有機(jī)材料的化學(xué)鍵有一定的破壞作用；電子源激發(fā)出的圖譜里有較大的背景（背散電子'彈性散射和非彈性散射背底、二次電子背底等）影響譜峰判定，給化學(xué)態(tài)判斷帶來影響；

3)  AES能量分辨率沒有XPS能量分辨高，AES譜峰寬、譜峰分裂多（多種終態(tài)），不對稱性等都影響化學(xué)態(tài)判斷。而XPS譜峰（能量分辨好、背底干擾小、對稱性好、 特征峰比如軌道分裂峰、衛(wèi)星峰等）有化學(xué)態(tài)特征性。

4.問:請問AES在鈣鈦礦太陽能電池上有何應(yīng)用嘛？

回復(fù)：只要樣品有一定導(dǎo)電性或通過樣品制備改善荷電效應(yīng)，都可以用AES進(jìn)行分析，所以AES可以分析鈣鈦礦太陽能電池材料（采用導(dǎo)電銅膠固定樣品），但因為鈣鈦礦材料主要是有機(jī)金屬鹵化物半導(dǎo)體材料，AES電子束對有機(jī)化學(xué)鍵有一定損傷，不能用于化學(xué)態(tài)判定，但可以用俄歇表征元素定性和半定量結(jié)果（里面有特征元素比如Pb/I(Br)等）， 但也有譜峰重合問題（比如I和O譜峰）；所以總體來說AES對鈣鈦礦材料成分表征有一定局限性。

5.問：請問不導(dǎo)電的樣品可以測試AES嗎？

回復(fù) : 俄歇主要用于測導(dǎo)體，半導(dǎo)體，對于絕緣材料除非改善荷電效應(yīng)可以用俄歇分析，但對于有機(jī)材料本身電子束對化學(xué)鍵損傷，即使測出有機(jī)材料的元素比如C/O/N/S對有機(jī)材料的成分分析來說信息非常有限，意義不大。

6.問：硅酸鹽粘土礦物可以嗎？也是絕緣性的？AES可以區(qū)分出來不同羥基嗎? Si-OH Al-OH可以區(qū)分出來嗎?

回復(fù): 同上，除非能改善荷電效應(yīng)才能分析絕緣材料，本來荷電效應(yīng)大就會使譜峰信號差，譜峰變形嚴(yán)重（展寬、能量位移等），不能進(jìn)行化學(xué)態(tài)判定，所以主要獲得元素信息，不能識別化學(xué)態(tài)（比如羥基等）。

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