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半導(dǎo)體用的石英管為什么需要低鋁含量

單刷96 2017-07-13 10:44:39 351  瀏覽
  •  

參與評(píng)論

全部評(píng)論(1條)

  • 倚劍聽風(fēng)花雪月 2017-07-14 00:00:00
    半導(dǎo)體中,石英管通常用于高溫環(huán)境下的熱氧化或熱擴(kuò)散。要求低鋁含量的原因如下: 1、熱氧化熱擴(kuò)散主要是半導(dǎo)體器件形成源漏結(jié)的關(guān)鍵步驟,不能有金屬離子污染。 2、高溫環(huán)境可達(dá)1000多攝氏度,鋁容易硅化,會(huì)造成器件結(jié)區(qū)損傷,容易漏電。

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    評(píng)論

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