全部評(píng)論(3條)
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- 求生活不能自理 2012-01-06 00:00:00
- MEMS中文成為微機(jī)械系統(tǒng)，是一種在集成電路基礎(chǔ)上發(fā)展的學(xué)科，現(xiàn)在所講的范疇更廣一些并涵蓋多種學(xué)科，如機(jī)械、電子、生物、化學(xué)、物理、材料等。
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- 娜迪葉0904 2012-01-05 00:00:00
- Micro-Electro-Mechanical Systems，微機(jī)電系統(tǒng)。 現(xiàn)在手機(jī)的重力感應(yīng)傳感器，航模的角速度傳感器都是這類傳感器。
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- 劉勝蓉0425 2012-01-05 00:00:00
- MEMS是微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫。MEMS是美國的叫法，在日本被稱為微機(jī)械，在歐洲被稱為微系統(tǒng)，它是指可批量制作的，集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的，目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域，從而進(jìn)行生物化學(xué)等實(shí)驗(yàn)室技術(shù)流程的芯片集成化。
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