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真空多弧離子鍍膜機(jī)偏壓電源的工作原理?

高照松 2014-10-27 07:30:30 361  瀏覽
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全部評論(2條)

  • 3310mj 2014-10-28 00:00:00
    匯成真空科技 你問問這個(gè)比較專業(yè)點(diǎn) 我不是很懂都是問他們的,希望你幫到更多人 郭小姐謝謝……

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    評論

  • 121莪很乖 2016-12-01 17:40:57
    離子鍍膜其實(shí)是離子濺射鍍膜, 對于導(dǎo)電靶材,使用直流偏壓電源;非導(dǎo)電靶材,使用脈沖偏壓電源。 你這個(gè)多弧離子鍍膜機(jī),可能還需要直流電弧電源或脈沖電弧電源 偏壓電源其實(shí)就是在陰極和樣品所在位置的陽極之間形成偏壓電場,一般是陰極加負(fù)高壓。陰極表面的自由電子在電場作用下定向加速發(fā)射,發(fā)射電子轟擊氣體分子,使之電離,并且氣體被驅(qū)出的電子被電場加速,繼續(xù)電離其他氣體分子,連續(xù)不斷,形成雪崩效應(yīng),氣體被擊穿,形成恒定的電離電流。此時(shí)離子也被加速,轟擊靶材,將靶材中的原子驅(qū)除出表面,并沉積在樣品表面。 電弧電源有點(diǎn)類似日光燈啟輝器和鎮(zhèn)流器,靠電弧加熱電離氣體形成等離子體,而不是電子加速撞擊。

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