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fei掃描電鏡的分子渦輪泵為什么會損壞

aisfhasfagh 2017-07-13 02:02:46 474  瀏覽
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參與評論

全部評論(2條)

  • 破陵煌石 2017-07-14 00:00:00
    嗯,有點難度

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    評論

  • 萌萌·水晶 2017-07-14 00:00:00
    個人經(jīng)驗: 1.先檢查機械泵是否能正常工作,看機械泵是否漏氣或其他原因。 2.機械泵沒問題,且系統(tǒng)真空能達到要求,再檢查分子泵是否又問題。 3.機械泵和分子泵沒問題,再去檢查離子泵。 4.離子泵的問題可能有老化(我們的用了10年),而可能是電路或者真空板有問題。 純屬個人意見,希望對你有幫助。

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