除了加速電壓、樣品的導(dǎo)電性、電鏡的束流強(qiáng)度，像散、圖像的亮度對比度等都會影響掃描電鏡圖像的成像質(zhì)量。

今天，這一篇文章將教大家了解消除像散的重要性，提高樣品的成像質(zhì)量。

像散的定義可能會比較抽像，所以，小編用近視的散光來進(jìn)行對比：

當(dāng)近視看月亮?xí)r，月亮?xí)容^模糊，但仍是一個圓形。

當(dāng)近視有散光看月亮?xí)r，看到的月亮?xí)霈F(xiàn)變形。

電鏡的像散就如同散光，當(dāng)圖像有像散時，在聚焦的過程中會發(fā)現(xiàn)圖像拉伸變形，失去原本的形狀，這也是判斷像散的依據(jù)。如果在聚焦的過程中，沒有發(fā)現(xiàn)圖像出現(xiàn)拉伸變形，僅僅只是圖像虛化，那便說明沒有像散。

像散是影響圖像清晰度的重要因素。尤其是高倍圖片——在用高加速電壓、低束流拍攝高倍率圖片時，一般都需要進(jìn)行消像散。下面，通過幾組圖片，讓大家更好的理解消像散對高倍率圖像的重要性。

錫球，放大倍數(shù)是 79000 倍，左邊圖像無像散，右邊圖像有像散

電極材料，放大倍數(shù) 50000 倍，左邊圖像無像散，右邊圖片有像散

炭材料，放大倍數(shù) 20000 倍，左邊圖像無像散，右邊圖片有像散

當(dāng)掃描電鏡圖像出現(xiàn)像散時，對其進(jìn)行聚焦，圖像會出現(xiàn)拉伸感，如下圖所示，消像散需要實(shí)驗員具有豐富的操作經(jīng)驗，才能準(zhǔn)確識別并消除象散。

飛納電鏡 Rel 4.6 的自動消像散功能可以輕松解決掃描電鏡初級操作者無法熟練消像散的問題。

除了加速電壓與樣品的導(dǎo)電性，電鏡的束流強(qiáng)度、圖像亮度對比度、圖像像散等都會影響掃描電鏡圖像的成像質(zhì)量。今天，這篇文章將圍繞如何選擇束流強(qiáng)度，提高樣品的成像質(zhì)量。

掃描電鏡的發(fā)射束流強(qiáng)度對圖像的信噪比和分辨率（resolution）有著決定性的影響。大束流可以提高圖像的信噪比，但是分辨率較低。小束流則正好相反，具有較高的分辨率，但信噪比較差。

在這里，小編需要給大家簡單科普一下分辨率與信噪比的含義，有利于大家理解后面的內(nèi)容：

分辨率是掃描電鏡主要性能指標(biāo)，對成像而言，指能分辨兩點(diǎn)之間的最小距離（如圖 1 所示）。通常來說，分辨率越高，樣品的邊緣會越鋒利。

圖1  分辨率定義（兩點(diǎn)間距離）

對于信噪比，是指一個電子設(shè)備或者電子系統(tǒng)中信號與噪聲的比例。如圖 2 (a) 所示，圖像出現(xiàn)許多雪花點(diǎn)，說明圖像的信噪比較差，當(dāng)信噪比較差時，聚焦會非常困難，很難獲取高質(zhì)量圖片。

圖 2  信噪比對比

飛納電鏡束流強(qiáng)度默認(rèn)有 Low 或 Charge Red（低束流）、Image（標(biāo)準(zhǔn)束流）、Point（能譜點(diǎn)掃）、Map（能譜線面掃）四檔可選。

通過與用戶交流，發(fā)現(xiàn)許多用戶通常使用 10kV 與 Image（標(biāo)準(zhǔn)束流），當(dāng)圖像信噪比較差時（雪花噪點(diǎn)比較多），會通過增大加速電壓（15kV）與束流強(qiáng)度（Point、Map）去提高圖像的信噪比。

對于低束流（Low），很少有用戶去使用它，但對于經(jīng)常拍攝高倍率圖像的用戶而言，低束流（Low）的重要性不言而喻。

現(xiàn)在，通過幾組圖片，讓大家更好地理解低束流對于高倍率圖像的重要性。

1. 樣品為金顆粒，放大倍數(shù) 150000X

掃描電鏡數(shù)：加速電壓為 15kV，束流強(qiáng)度分別為Low（左）、Image（右）

2. 樣品為硬質(zhì)合金，放大倍數(shù)為 10000X

掃描電鏡參數(shù)：加速電壓為 15kV，束流強(qiáng)度分別為 Charge Red（左）、Image（右）

3. 樣品為礦石材料，放大倍數(shù)為 40000X

掃描電鏡參數(shù)：加速電壓為15kV，束流強(qiáng)度分別為 Low（左）、Image（右）

4. 樣品為電極材料，放大倍數(shù)為 80000X

掃描電鏡參數(shù)：加速電壓為 10kV，束流強(qiáng)度分別為 Low（左）、Image（右）

5. 樣品為無機(jī)材料，放大倍數(shù)為 50000X

掃描電鏡參數(shù)：加速電壓為 15kV，束流強(qiáng)度分別為Low（左）、Image（右）

通過上述幾組圖片，可以幫助大家更好地理解束流強(qiáng)度對掃描電鏡成像質(zhì)量的影響。

在使用低束流時，圖像的分辨率更高，成像質(zhì)量更好。但是如果樣品的導(dǎo)電性一般，信號弱，過低的束流強(qiáng)度會導(dǎo)致圖像聚焦、消像散非常困難和噪音信號太大等問題，從而影響圖像質(zhì)量。為了兼顧分辨率與信噪比這種相互矛盾的關(guān)系，選擇適中的束流強(qiáng)度是十分重要的。

總結(jié)

1. 當(dāng)選用低束流 (Low 或 Charge Red) 拍攝高倍率掃描電鏡圖像時，選擇zui高加速電壓；

2. 當(dāng)選用低束流 (Low 或 Charge Red) 拍攝高倍率掃描電鏡圖像時，發(fā)現(xiàn)圖像信噪比較差（雪花點(diǎn)較多），無法正常聚焦等操作，可以嘗試逐漸增大束流強(qiáng)度 (Image Point)。