2021年7月，由濟(jì)南賽成儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的GPT-201壓差法氣體滲透儀經(jīng)青島客戶測(cè)試使用，已順利通過(guò)驗(yàn)收；設(shè)備試驗(yàn)數(shù)據(jù)穩(wěn)定，重復(fù)性好，體現(xiàn)了賽成儀器新一代壓差法氣體透過(guò)率檢測(cè)技術(shù)的成熟穩(wěn)定。

賽成儀器從材料采購(gòu)、工藝、制造、裝配等全過(guò)程進(jìn)行嚴(yán)格把控，嚴(yán)把裝配質(zhì)量關(guān)、嚴(yán)把出廠檢驗(yàn)關(guān)，確保設(shè)備可靠性、穩(wěn)定性。接到客戶到貨通知，立即安排售后工程師為客戶進(jìn)行上門安裝、調(diào)試和培訓(xùn)工作。

經(jīng)過(guò)一天的調(diào)試，設(shè)備各項(xiàng)性能指標(biāo)均符合驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，客戶確認(rèn)評(píng)估合格，當(dāng)即簽署驗(yàn)收?qǐng)?bào)告予以驗(yàn)收通過(guò)。儀器試驗(yàn)數(shù)據(jù)為客戶改進(jìn)材料工藝提供更有力的支撐，驗(yàn)收工作圓滿而順利。

驗(yàn)收期間，客戶與我公司售后工程師進(jìn)行了深入的技術(shù)交流。該儀器全自動(dòng)智能控制試驗(yàn)過(guò)程，氣動(dòng)夾持試驗(yàn)，方便快捷，客戶對(duì)儀器的各項(xiàng)功能，試驗(yàn)數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性和重復(fù)性，給予高度認(rèn)可和好評(píng)。

客戶的需求就是我們不懈追求的目標(biāo)，我們?cè)谝饪蛻舻男枨?，更在意客戶使用設(shè)備的感受。我們希望通過(guò)每一次的技術(shù)革新，為客戶提供更高性價(jià)比的解決方案。感謝每一位客戶對(duì)賽成儀器的信任和支持，我們將以誠(chéng)心、信心和匠心為每一位客戶服務(wù)。

氣體滲透測(cè)試屬于材料的阻隔性能檢測(cè)。主要分為對(duì)氣體（氧氣、氮?dú)?、二氧化碳等）透過(guò)率測(cè)試與水蒸氣透過(guò)率測(cè)試這兩類。阻隔性能測(cè)試作為影響產(chǎn)品貨架期的重要因素之一，也成為了所有廠家分析產(chǎn)品貨架期的重要參考。今天那我們就聊聊壓差法氣體滲透儀的原理及應(yīng)用。

由濟(jì)南賽成電子科技有限公司自主研發(fā)生產(chǎn)的GPT-201壓差法氣體滲透儀，基于壓差法的測(cè)試原理，是一款專業(yè)用于薄膜試樣的氣體透過(guò)率測(cè)試儀，適用于塑料薄膜、復(fù)合膜、高阻隔材料、片材、金屬箔片在各種溫度下的氣體透過(guò)率、溶解度系數(shù)、擴(kuò)散系數(shù)、滲透系數(shù)的測(cè)定。

壓差法氣體滲透儀的測(cè)試原理

壓差法氣體滲透儀采用壓差法測(cè)試原理，將預(yù)先處理好的試樣放置在上下測(cè)試腔之間，夾緊。首先對(duì)低壓腔（下腔）進(jìn)行真空處理，然后對(duì)整個(gè)系統(tǒng)抽真空；當(dāng)達(dá)到規(guī)定的真空度后，關(guān)閉測(cè)試下腔，向高壓腔（上腔）充入一定壓力的試驗(yàn)氣體，并保證在試樣兩側(cè)形成一個(gè)恒定的壓差（可調(diào)）；這樣氣體會(huì)在壓差梯度的作用下，由高壓側(cè)向低壓側(cè)滲透，通過(guò)對(duì)低壓側(cè)內(nèi)壓強(qiáng)的監(jiān)測(cè)處理，從而得出所測(cè)試樣的各項(xiàng)阻隔性參數(shù)。

壓差法氣體滲透儀的測(cè)試應(yīng)用

濟(jì)南賽成儀器一直致力于為客戶提供高性價(jià)比的整體解決方案，公司的核心宗旨就是持續(xù)創(chuàng)新，打造高精尖檢測(cè)儀器，滿足行業(yè)內(nèi)不同客戶的品控需求，期待與行業(yè)內(nèi)的企事業(yè)單位增進(jìn)交流和合作。

賽成儀器，賽出品質(zhì)，成就未來(lái)！

氣體透過(guò)率測(cè)定儀（Gas Transmission Rate Tester），又稱為氣體透過(guò)率測(cè)試儀，透氣儀，透氣性測(cè)試儀。氣體滲透儀是用于氣體透過(guò)率、溶解度系數(shù)、擴(kuò)散系數(shù)、滲透系數(shù)測(cè)定的檢測(cè)儀器。

壓差法氣體滲透儀檢測(cè)意義

氣體滲透測(cè)試屬于阻隔性能檢測(cè)。阻隔性能檢測(cè)包括對(duì)氣體（氧氣、氮?dú)?、二氧化碳等）與水蒸氣透過(guò)率測(cè)試兩類。阻隔性能是影響產(chǎn)品貨架期的重要因素之一，也是廠家分析產(chǎn)品貨架期的重要參考。通過(guò)該項(xiàng)檢測(cè)能夠分析解決由于氧氣或水蒸氣敏感而產(chǎn)生的產(chǎn)品氧化變質(zhì)、受潮霉變等質(zhì)量問(wèn)題。

濟(jì)南賽成自主研發(fā)的GPT-203壓差法氣體滲透儀基于壓差法的測(cè)試原理，是一款專業(yè)用于薄膜試樣的氣體透過(guò)率測(cè)試儀，適用于塑料薄膜、復(fù)合膜、高阻隔材料、片材、金屬箔片在各種溫度下的氣體透過(guò)量和氣體透過(guò)系數(shù)的測(cè)定。

壓差法氣體滲透儀測(cè)試原理

采用壓差法測(cè)試原理，將預(yù)先處理好的試樣放置在上下測(cè)試腔之間，夾緊。首先對(duì)低壓腔（下腔）進(jìn)行真空處理，然后對(duì)整個(gè)系統(tǒng)抽真空；當(dāng)達(dá)到規(guī)定的真空度后，關(guān)閉測(cè)試下腔，向高壓腔（上腔）充入一定壓力的試驗(yàn)氣體，并保證在試樣兩側(cè)形成一個(gè)恒定的壓差（可調(diào)）；這樣氣體會(huì)在壓差梯度的作用下，由高壓側(cè)向低壓側(cè)滲透，通過(guò)對(duì)低壓側(cè)內(nèi)壓強(qiáng)的監(jiān)測(cè)處理，從而得出所測(cè)試樣的各項(xiàng)阻隔性參數(shù)。

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：

GB/T 1038-2000 塑料薄膜和薄片氣體透過(guò)性試驗(yàn)方法 壓差法

ASTM D1434 測(cè)定塑料薄膜和薄片透氣性能的測(cè)試方法

ISO 2556 塑料.在大氣壓力下薄膜和薄板的氣體透過(guò)率的測(cè)定.測(cè)壓法

ISO 15105-1 塑料.薄膜和薄板.氣體傳輸率的測(cè)定.第1部分壓差法

JIS K7126 塑料薄膜及薄板的透氣性試驗(yàn)方法

YBB00082003氣體透過(guò)量測(cè)定法

壓差法氣體滲透儀操作規(guī)格

1、試樣的制備：將高阻隔性黑白膜與乳白膜兩種樣品均置于5℃的干燥環(huán)境中調(diào)節(jié)狀態(tài)48小時(shí)。取出樣品后，分別從每種樣品上裁取直徑為97 mm的試樣3個(gè)。

2、試樣裝夾：在試驗(yàn)腔外表面涂抹一層真空油脂，避免油脂涂在腔體空穴中間圓盤上；在試驗(yàn)腔中的圓盤上放置濾紙后，將從高阻隔黑白膜上裁取的3個(gè)已狀態(tài)調(diào)節(jié)完畢的試樣分別裝夾于VAC-V3壓差法氣體滲透儀的3個(gè)試驗(yàn)腔上，試樣應(yīng)保持平整，不得有皺褶，輕輕按壓使試樣與真空油脂良好接觸，再用試驗(yàn)腔夾緊結(jié)構(gòu)夾緊試樣。

3、利用溫度控制裝置將試驗(yàn)溫度調(diào)整至5℃，將相對(duì)濕度調(diào)整為0%RH。

4、打開(kāi)設(shè)備軟件，設(shè)置試驗(yàn)參數(shù)，啟動(dòng)試驗(yàn)。試驗(yàn)參數(shù)包括控制參數(shù)（試驗(yàn)?zāi)Ｊ?、上腔吹洗時(shí)間、上腔壓力、試驗(yàn)時(shí)間、脫氣時(shí)間等）和試樣參數(shù)（編號(hào)、類型、面積、厚度等）。

5、試驗(yàn)結(jié)束、數(shù)據(jù)處理。

6、按照上述方法測(cè)試乳白膜樣品的氧氣透過(guò)率。

7、關(guān)閉氣源和電源。

濟(jì)南賽成儀器一直致力于為大部分國(guó)家客戶提供高性價(jià)比的整體解決方案，公司的核心宗旨就是持續(xù)創(chuàng)新，打造高精尖檢測(cè)儀器，滿足行業(yè)內(nèi)不同客戶的品控需求，期待與行業(yè)內(nèi)的企事業(yè)單位增進(jìn)交流和合作。

賽成儀器，賽出品質(zhì)，成就未來(lái)！

　　近日，由上海凈信自主研發(fā)的國(guó)內(nèi)首臺(tái)溫控型單細(xì)胞懸液制備儀順利下線并通過(guò)客戶驗(yàn)收。從組織獲得存活單細(xì)胞是一個(gè)復(fù)雜過(guò)程，目前市面上組織單細(xì)胞化的方法均存在處理時(shí)間長(zhǎng)、細(xì)胞處于逆境狀態(tài)時(shí)間長(zhǎng)、 細(xì)胞得率低、細(xì)胞存活率低、操作繁瑣等問(wèn)題。聚焦單細(xì)胞測(cè)序領(lǐng)域，獲得優(yōu)質(zhì)的細(xì)胞懸液是研究單細(xì)胞的前提條件，針對(duì)不同的樣本類型，如何制備高質(zhì)量的單細(xì)胞懸液是目前比較關(guān)注的問(wèn)題。

　　凈信單細(xì)胞懸液制備儀針對(duì)組織單細(xì)胞測(cè)序，快速完成單細(xì)胞化處理，能獲得高產(chǎn)且活率在85%以上的單細(xì)胞。

　　在江蘇中新醫(yī)藥，客戶現(xiàn)場(chǎng)做了結(jié)腸癌實(shí)體瘤樣本制備實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)結(jié)果令人滿意，客戶反饋極好。做測(cè)序流式?jīng)]有任何問(wèn)題，如果做培養(yǎng)就加大樣品量就可以。

（制備后細(xì)胞計(jì)數(shù)）

　　凈信單細(xì)胞懸液制備儀是一種集成金屬浴消化與溫和剪切組織的新一代細(xì)胞懸液制備設(shè)備，應(yīng)用于流式細(xì)胞術(shù)/單細(xì)胞測(cè)序/原代細(xì)胞培養(yǎng)等實(shí)驗(yàn)。具有起始組織量小，時(shí)間短，細(xì)胞得率高，細(xì)胞活性高的特點(diǎn)。采用國(guó)際DIN方法設(shè)計(jì)，低噪音，使用方便，性能穩(wěn)定。這款制備儀還帶加熱功能，對(duì)樣品的消化處理過(guò)程始終處在恒溫狀態(tài)。在腫瘤研究、心血管研究、干細(xì)胞研究、免疫研究、神經(jīng)科學(xué)研究等領(lǐng)域都能應(yīng)用的到。

（常見(jiàn)樣品）

　　操作簡(jiǎn)單，省時(shí)GX，僅需幾步就能完成實(shí)驗(yàn)。

　　主要優(yōu)勢(shì)：組織高利用率、單細(xì)胞化過(guò)程GX、單細(xì)胞高產(chǎn)出

　　*針對(duì)臨床穿刺樣本，使組織的利用率達(dá)到100%，細(xì)胞產(chǎn)量可達(dá)10萬(wàn)個(gè)以上

　　*針對(duì)原細(xì)胞培養(yǎng)樣本，在15min內(nèi)完成組織到單細(xì)胞過(guò)程，降低細(xì)胞逆境時(shí)間，提高細(xì)胞存活率

　　*針對(duì)組織單細(xì)胞測(cè)序，快速完成單細(xì)胞化處理，獲得高產(chǎn)且活率在85%以上的單細(xì)胞

　　JX-CKSM-12WK溫控型單細(xì)胞懸液制備儀是上海凈信實(shí)業(yè)發(fā)展有限公司自主研發(fā)，核心成員在上海交通大學(xué)、上海市中山醫(yī)院、中科院藥物所等國(guó)內(nèi)外知名高?；蛘咂髽I(yè)從事多年產(chǎn)品開(kāi)發(fā)或者技術(shù)研究。公司將分子生物學(xué)、細(xì)胞領(lǐng)域的高科技人才有效聚集在一起，突破現(xiàn)術(shù)瓶頸，突破進(jìn)口壟斷，開(kāi)發(fā)出了單細(xì)胞懸液制備儀器。

　　我們有強(qiáng)大的技術(shù)團(tuán)隊(duì)做我們的堅(jiān)實(shí)后盾，使用凈信單細(xì)胞懸液儀，讓單細(xì)胞技術(shù)研究變得簡(jiǎn)單。

福州大學(xué)離子束刻蝕機(jī)順利驗(yàn)收

烈日炎炎，熱情滿心間！后疫情時(shí)代，NANO-MASTER工程師步履不停，一站接一站為客戶提供設(shè)備安裝調(diào)試服務(wù)。首站福州大學(xué)，那諾-馬斯特工程師已順利安裝驗(yàn)收NIE-3500型離子束刻蝕機(jī)！

性能配置：

• 離子束刻蝕機(jī)用于刻蝕金屬和介質(zhì)，z大可支持6”晶圓。

• 配套美國(guó)考夫曼-羅賓遜 KDC160離子槍，650mA，100-1200V。刻蝕速率：~250A/min對(duì)Au；刻蝕均勻度：對(duì)4”片，片內(nèi)均勻性優(yōu)于±3%，重復(fù)性優(yōu)于±3%。

• 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0-30RPM精確可控；可任意角度傾斜，支持斜齒刻蝕；帶水冷功能，刻蝕后易去除光刻膠。

• 極限真空12小時(shí)可達(dá)6x10-7Torr，15分鐘可達(dá)10-6Torr量級(jí)的真空；采用雙真空計(jì)，長(zhǎng)期可靠，使用穩(wěn)定。

• 14”不銹鋼立方腔體，配套一臺(tái)主控計(jì)算機(jī)，20”觸摸屏監(jiān)控，配合Labview軟件，實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)全自動(dòng)工藝控制，并可在電源中斷情況下安全恢復(fù)；完全的安全聯(lián)鎖；支持百級(jí)超凈間使用。

  
  

驗(yàn)收培訓(xùn)：

安裝調(diào)試視頻：

保鮮膜是一種塑料包裝制品，通常以乙烯為母料通過(guò)聚合反應(yīng)制成，主要用于微波爐食品加熱、冰箱食物保存、生鮮及熟食包裝等場(chǎng)合，在家庭生活、超市賣場(chǎng)、賓館飯店及工業(yè)生產(chǎn)的食品包裝領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。保鮮膜是人們用于保鮮食品的塑料包裝制品，可伴隨微波爐食物加熱、存放食物至冰箱，因此要求其對(duì)氧氣的透過(guò)性較高。本文利用賽成儀器自主研發(fā)的GPT-203壓差法氣體滲透儀測(cè)試PE保鮮膜對(duì)外界氧氣阻隔性能，并詳述了試驗(yàn)過(guò)程及試驗(yàn)原理、設(shè)備參數(shù)等內(nèi)容，企業(yè)在選擇氧氣透過(guò)性能試驗(yàn)設(shè)備及測(cè)試方法時(shí)可加以參考。

檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

國(guó)內(nèi)有關(guān)軟塑包裝材料的氧氣透過(guò)率的測(cè)試方法主要為壓差與法庫(kù)侖計(jì)法（即等壓法），參考的方法標(biāo)準(zhǔn)分別為GB/T 1038 《塑料薄膜和薄片氣體透過(guò)性試驗(yàn)方法 壓差法》與GB/T 19789 《包裝材料 塑料薄膜和薄片氧化透過(guò)性試驗(yàn) 庫(kù)倫計(jì)檢測(cè)法》。本文以壓差法為原理進(jìn)行測(cè)試，參考標(biāo)準(zhǔn)為GB/T 1038。

試驗(yàn)設(shè)備

濟(jì)南賽成電子科技有限公司自主研發(fā)設(shè)計(jì)的GPT-203壓差法氣體滲透儀。

測(cè)試原理

GPT-203采用壓差法測(cè)試原理，將預(yù)先處理好的試樣放置在上下測(cè)試腔之間，夾緊。首先對(duì)低壓腔（下腔）進(jìn)行真空處理，然后對(duì)整個(gè)系統(tǒng)抽真空；當(dāng)達(dá)到規(guī)定的真空度后，關(guān)閉測(cè)試下腔，向高壓腔（上腔）充入一定壓力的試驗(yàn)氣體，并保證在試樣兩側(cè)形成一個(gè)恒定的壓差（可調(diào)）；這樣氣體會(huì)在壓差梯度的作用下，由高壓側(cè)向低壓側(cè)滲透，通過(guò)對(duì)低壓側(cè)內(nèi)壓強(qiáng)的監(jiān)測(cè)處理，從而得出所測(cè)試樣的各項(xiàng)阻隔性參數(shù)。

試驗(yàn)過(guò)程

(1) 用取樣器裁取尺寸Φ97 mm樣品3片。

(2) 將3片試樣分別裝夾在設(shè)備的3個(gè)測(cè)試腔上。

(3) 設(shè)置試樣名稱、試樣厚度、試驗(yàn)溫度、試驗(yàn)濕度等參數(shù)。

(4) 啟動(dòng)真空泵。

(5) 點(diǎn)擊“開(kāi)始試驗(yàn)”選項(xiàng)，試驗(yàn)開(kāi)始，儀器自動(dòng)計(jì)算并顯示試驗(yàn)結(jié)果。

濟(jì)南賽成儀器一直致力于為大部分國(guó)家客戶提供高性價(jià)比的整體解決方案，公司的核心宗旨就是持續(xù)創(chuàng)新，打造高精尖檢測(cè)儀器，滿足行業(yè)內(nèi)不同客戶的品控需求，期待與行業(yè)內(nèi)的企事業(yè)單位增進(jìn)交流和合作。

賽成儀器，賽出品質(zhì)，成就未來(lái)！

2019年3月19日，青島普仁儀器2019年山東省離子色譜貫標(biāo)培訓(xùn)班在青島順利召開(kāi)。30多家60余人，來(lái)自山東省的環(huán)境監(jiān)測(cè)機(jī)構(gòu)及第三方檢測(cè)單位積極應(yīng)邀參加本次會(huì)議。

會(huì)議開(kāi)始，青島普仁總經(jīng)理侯倩慧女士致開(kāi)幕詞，向與會(huì)的各位專家同仁表示熱烈的歡迎和衷心的感謝。她講述了公司近年取得的長(zhǎng)足進(jìn)步和發(fā)展，同時(shí)提出本次會(huì)議的目的，即“認(rèn)真學(xué)習(xí)，充分交流，共同提高”。

在本次會(huì)議上，青島普仁儀器有限公司特邀環(huán)保部國(guó)家海洋網(wǎng)質(zhì)控專家、山東省環(huán)保廳yi流專家張勝軍主任參加會(huì)議。張主任針對(duì)質(zhì)量控制，質(zhì)量監(jiān)督，檢查注意事項(xiàng)等進(jìn)行了全面而系統(tǒng)地講解，圍繞近期的環(huán)保新政策和新標(biāo)準(zhǔn)的進(jìn)行了詳細(xì)解讀。學(xué)員聽(tīng)課過(guò)程中，全神貫注，求知若渴。

另外，青島普仁儀器技術(shù)服務(wù)專家杜工等工程師們分享了離子色譜儀器實(shí)際使用過(guò)程中客戶反饋的相關(guān)問(wèn)題，并與現(xiàn)場(chǎng)觀眾進(jìn)行了一對(duì)一的交流，就儀器應(yīng)用實(shí)例、日常維護(hù)、故障排除、樣品處理及考核技巧等進(jìn)行講解，確保監(jiān)測(cè)機(jī)構(gòu)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)的真實(shí)性和準(zhǔn)確性。

青島普仁儀器有限公司將繼續(xù)加大研發(fā)投入，不斷開(kāi)發(fā)離子色譜分析技術(shù)，為廣大客戶提供更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。

（來(lái)源：青島普仁儀器有限公司）

季華實(shí)驗(yàn)室磁控濺射系統(tǒng)順利驗(yàn)收

近日，NANO-MASTER工程師至季華實(shí)驗(yàn)室，順利安裝驗(yàn)收NSC-3500型磁控濺射系統(tǒng)！

磁控濺射系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體應(yīng)用，同時(shí)也可以用于各種需要進(jìn)行微納工藝濺射鍍膜的情形?？捎糜诮饘俨牧希ń?、銀、銅、鎳、鉻等）的直流濺射、直流共濺射，絕緣材料（如陶瓷等）的射頻濺射，以及反應(yīng)濺射能力?；芍С止杵?，氧化硅片，玻璃片，以及對(duì)溫度敏感的有機(jī)柔性基片等。

設(shè)備優(yōu)勢(shì)

01鍍膜均勻性

對(duì)于最關(guān)鍵的鍍膜的均勻性方面，對(duì)于6”硅片的金屬材料鍍膜，NANO-MASTER可以達(dá)到優(yōu)于3%的鍍膜均勻度，而一些設(shè)備只能穩(wěn)定在5%甚至更高。

02設(shè)備制造工藝

在配備相似等級(jí)的分子泵及機(jī)械泵的情況下，NANO-MASTER具有更快的抽真空速率，比如可以在20-25分鐘左右就達(dá)到高真空工藝，而一些設(shè)備則需要30-40分鐘。腔體真空的穩(wěn)定度影響鍍膜的性能。

03工藝的可重復(fù)性

NANO-MASTER設(shè)備在工藝控制方面，有更高的自動(dòng)化能力，通過(guò)PC控制，減少人工干預(yù)造成的工藝偏差。而一些設(shè)備要求人工配合，導(dǎo)致不同人采用同樣的工藝做出來(lái)的效果不同，甚至同一個(gè)人在不同時(shí)間運(yùn)行相同的工藝做出來(lái)的效果也不同。

04設(shè)備緊湊性

一些設(shè)備在滿足相同性能情況下，由于加工的精密度方面的差距，造成設(shè)備比較龐大，占地面積較大，使得實(shí)驗(yàn)室寶貴的空間被占用嚴(yán)重。而NANO-MASTER設(shè)備相對(duì)而言具有更緊湊的設(shè)計(jì)，占地面積也較小。

05設(shè)備穩(wěn)定性

進(jìn)口設(shè)備的維護(hù)率較低，可以保證設(shè)備較長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定運(yùn)行，而一些設(shè)備的故障率高，不利于設(shè)備的穩(wěn)定使用，經(jīng)常因?yàn)楣收嫌绊憣?shí)驗(yàn)的正常進(jìn)行，影響科研進(jìn)度。

廣西師范大學(xué)RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)順利驗(yàn)收

近日，NANO-MASTER工程師至廣西師范大學(xué)，順利安裝驗(yàn)收NRE-3000型RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)！

詳細(xì)參數(shù)：

1.  腔體：10”直徑的圓柱形腔體；陽(yáng)極氧化鋁材質(zhì)，抗腐蝕性強(qiáng)；上下蓋設(shè)計(jì)，氣動(dòng)升降頂蓋，一鍵實(shí)現(xiàn)上蓋的開(kāi)啟/閉合；淋浴頭設(shè)計(jì)，最佳的氣流均勻分布

2. 樣品臺(tái)：4”樣品臺(tái)；冷卻功能；偏壓功能，支持各向異性的垂直刻蝕；

3. 質(zhì)量流量控制器：4路氣體，每路包含MFC、氣動(dòng)截止閥和不銹鋼管路氣體

4. 真空系統(tǒng)：分子泵與機(jī)械泵，4分鐘內(nèi)可達(dá)10-4Torr的高工藝真空度，12小時(shí)抽氣后，干凈腔體中的壓力可達(dá)極限真空6x10-7 Torr；分子泵與工藝腔體采用直連設(shè)計(jì)方案，具有最佳的真空傳導(dǎo)率

5. 射頻電源：13.56MHz，300W，反射功率≤5W，配套自動(dòng)調(diào)諧器，穩(wěn)定輸出功率為95%

6. 控制系統(tǒng)：Lab View軟件控制；四級(jí)密碼授權(quán)訪問(wèn)；壓力、流量、功率等主要參數(shù)指標(biāo)實(shí)時(shí)顯示；20”的監(jiān)控屏幕

7. 系統(tǒng)信息：26”×26”占地面積；鋁質(zhì)柜體；完全的安全聯(lián)鎖

8. 主要工藝參數(shù)

（1）應(yīng)用范圍：有機(jī)物刻蝕、硅的化合物刻蝕、光刻膠去膠等；

（2）工藝參數(shù)：4”片為例；

（3）刻蝕均勻性優(yōu)于：+/-3%；

（4）Si3N4的刻蝕速率：≥50nm/min；

（5）對(duì)PR選擇比：≥1.5:1；

（6）陡直度：≥82°；

（7）SiO2的刻蝕速率：≥40nm/min；

（8）對(duì)PR選擇比：≥1.5:1；

（9）陡直度：≥85°。