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- gaopenfzhulu 2017-05-29 00:00:00
- 石家莊除甲醛定點企業(yè)石家莊比好更好環(huán)保工程有限公司高級工程師張工介紹說：市場上活性炭的品牌較多，不過質(zhì)量參差不齊，有很多都是以普通炭冒充活性炭。那么，活性炭怎么識別和挑選呢?下面我們一起來看看。1、看密度活性炭孔隙越多，吸附性能就越高，活性炭就越酥松，相對密度就越低，手感就會越輕，在等重量包裝情況下，體積也就越大。建議購買密度小，手感輕，等重量體積大的活性炭產(chǎn)品。2、看大小活性炭顆粒越小，接觸空氣面積就越大，比表面積也越大，吸附性能就越好，但是顆粒越小，粉碎制作過程中損耗也越大，粉塵也越多，成本也就越高，所以很多廠家為降低成本，使用大顆?；钚蕴?，性能當(dāng)然不好，一般顆粒大小在0.5毫米左右的活性炭既達到了Z佳性能，又確保不是粉末，沒有污染。建議選擇顆粒直徑在0.42-0.85毫米之間的活性炭產(chǎn)品。3、看組份活性炭是靠孔徑大小來吸附有害氣體的，不同有害氣體的分子量不同，顆粒大小也不同，活性炭空隙要在0.45-2納米之間才能吸附甲醛等有毒氣體，國際上椰殼炭是吸附異味和笨等污染的shou選活性炭，氣相球形微孔活性炭是Z理想的甲醛吸附炭。建議選購由椰殼活性炭和氣相球形微孔活性炭混合成的綜合吸附產(chǎn)品。不一定椰殼的就是Z好的，要和有害氣體分子的孔徑相匹配。4、看粉塵生產(chǎn)活性炭過程中，必須把粉碎的原料進行去除粉塵處理，否則粉塵過多，清潔度就差，就會對人體和物品造成污染，市面上劣質(zhì)活性炭為降低成本，沒有進行后處理，粉塵很大，多使用深色包裝袋，小炭包用手摸上去很臟，使用時會弄臟物品造成二次污染。建議選擇小炭包是白色透氣無紡布袋，摸上去沒有粉塵不臟的產(chǎn)品。5、看氣泡將一小把活性炭投入水中，由于水分子小，水會逐漸浸入活性炭的孔隙結(jié)構(gòu)中，迫使孔隙中的空氣排出，從而產(chǎn)生一連串極為細小的氣泡，在水中拉出一條細小的氣泡線，同時會發(fā)出絲絲的氣泡聲，性能越好的活性炭這種現(xiàn)象越劇烈。時間越久。6、看炭化料炭化料是只經(jīng)過炭化過程沒經(jīng)過活化過程的炭，不是真正的活性炭，而活化過程是活性炭制造工藝中Z重要的制造孔隙結(jié)構(gòu)的過程，缺少這個過程的炭化料幾乎沒有任何吸附性能。炭化料由于沒有進行活化造孔的過程，所以表面要比活性炭光潔，且顏色發(fā)白，略有金屬光澤，手感上要比活性炭硬，且重量也重許多。7、看品牌普通市場中所謂活性炭的品牌眾多，很多以次充好，質(zhì)量參差不齊。我們在購買時應(yīng)該選擇由國家認證的、有一定實力和品牌知名度的生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)的活性炭。例如，看是否有國家權(quán)威機構(gòu)頒發(fā)的榮譽資質(zhì)，當(dāng)然很多其他所謂榮譽證書都是可以花幾萬元購買到，但是一般省級或著名商標，必須具備足夠強的綜合實力才能拿下。其次，商標必須是注冊商標達3年以上的。至于活性炭牌子的選擇，建議選擇專業(yè)活性炭生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)的產(chǎn)品。溫馨提示：活性炭在使用一段時間后需要拿到室外晾曬，晾曬的目的是通過太陽的暴曬釋放出被潮氣占據(jù)的活性炭內(nèi)部空間，用以更好的吸附有害氣體。建議每隔15天左右拿到太陽下暴曬3-5個小時。
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化學(xué)機械拋光/平坦化 (CMP) 是微電子行業(yè)廣泛使用的一種工藝，通過化學(xué)力和機械力來進行平坦化處理。該工藝使用磨料和腐蝕性漿料來幫助平坦化晶圓表面。漿料的粒度分布是控制平坦化工藝成功的關(guān)鍵參數(shù)。氧化鈰 (ceria) 的漿料廣泛地應(yīng)用于集成電路 (IC) 制造的各種 CMP工藝中，本應(yīng)用說明記錄了 AccuSizer? Mini FX 準確測量二氧化鈰 CMP 漿料的平均粒徑和濃度，并檢查是否存在尾端大粒子的實際案例。
1、簡介
CMP 工藝和 CMP 漿料廣泛用于微電路制造過程中的拋光流程，CMP 漿料的性能對于提高設(shè)備產(chǎn)量至關(guān)重要，需要定期測量漿料的粒度分布 (PSD)。除測量平均粒徑之外，還應(yīng)對尾端大顆粒的存在（即遠離主峰的較大顆粒的濃度）進行測量。這些尾端可能來自工藝過程中的污染物，由于化學(xué)變化、CMP 輸送系統(tǒng)或施加的剪切力而導(dǎo)致的聚集。晶圓中缺陷與劃痕的數(shù)目與尾端大顆粒計數(shù) (LPC) >0.5-1 μm 有關(guān)，理想的表征系統(tǒng)應(yīng)提供準確的 LPC 值。
2、顆粒粒徑/計數(shù)技術(shù)
有許多顆粒表征技術(shù)可用于測量 CMP 漿料中顆粒的粒徑分布。包括動態(tài)光散射 (DLS) 和激光衍射在內(nèi)的光散射技術(shù)可以測量粒徑大小和粒徑分布，但不能提供任何有用的濃度信息。單顆粒光學(xué)技術(shù) (SPOS) 在顆粒通過狹窄的測量室時一次測量一個顆粒，從而提供準確的粒徑和濃度（顆粒/mL）結(jié)果。SPOS 本質(zhì)上是一種高分辨率的技術(shù)，能夠檢測從偏離主峰的尾端大粒子分布。它常用來檢測尾端大粒子濃度和數(shù)量，而 LPC 是 CMP 漿料造成晶圓缺陷和劃痕的主要原因。
AccuSizer ? Mini可以在實驗室中使用，也可以在線點對點使用。
3、ACCUSIZER MINI
AccuSizer 多年來一直被 CMP 漿料制造商和最 終用戶用來檢測尾端大顆粒是否存在，根據(jù)漿料的不同，可以選擇直接進行測量，也可以通過自動稀釋來優(yōu)化分析條件。
上圖所示的 AccuSizer Mini FX 系統(tǒng)設(shè)計用于檢測較小尾端大顆粒和高濃度樣品。FX 傳感器使用聚焦光束來減少檢測的總體積，從而提高傳感器的濃度限制，通常無需稀釋即可進行測量。FX 傳感器可測量 0.65–20 μm 的顆粒，其濃度比標準消光/遮光或散射傳感器高 200 倍。結(jié)果最多可以顯示在 512 個大小的通道中。
AccuSizer Mini系統(tǒng)是完全自動化的，專為滿足生產(chǎn)線的要求而設(shè)計。內(nèi)置的觸摸屏電腦控制著操作。用戶連接化學(xué)機械拋光液的旁路、過濾后的去離子水(如有必要，用于清洗和稀釋)、50兆帕的空氣管路以控制氣動，以及排泄管路。
4、使用的樣品
本研究使用了兩個二氧化鈰樣品；二氧化鈰 A 具有較小的尾端大顆粒，二氧化鈰B具有較大的尾端大顆粒。
5、結(jié)果
對二氧化鈰 A 進行了四次分析，以確定基礎(chǔ)樣品中顆粒的尺寸分布和濃度。四次分析的結(jié)果如圖 1 所示（濃度為線性標度）和圖 2（濃度為對數(shù)標度）。
圖 1. 二氧化鈰 A濃度，線性標度
圖 2. 二氧化鈰 A，對數(shù)標度
接下來，二氧化鈰A 中摻入約 1000000 顆粒/mL 的 1.36μm 聚苯乙烯乳膠 (PSL) 標準顆粒，以證明檢測大顆粒的能力。結(jié)果如圖 3 和圖 4 所示。
圖 3. 二氧化鈰A（紅色）+ 1.36 μm PSL 尖峰（黑色）
圖 4. 與圖 3 相同，但 y 軸擴展 8 倍
然后，在二氧化鈰 A 中摻入 1%（圖 5）和 10%（圖 6）的二氧化鈰 B，后者含有較長尾端大顆粒。圖 5 和圖 6 中的結(jié)果顯示了 AccuSizer 對尾端大顆粒的敏感性以及良好的重復(fù)性。
圖 5. 二氧化鈰 A 添加了 1% 二氧化鈰B
圖 6. 二氧化鈰A 添加了 10% 二氧化鈰 B
6、結(jié)論
這些結(jié)果證實 AccuSizer Mini FX 是一種準確、易于使用的分析工具，可檢測低濃度 LPC 顆粒的存在。
該系統(tǒng)可在實驗室或工廠中使用。Mini FX 分析儀可以位于流程中的任何位置，通常放置在最 終過濾器之后，在漿料與拋光工具中的晶片接觸之前進行監(jiān)測，如圖7所示。
圖 7. 晶圓加工過程中的 AccuSizer Mini
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