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問答社區(qū)

新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)第三師食品藥品檢驗(yàn)所LIMS順利驗(yàn)收

成都青軟青之軟件有限公司 2020-09-11 15:35:46 501  瀏覽
  •        近日,青軟青之與新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)第三師食品藥品檢驗(yàn)所共建的實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)(LIMS)項(xiàng)目順利完成驗(yàn)收工作。

           青軟青之與新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)第三師食品藥品檢驗(yàn)所經(jīng)過三個(gè)多月的緊密合作,目前,搭建的LIMS平臺(tái)已順利完成測(cè)試、上線、驗(yàn)收等一系列工作。

           本次LIMS平臺(tái)項(xiàng)目實(shí)施范圍主要涉及新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)第三師食品藥品檢驗(yàn)所的樣本部、檢測(cè)部、驗(yàn)證報(bào)告部等部門。青之LIMS系統(tǒng)通過檢驗(yàn)業(yè)務(wù)流程管理、實(shí)驗(yàn)室資源管理、質(zhì)量保證和質(zhì)量控制管理、客戶服務(wù)平臺(tái)、統(tǒng)計(jì)查詢等功能,全面覆蓋新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)第三師食品藥品檢驗(yàn)所各領(lǐng)域、各類型的檢驗(yàn)檢測(cè)業(yè)務(wù),顯著提升實(shí)驗(yàn)室食品藥品檢驗(yàn)檢測(cè)工作的效率,助力新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)第三師食品藥品檢驗(yàn)所實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室一體化管理,為新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)第三師食品藥品檢驗(yàn)所推動(dòng)實(shí)驗(yàn)室信息化建設(shè)、提高檢驗(yàn)業(yè)務(wù)規(guī)范化管理水平打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。 


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熱門問答

新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)第三師食品藥品檢驗(yàn)所LIMS順利驗(yàn)收

       近日,青軟青之與新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)第三師食品藥品檢驗(yàn)所共建的實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)(LIMS)項(xiàng)目順利完成驗(yàn)收工作。

       青軟青之與新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)第三師食品藥品檢驗(yàn)所經(jīng)過三個(gè)多月的緊密合作,目前,搭建的LIMS平臺(tái)已順利完成測(cè)試、上線、驗(yàn)收等一系列工作。

       本次LIMS平臺(tái)項(xiàng)目實(shí)施范圍主要涉及新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)第三師食品藥品檢驗(yàn)所的樣本部、檢測(cè)部、驗(yàn)證報(bào)告部等部門。青之LIMS系統(tǒng)通過檢驗(yàn)業(yè)務(wù)流程管理、實(shí)驗(yàn)室資源管理、質(zhì)量保證和質(zhì)量控制管理、客戶服務(wù)平臺(tái)、統(tǒng)計(jì)查詢等功能,全面覆蓋新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)第三師食品藥品檢驗(yàn)所各領(lǐng)域、各類型的檢驗(yàn)檢測(cè)業(yè)務(wù),顯著提升實(shí)驗(yàn)室食品藥品檢驗(yàn)檢測(cè)工作的效率,助力新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)第三師食品藥品檢驗(yàn)所實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室一體化管理,為新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)第三師食品藥品檢驗(yàn)所推動(dòng)實(shí)驗(yàn)室信息化建設(shè)、提高檢驗(yàn)業(yè)務(wù)規(guī)范化管理水平打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。 


2020-09-11 15:35:46 501 0
寧德市產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)所實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)(LIMS)順利驗(yàn)收

近日,由青軟青之承接的寧德市產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)所實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)(LIMS)項(xiàng)目完成竣工驗(yàn)收工作。

項(xiàng)目背景

寧德市產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)所作為專業(yè)從事產(chǎn)品檢測(cè)、質(zhì)量鑒定、技術(shù)咨詢、監(jiān)督抽查、標(biāo)準(zhǔn)制修定等工作的權(quán)威質(zhì)檢機(jī)構(gòu),同時(shí)需要滿足市場(chǎng)監(jiān)管總局的食品國抽的任務(wù)。隨著各項(xiàng)業(yè)務(wù)的快速開展,實(shí)驗(yàn)室的業(yè)務(wù)量也不斷增加,實(shí)現(xiàn)檢測(cè)業(yè)務(wù)的“規(guī)范化、自動(dòng)化、信息化、整體化”成為檢驗(yàn)所的重中之重。

實(shí)施目標(biāo)

青軟青之與寧德市產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)所歷經(jīng)4個(gè)月的緊密合作,搭建的青之LIMS平臺(tái)經(jīng)歷了項(xiàng)目啟動(dòng)、需求調(diào)研、藍(lán)圖設(shè)計(jì)、配置實(shí)現(xiàn)、功能測(cè)試、試運(yùn)行與上線等一系列工作,為寧德市產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)所建立起了一套完整全面的、適用于其自身發(fā)展的實(shí)驗(yàn)室信息管理平臺(tái),實(shí)現(xiàn)了實(shí)驗(yàn)室全流程的自動(dòng)化、無紙化辦公。

通過本次項(xiàng)目的成功實(shí)施,實(shí)現(xiàn)了對(duì)檢測(cè)結(jié)果的記錄、存儲(chǔ)、查詢以及質(zhì)量追溯等多維度需求,寧德市產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)所檢驗(yàn)業(yè)務(wù)的自動(dòng)化程度和規(guī)范化管理水平均得到有效提升。

 


2020-07-13 10:11:24 395 0
延邊朝鮮族自治州檢驗(yàn)檢測(cè)中心LIMS系統(tǒng)順利驗(yàn)收

近日,延邊朝鮮族自治州檢驗(yàn)檢測(cè)中心(國家參茸產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心)與青軟青之合作建設(shè)的實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)(LIMS)項(xiàng)目順利驗(yàn)收,該項(xiàng)目有機(jī)結(jié)合了先進(jìn)的信息化技術(shù)和實(shí)驗(yàn)室管理手段,立足于公共實(shí)驗(yàn)平臺(tái)建設(shè)和使用的需要,以實(shí)現(xiàn)檢測(cè)工作的管理規(guī)范化和運(yùn)作現(xiàn)代化。

基于前期對(duì)延邊朝鮮族自治州檢驗(yàn)檢測(cè)中心(國家參茸產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心)進(jìn)行的全面實(shí)地調(diào)研和需求分析,青軟青之組建了經(jīng)驗(yàn)豐富的開發(fā)團(tuán)隊(duì),全力配合項(xiàng)目進(jìn)行實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)開發(fā)工作,為用戶建立了多基地、多專業(yè)的檢測(cè)信息管理系統(tǒng)。

通過青之實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)King'sLIMS的建設(shè),協(xié)同完成了國家參茸產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心業(yè)務(wù)模式與質(zhì)檢中心綜合性檢驗(yàn)檢測(cè)業(yè)務(wù)的可視化展示,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化、流程化、標(biāo)準(zhǔn)化,形成互聯(lián)互通、信息共享、業(yè)務(wù)協(xié)同的管理模式。通過LIMS系統(tǒng)對(duì)業(yè)務(wù)資源的整合,實(shí)現(xiàn)對(duì)全局系統(tǒng)各實(shí)驗(yàn)室的資源(包括人員、設(shè)備、實(shí)驗(yàn)材料、實(shí)驗(yàn)環(huán)境、檢測(cè)技術(shù)能力等)、檢驗(yàn)檢測(cè)業(yè)務(wù)工作流程、電子原始記錄、微信服務(wù)、數(shù)據(jù)查詢與統(tǒng)計(jì)等實(shí)行統(tǒng)籌管理,使其能更好地為科學(xué)檢驗(yàn)提供可靠的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和精準(zhǔn)的決策信息,有效提高技術(shù)保障水平和工作效率,實(shí)現(xiàn)了檢測(cè)中心管理水平和行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力的全面提升。 


2022-01-24 11:19:16 295 0
食品藥品檢驗(yàn)所 使用哪種limsZ好
 
2017-04-30 17:47:12 439 2
青軟青之中標(biāo)新疆建設(shè)兵團(tuán)三師食藥所LIMS系統(tǒng)
青軟青之中標(biāo)新疆建設(shè)兵團(tuán)三師食藥所LIMS系統(tǒng)
2020-05-15 14:52:49 315 0
黃岡大別山檢測(cè)認(rèn)證有限公司LIMS系統(tǒng)升級(jí)項(xiàng)目順利驗(yàn)收

        近日,黃岡大別山檢測(cè)認(rèn)證有限公司對(duì)青之實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)(LIMS)升級(jí)改造進(jìn)行了驗(yàn)收測(cè)試。

       本次LIMS系統(tǒng)升級(jí)針對(duì)黃岡大別山檢測(cè)認(rèn)證有限公司實(shí)際業(yè)務(wù)提供了面向?qū)I(yè)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)且集檢測(cè)業(yè)務(wù)管理,資源管理,質(zhì)控管理,數(shù)據(jù)管理,報(bào)告管理等諸多模塊為一體的實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)。同時(shí),成功對(duì)接國抽數(shù)據(jù)上報(bào)系統(tǒng),解決了實(shí)驗(yàn)室人員在數(shù)據(jù)錄入時(shí)的重復(fù)工作問題,大幅度提高了工作效率, 高 效 便捷的縮短了任務(wù)周期。在整個(gè)實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)(LIMS)升級(jí)的過程中,平臺(tái)功能、性能和穩(wěn)定性,數(shù)據(jù)安全性方面都有了很大提升和完善,青之LIMS系統(tǒng)通過對(duì)檢測(cè)各關(guān)鍵環(huán)節(jié)的信息化管理融入黃岡大別山檢測(cè)認(rèn)證有限公司經(jīng)營管理的環(huán)節(jié)中,將會(huì)全面提高合規(guī)水平與客戶服務(wù)能力。

 

客戶簡(jiǎn)介:

       黃岡大別山檢測(cè)認(rèn)證有限公司于2016年03月08日成立,是經(jīng)湖北省財(cái)政廳和湖北省質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局批準(zhǔn)同意的具有獨(dú)立法人資格的國有綜合性檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)。2018年7月30日,經(jīng)黃岡市財(cái)政局和國資委批準(zhǔn),成為黃岡白潭湖投資發(fā)展有限公司的全資子公司。黃岡大別山檢測(cè)認(rèn)證有限公司擁有一批技術(shù)優(yōu)良、結(jié)構(gòu)合理、具有敬業(yè)創(chuàng)新精神的技術(shù)團(tuán)隊(duì)與服務(wù)人員,為客戶提供公正、快捷、優(yōu)質(zhì)、 高 效 的技術(shù)服務(wù),能夠?yàn)檎块T、企業(yè)、消費(fèi)者提供一站式的全面質(zhì)量解決方案,滿足其對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)的更高要求。公司專業(yè)從事產(chǎn)品的檢測(cè)、檢驗(yàn)及授權(quán)仲裁鑒定、認(rèn)證咨詢服務(wù)。檢驗(yàn)?zāi)芰w食品 及相關(guān)產(chǎn)品、輕工日用品、能源化工產(chǎn)品、機(jī)械電氣、建筑及裝飾材料等30大類,具備1288個(gè)檢驗(yàn)產(chǎn)品,3795個(gè)檢驗(yàn)參數(shù),檢驗(yàn)?zāi)芰ξ痪雍笔z驗(yàn)機(jī)構(gòu)前列。

 


2020-09-28 17:05:58 381 0
湖北省普林標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)服務(wù)有限公司LIMS系統(tǒng)順利驗(yàn)收

       近日,湖北省普林標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)服務(wù)有限公司與青軟青之共建的實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)(LIMS)項(xiàng)目順利通過驗(yàn)收,并正式上線。

      湖北省普林標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)服務(wù)有限公司是一家提供第三方檢測(cè)服務(wù)和專業(yè)技術(shù)咨詢服務(wù)的綜合型科技公司,為食品、日用品、化妝品、健康相關(guān)產(chǎn)品(消毒、涉水)、藥品、醫(yī) 療器械、公共衛(wèi)生、環(huán)境等行業(yè)和相關(guān)領(lǐng)域提供一站式的服務(wù)方案。普林標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)服務(wù)有限公司總部設(shè)在武漢,擁有2000多平米符合ISO17025國際標(biāo)準(zhǔn)要求的綜合型實(shí)驗(yàn)室,公司具備行業(yè)內(nèi)先進(jìn)的檢測(cè)儀器設(shè)備如GC-MS, LC-MS, ICP-MS, ICP-OES, AFS等,可為客戶提供從產(chǎn)品研發(fā)、標(biāo)準(zhǔn)制定、人員培訓(xùn)、質(zhì)量檢測(cè)、包裝設(shè)計(jì)審核等一條龍服務(wù)。

 

       隨著各項(xiàng)業(yè)務(wù)的快速開展,湖北省普林標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)服務(wù)有限公司的業(yè)務(wù)量在不斷增加,部門之間的信息互通的需求越來越強(qiáng)烈,為此,青軟青之緊密貼合用戶的需求為其打造了跨部門、跨平臺(tái)的綜合信息管理平臺(tái)。青之實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)(LIMS)在整合了耗材、設(shè)備和人力資源等多個(gè)部門的資產(chǎn)管理的基礎(chǔ)上,提供了檢測(cè)業(yè)務(wù)流程管理、質(zhì)量管理、數(shù)據(jù)標(biāo)準(zhǔn)管理、數(shù)據(jù)查詢分析、原始記錄無紙化等功能,大大提高了管理的精細(xì)化和自動(dòng)化程度,有力提升了實(shí)驗(yàn)室的管理效率,釋放實(shí)驗(yàn)室的工作效能,為實(shí)驗(yàn)室管理者做出科學(xué)性決策提供依據(jù)。


2020-11-13 16:59:47 492 0
新疆兵團(tuán)農(nóng)十三師紅星醫(yī)院簡(jiǎn)介
新疆哈密紅星醫(yī)院簡(jiǎn)介... 新疆哈密紅星醫(yī)院簡(jiǎn)介 展開
2010-06-25 06:56:50 703 1
食品藥品檢驗(yàn)所與產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)所有什么區(qū)別?
 
2013-11-18 22:54:55 639 2
福州大學(xué)離子束刻蝕機(jī)順利驗(yàn)收

福州大學(xué)離子束刻蝕機(jī)順利驗(yàn)收


烈日炎炎,熱情滿心間!后疫情時(shí)代,NANO-MASTER工程師步履不停,一站接一站為客戶提供設(shè)備安裝調(diào)試服務(wù)。首站福州大學(xué),那諾-馬斯特工程師已順利安裝驗(yàn)收NIE-3500型離子束刻蝕機(jī)!



性能配置:

  • 離子束刻蝕機(jī)用于刻蝕金屬和介質(zhì),z大可支持6”晶圓。

  • 配套美國考夫曼-羅賓遜 KDC160離子槍,650mA,100-1200V??涛g速率:~250A/min對(duì)Au;刻蝕均勻度:對(duì)4”片,片內(nèi)均勻性優(yōu)于±3%,重復(fù)性優(yōu)于±3%。

  • 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速0-30RPM精確可控;可任意角度傾斜,支持斜齒刻蝕;帶水冷功能,刻蝕后易去除光刻膠。

  • 極限真空12小時(shí)可達(dá)6x10-7Torr,15分鐘可達(dá)10-6Torr量級(jí)的真空;采用雙真空計(jì),長(zhǎng)期可靠,使用穩(wěn)定。

  • 14”不銹鋼立方腔體,配套一臺(tái)主控計(jì)算機(jī),20”觸摸屏監(jiān)控,配合Labview軟件,實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)全自動(dòng)工藝控制,并可在電源中斷情況下安全恢復(fù);完全的安全聯(lián)鎖;支持百級(jí)超凈間使用。


驗(yàn)收培訓(xùn):


安裝調(diào)試視頻:

2022-08-16 21:44:30 318 0
山西省食品藥品檢驗(yàn)所食品實(shí)驗(yàn)室設(shè)備及儀器有哪些
 
2014-12-25 02:08:04 317 3
智能檢測(cè) 助力纖檢|湖北省纖維檢驗(yàn)局荊門分局LIMS項(xiàng)目順利驗(yàn)收

       近日,青之軟件承建的湖北省纖維檢驗(yàn)局荊門分局實(shí)驗(yàn)室LIMS系統(tǒng)順利驗(yàn)收。通過LIMS軟件產(chǎn)品應(yīng)用,為湖北省纖維檢驗(yàn)局荊門分局提高檢測(cè)效率、優(yōu)化實(shí)驗(yàn)室資源管理提供有力的支持。

       為了提升湖北省纖維檢驗(yàn)局荊門分局智能化/信息化管理,讓檢測(cè)工作邁入智能管理新階段,青之軟件為湖北省纖維檢驗(yàn)局荊門分局提供的實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)(LIMS)采用業(yè)界公認(rèn)先進(jìn)的和標(biāo)準(zhǔn)的軟件技術(shù),符合信息技術(shù)發(fā)展的趨勢(shì),保證系統(tǒng)在可預(yù)見的未來有相當(dāng)強(qiáng)大的生命力。

       青之實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)滿足ISO/IEC:17025體系的全部要求,能對(duì)實(shí)驗(yàn)室的資源、樣品、分析任務(wù)、實(shí)驗(yàn)結(jié)果、質(zhì)量控制等進(jìn)行合理有效的科學(xué)管理。其中對(duì)于纖檢樣品的測(cè)試項(xiàng)目、測(cè)試方法、判定標(biāo)準(zhǔn)的選擇又是整個(gè)業(yè)務(wù)功能模塊的重中之重,整個(gè)管理信息系統(tǒng)的效率很大程度上取決于是否有一個(gè)GX、便捷、易維護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)項(xiàng)目庫。青軟青之提供的標(biāo)準(zhǔn)及項(xiàng)目庫可全面涵蓋了湖北省纖維檢驗(yàn)局荊門分局的業(yè)務(wù)范圍,標(biāo)準(zhǔn)管理能夠?qū)?biāo)準(zhǔn)級(jí)別、種類、認(rèn)證范圍等基礎(chǔ)信息管理、標(biāo)準(zhǔn)之間的更新替代、相互之間的參數(shù)引用、標(biāo)準(zhǔn)的主要檢測(cè)產(chǎn)品類別、標(biāo)準(zhǔn)的借閱發(fā)放記錄等管理。青之LIMS作為一種有效的質(zhì)量控制工具在滿足日常管理要求的同時(shí),保證檢驗(yàn)分析數(shù)據(jù)的嚴(yán)格管理和控制。它能全面優(yōu)化實(shí)驗(yàn)室的檢驗(yàn)管理工作,顯著提升實(shí)驗(yàn)室的工作效率和生產(chǎn)力,提高質(zhì)量控制水平。

      客戶簡(jiǎn)介

      湖北省纖維檢驗(yàn)局荊門分局承擔(dān)著國家和省、市有關(guān)部門下達(dá)的棉花等纖維的質(zhì)量監(jiān)督檢查和公證檢驗(yàn)工作;受理公民、法人或其他組織申請(qǐng)的紡織纖維及其制品的委托檢驗(yàn)、仲裁檢驗(yàn);提供檢驗(yàn)技術(shù)培訓(xùn)交流、技術(shù)咨詢服務(wù);負(fù)責(zé)荊門轄區(qū)內(nèi)纖維及纖維制品質(zhì)量監(jiān)督工作。


2020-05-29 16:08:00 433 0
季華實(shí)驗(yàn)室磁控濺射系統(tǒng)順利驗(yàn)收


季華實(shí)驗(yàn)室磁控濺射系統(tǒng)順利驗(yàn)收

近日,NANO-MASTER工程師至季華實(shí)驗(yàn)室,順利安裝驗(yàn)收NSC-3500型磁控濺射系統(tǒng)!

磁控濺射系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體應(yīng)用,同時(shí)也可以用于各種需要進(jìn)行微納工藝濺射鍍膜的情形??捎糜诮饘俨牧希ń?、銀、銅、鎳、鉻等)的直流濺射、直流共濺射,絕緣材料(如陶瓷等)的射頻濺射,以及反應(yīng)濺射能力?;芍С止杵?,氧化硅片,玻璃片,以及對(duì)溫度敏感的有機(jī)柔性基片等。



設(shè)備優(yōu)勢(shì)

01鍍膜均勻性

對(duì)于最關(guān)鍵的鍍膜的均勻性方面,對(duì)于6”硅片的金屬材料鍍膜,NANO-MASTER可以達(dá)到優(yōu)于3%的鍍膜均勻度,而一些設(shè)備只能穩(wěn)定在5%甚至更高。

02設(shè)備制造工藝

在配備相似等級(jí)的分子泵及機(jī)械泵的情況下,NANO-MASTER具有更快的抽真空速率,比如可以在20-25分鐘左右就達(dá)到高真空工藝,而一些設(shè)備則需要30-40分鐘。腔體真空的穩(wěn)定度影響鍍膜的性能。

03工藝的可重復(fù)性

NANO-MASTER設(shè)備在工藝控制方面,有更高的自動(dòng)化能力,通過PC控制,減少人工干預(yù)造成的工藝偏差。而一些設(shè)備要求人工配合,導(dǎo)致不同人采用同樣的工藝做出來的效果不同,甚至同一個(gè)人在不同時(shí)間運(yùn)行相同的工藝做出來的效果也不同。

04設(shè)備緊湊性

一些設(shè)備在滿足相同性能情況下,由于加工的精密度方面的差距,造成設(shè)備比較龐大,占地面積較大,使得實(shí)驗(yàn)室寶貴的空間被占用嚴(yán)重。而NANO-MASTER設(shè)備相對(duì)而言具有更緊湊的設(shè)計(jì),占地面積也較小。

05設(shè)備穩(wěn)定性

進(jìn)口設(shè)備的維護(hù)率較低,可以保證設(shè)備較長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定運(yùn)行,而一些設(shè)備的故障率高,不利于設(shè)備的穩(wěn)定使用,經(jīng)常因?yàn)楣收嫌绊憣?shí)驗(yàn)的正常進(jìn)行,影響科研進(jìn)度。


2023-04-12 14:26:08 237 0
廣西師范大學(xué)RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)順利驗(yàn)收

廣西師范大學(xué)RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)順利驗(yàn)收

近日,NANO-MASTER工程師至廣西師范大學(xué),順利安裝驗(yàn)收NRE-3000型RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)!

詳細(xì)參數(shù):

1.  腔體:10”直徑的圓柱形腔體;陽極氧化鋁材質(zhì),抗腐蝕性強(qiáng);上下蓋設(shè)計(jì),氣動(dòng)升降頂蓋,一鍵實(shí)現(xiàn)上蓋的開啟/閉合;淋浴頭設(shè)計(jì),最佳的氣流均勻分布

2. 樣品臺(tái):4”樣品臺(tái);冷卻功能;偏壓功能,支持各向異性的垂直刻蝕;

3. 質(zhì)量流量控制器:4路氣體,每路包含MFC、氣動(dòng)截止閥和不銹鋼管路氣體

4. 真空系統(tǒng):分子泵與機(jī)械泵,4分鐘內(nèi)可達(dá)10-4Torr的高工藝真空度,12小時(shí)抽氣后,干凈腔體中的壓力可達(dá)極限真空6x10-7 Torr;分子泵與工藝腔體采用直連設(shè)計(jì)方案,具有最佳的真空傳導(dǎo)率

5. 射頻電源:13.56MHz,300W,反射功率≤5W,配套自動(dòng)調(diào)諧器,穩(wěn)定輸出功率為95%

6. 控制系統(tǒng):Lab View軟件控制;四級(jí)密碼授權(quán)訪問;壓力、流量、功率等主要參數(shù)指標(biāo)實(shí)時(shí)顯示;20”的監(jiān)控屏幕

7. 系統(tǒng)信息:26”×26”占地面積;鋁質(zhì)柜體;完全的安全聯(lián)鎖

8. 主要工藝參數(shù)

(1)應(yīng)用范圍:有機(jī)物刻蝕、硅的化合物刻蝕、光刻膠去膠等;

(2)工藝參數(shù):4”片為例;

(3)刻蝕均勻性優(yōu)于:+/-3%;

(4)Si3N4的刻蝕速率:≥50nm/min;

(5)對(duì)PR選擇比:≥1.5:1;

(6)陡直度:≥82°;

(7)SiO2的刻蝕速率:≥40nm/min;

(8)對(duì)PR選擇比:≥1.5:1;

(9)陡直度:≥85°。


2022-10-08 12:47:10 317 0

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