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納米壓痕儀、微納米壓痕儀、掃描熱學(xué)顯微鏡、原子力顯微鏡、探針臺、晶圓探針式輪廓儀
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主要產(chǎn)品包括薄膜沉積、生長設(shè)備,干法刻蝕設(shè)備,兆聲濕法清洗及太空模擬測試設(shè)備等,配套系統(tǒng)ALD/PEALD、PAMOCVD、磁控濺射、PECVD、熱/電子束蒸發(fā)、RIE反應(yīng)離子刻蝕、IBE離子束刻蝕等
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