1）操作安全：系統(tǒng)應具有抗腐蝕性、毒性、耐壓、防燃防爆等功能，保證操作者安全； 2）兼容性：與化學品接觸部份應完全與輸送化學品兼容，對化學品零污染； 3）流量及揚程：滿足供液過程中的流量和...

配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗（可選）、N2吹干、高速甩干功能，集成度高，占地面積小，濕進干出，適用于各類CMP后晶圓的清洗。

表面顆粒的去除可以調整化學試劑的配方成分，使得襯底表面存在Z少量的顆粒，同時利用程序化的混合方式使化學試劑在襯底表面完全均勻的分布

1.自主研發(fā)的智能精準的傳輸控制系統(tǒng) 2. 全自動化學品集中供液系統(tǒng)（CDS） 3. 可選配多組合的晶圓清洗工藝 4.單片處理時間短，節(jié)約成本，良品率高，有效避免邊緣再附著 5.立體層疊式結構...

1.全自動清洗模式，避免了操作人員接觸化學液體； 2.經(jīng)過多段清洗流程，能高效用于PCB清洗和PCBA 的助焊劑殘留清洗； 3.獨特的整套清洗系統(tǒng)設計，從多方向進行清洗，徹底消除了清洗死角，充分保...

工作效率高，工作節(jié)奏緊湊快捷，且所生產(chǎn)出的產(chǎn)品工藝質量穩(wěn)定。 ?封閉罩能夠節(jié)約用水，節(jié)省藥液，達到節(jié)能減排環(huán)保清潔工廠之要求。 降低廢酸、廢水、廢渣的產(chǎn)生量，實現(xiàn)達標排放。

1.一體化、模塊化結構，占地小，容量大，清洗產(chǎn)能高； 2.行業(yè)唯一單向超聲輸出，空化效率高，清洗潔凈度高; 3.獨特的分離式自動搬運機械手，高效穩(wěn)定、便于維護保養(yǎng)； 4.配套均勻的氣壓鼓泡系統(tǒng)，...

1.一體化、模塊化結構，占地小，容量大，清洗產(chǎn)能高； 2.行業(yè)唯一單向超聲輸出，空化效率高，清洗潔凈度高； 3.獨特的分離式自動搬運機械手，高效穩(wěn)定、便于維護保養(yǎng); 4.可選裝油水分離系統(tǒng)磁性分...