各相關(guān)企業(yè)均要求通過降低因不同工藝步驟產(chǎn)生的晶圓污染與損失而提高產(chǎn)量、減少生產(chǎn)設(shè)備的維修。提高生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)效率。要達(dá)到這個(gè)目標(biāo)，就需要一種滿足綜合一系列關(guān)鍵要求的新型材料，這些關(guān)鍵要求包括：高純度；...

目前，在太陽能光伏、電子半導(dǎo)體領(lǐng)域，隨著晶圓尺寸、產(chǎn)量及單個(gè)晶圓成本逐漸增大，更加苛刻的化學(xué)、高溫加工環(huán)境。各相關(guān)企業(yè)均要求通過降低因不同工藝步驟產(chǎn)生的晶圓污染與損失而提高產(chǎn)量、減少生產(chǎn)設(shè)備的維修。提...