可以定制，根據(jù)工藝需求，也可設(shè)計成爐體移動或者真空系統(tǒng)移動的方案。12個月質(zhì)保期。

不均勻性低于1%； 陽極氧化鋁腔體； 小反應(yīng)腔體容積確保快速的循環(huán)時間并提高質(zhì)量； ZD可支持4英寸基片； Z多支持4路50cc/100cc前驅(qū)體源； 高深寬比結(jié)構(gòu)的保形生長。

PS-200單靶磁控濺射鍍膜機(jī)主要由真空室、磁控靶、旋轉(zhuǎn)基片架、真空系統(tǒng)、機(jī)架、電器控制等幾大部分組成?？捎脕碇苽鋵?dǎo)電膜、金屬膜、介質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、絕緣膜、多層膜等。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小適合高校實...

GASS立式甩干機(jī)是高潔凈度沖洗甩干設(shè)備, 具有高潔凈沖洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特點，不同晶圓尺寸，可通過快速更換轉(zhuǎn)子來實現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設(shè)備，設(shè)備本身有單腔室和雙腔室2種結(jié)構(gòu)，體型...