深圳中圖白光干涉儀三維表面輪廓儀隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復(fù)性.

SuperViewW1白光干涉3d表面輪廓儀在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡?？筛采w8英寸及以下晶圓，定制版真空吸附盤，穩(wěn)定固定Wafer；氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì)...

一是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件； 二是測量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量； 三是不必作探頭半徑補(bǔ)正，光點(diǎn)位置就是工件表面測量的位置； 四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而精確的得到理...

非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效

中圖儀器SuperView W1非接觸式三維表面輪廓儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。適用于各種產(chǎn)品、部件和材...

1、 高精度、高重復(fù)性； 2、 一體化操作的測量分析軟件； 3、 精密操縱手柄； 4、 雙通道氣浮隔振系統(tǒng)；