MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)經(jīng)過(guò)優(yōu)化，適用于最大尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器、電路板以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測(cè)。其采用的模塊化設(shè)計(jì)使您能夠選擇需要的組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。

AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和安全。

AL120晶圓輸入器系列可快速、安全地將硅和化合物半導(dǎo)體晶圓從晶圓匣轉(zhuǎn)移到顯微鏡載物臺(tái)。該晶圓裝卸器旨在提高產(chǎn)品檢測(cè)通量，與我們的MX63半導(dǎo)體顯微鏡相結(jié)合，可組成可靠的晶圓檢測(cè)解決方案。