·超安靜運(yùn)動(dòng) 納米級(jí)分辨率 ·全行程運(yùn)動(dòng)中，保證通孔·XY一體式組合結(jié)構(gòu)·內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器 ·斷電位置自保持 ·可與高精度壓電掃描臺(tái)堆疊組合

超安靜運(yùn)動(dòng) ·納米級(jí)分辨率 ·斷電位置自保持 ·并聯(lián)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu) ·內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器 靈活的可定制方案

超安靜運(yùn)動(dòng) 納米級(jí)分辨率 ·斷電位置自保持·內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器 并聯(lián)驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu) 高剛性系統(tǒng)

超安靜運(yùn)動(dòng) ·納米級(jí)分辨率 斷電位置自保持內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器 ·多種行程規(guī)格

·高性能驅(qū)動(dòng)力 ·大負(fù)載垂直提升閉環(huán)控制，內(nèi)置光柵位置傳感器 ·直驅(qū)傳動(dòng)無(wú)間隙·優(yōu)秀的導(dǎo)向系統(tǒng) 完整運(yùn)動(dòng)臺(tái)設(shè)計(jì)，方便安裝使用

高性能驅(qū)動(dòng)力 高分辨率精密位移 緊湊設(shè)計(jì)，易于集成.超高分辨率、動(dòng)力強(qiáng)勁的壓電推桿

靜音運(yùn)動(dòng) 高運(yùn)動(dòng)速度 閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制 納米級(jí)分辨率

速度，最?步伐&負(fù)載的均衡之選；全品類超100種基礎(chǔ)運(yùn)動(dòng)模塊，覆蓋絕?多數(shù)使?需求

? 采用小導(dǎo)程滾珠絲杠，標(biāo)配二相步進(jìn)電機(jī)，微步能力強(qiáng)、耐用性好 ? 采用交叉滾柱導(dǎo)軌，強(qiáng)度高、負(fù)載能力強(qiáng) ? 導(dǎo)軌安裝面采用精密磨削工藝，使得產(chǎn)品具有較高的運(yùn)動(dòng)精度 ? 內(nèi)置三個(gè)傳感器（正負(fù)限位...

QF 系列滑臺(tái)是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機(jī)構(gòu)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線滑臺(tái)。具有高穩(wěn)定度、高分辨率，精密位移，大負(fù)載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機(jī)構(gòu)，工作過(guò)程沒(méi)有摩擦， 無(wú)灰塵產(chǎn)生，沒(méi)有爬行現(xiàn)象。產(chǎn)品尺寸較