Verifire? XL 激光干涉儀是一個獨立的工作站，設計用于直徑達12英寸（300毫米）的大型平面的簡單可靠計量。示例包括前表面反射器，窗口和半導體晶片或晶片卡盤。

斐索型激光干涉儀，具有QPSI測量模式，能夠在振 動環(huán)境中檢測，真正的共光路面形計量干涉儀。

ZeGage? Plus 激光干涉儀是用于3D形貌定量測試，和精密機械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。

ZYGO的Verifire? MST激光干涉儀通過波長調制技術和ZYGO新的傅立葉變換方法，可以進行三個甚至四個平行面的測量，不僅可以顯示所有的面，并且可以排除其他的面而單獨顯示你所需要的面。