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吉時利4200在MEMS器件測試的應(yīng)用方案

來源：西安安泰測試設(shè)備有限公司 更新時間：2020-11-06 11:30:54 閱讀量：346
一、MEMS器件測試概述
1.     主要測試目的及內(nèi)容：
微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 是一種建立非常小的結(jié)構(gòu)的技術(shù)，通常范圍為毫米到微米。納米機(jī)電系統(tǒng) (NEMS) 是類似的，但其范圍是在納米。MEMS/NEMS 結(jié)構(gòu)是一個集成的設(shè)備，集微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路于一體。
微傳感器是將各種物理信號，如壓力，聲音，加速度等，轉(zhuǎn)化為電信號的過程，而微執(zhí)行器剛好相反，是將電信號轉(zhuǎn)化為機(jī)械位移的過程。本平臺主要是通過電學(xué)測量的方法測試微傳感器的輸出信號。
推薦測試項(xiàng)一 ：MEMS 傳感器輸出電容測試
推薦測試項(xiàng)二 ：MEMS 傳感器輸出電阻測試
推薦測試項(xiàng)三 ：MEMS 傳感器泄露電流測試
2.    主要測試需求
根據(jù)微傳感器轉(zhuǎn)換電信號原理，分為電容式傳感器和電阻式傳感器，因此傳感器的輸出測試主要是測試不同輸入信號給入時的電容值或電阻值。除此以外，漏電流測試也是表征傳感器是否有缺陷的一種技術(shù)手段。
2.1電容測試

電容式微傳感器當(dāng)接收到不同外界物理量的輸入信號時，會發(fā)生一定的位移，位移值不同，其電容值也不同，因此輸出的電容值可以表征輸入信號的大小，通常該電容值為pF量級。當(dāng)沒有外界物理量輸入時，還可以用電壓信號來模擬不同 大小的物理量，監(jiān)測微傳感器在不同偏壓時電容值的變化。因此電容測試的過程其實(shí)就是 C-V 測試的過程，測試設(shè)備所能施加的交流頻率范圍，偏壓大小和電容測試精度是需要考慮的幾個重要指標(biāo)。
2.2電阻測試
電阻式傳感器當(dāng)接收到不同外界物理量的輸入信號時，輸出電阻值會發(fā)生一定 變化，因此電阻值可以表征輸入信號的大小。要求測試設(shè)備電阻測量精度高，可重復(fù)性好。
二．MEMS器件測試平臺介紹
4200A-SCS 是一款集成式半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)，共有 9 個插槽，支持 3 種不同類型的模塊，包括直流 I-V 測試模塊源測量單元，交流 C-V 測試模塊以及超快脈沖測量單元，內(nèi)置Win 7 操作系統(tǒng)以及 450 種以上測試庫，可以很方便的進(jìn)行MEMS 器件測試。

1. 交流電容C-V測試模塊

交流電容 C-V 測試模塊 4210-CVU 內(nèi)置交流電壓源，直流偏置電壓源，交流電流表和交流電壓表，使用開爾文測試模式，可以在掃描直流偏置電壓的同時，測試不同偏置電壓的電容值，且頻率范圍可調(diào)，高達(dá) 10MHz。
2. 直流I-V測試模塊
直流 I-V 測試模塊，即源測量單元 SMU，可以在掃描電壓的同時測試電流來生成 I-V 曲線，通過公式計(jì)算 MEMS 傳感器的輸出電阻值。選配可選的前端放大器模塊后，輸入阻抗高達(dá) 10PΩ(1E16Ω)，電流精度為 10fA，可以測試寬范圍的電阻值，且其電流高精度性能可以用來測試 MEMS 傳感器的漏流指標(biāo)。
3. IV-CV多通道切換開關(guān)
為了方便在 IV 和 CV 測試之間靈活切換，省去手動換線的過程，可以選擇 IVCV 多通道切換開關(guān)在 IV 模塊和 CV 模塊之間進(jìn)行切換。
三. 測試平臺功能和技術(shù)特點(diǎn)
1. 測試平臺基本功能

2. 主要參數(shù)指標(biāo)

    如需了解吉時利更多產(chǎn)品應(yīng)用歡迎訪問安泰測試網(wǎng)。


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