室溫測試時(shí)，分別采集背景、參比樣品、測試樣品的透射光譜，參比光譜和樣品光譜扣除背景光譜后轉(zhuǎn)換為吸收光譜，并采用差譜法扣除碳吸收譜帶位置上的硅晶格吸收。

根據(jù)比耳定律計(jì)算硅中代位碳原子在波數(shù)為605cm^-1處紅外吸收峰的吸收系數(shù)，按給出的標(biāo)定因子確定代位碳原子含量。

1.室溫，紅外光譜儀分辨率:2cm^-1；掃描次數(shù)：64次；

2.確認(rèn)紅外光束通過測試參比樣品和樣品的中心位置；在相同的測試條件下，測試參比樣品和樣品在500cm^-1~700cm^-1波數(shù)范圍內(nèi)的吸收光譜；

3.進(jìn)行參比樣品和樣品的圖譜運(yùn)算（差譜法）（碳吸收帶的半峰寬應(yīng)不大于6cm^-1）；

4.代位碳原子含量的計(jì)算：

α：吸收系數(shù)（cm^-1）；

X：樣品厚度（mm）;

A_p：吸收峰定點(diǎn)位置的吸光度值；

A_b：基線處的吸光度值。

N_[c]：代位碳原子含量（cm^-3）;

F：標(biāo)定因子，8.2×10¹⁶cm^-2；

α：吸收系數(shù)（cm^-1）。

1.室溫測試時(shí)，參比樣品的碳含量應(yīng)小于1×10¹⁵cm^-3；

2.碳可能存在于間隙位置，此方法不能測試總碳含量；

3.測試樣品和參比樣品之間的厚度差宜盡可能小，以避免硅晶格吸收對(duì)測試的影響；

4.樣品表面拋光質(zhì)量對(duì)測試結(jié)果會(huì)產(chǎn)生影響，樣品表面應(yīng)無刀痕、劃傷、橘皮、小凹坑等；

5.樣品厚度約為2mm，測試樣品和參比樣品厚度差宜不大于0.010mm；

6.樣品測試區(qū)的厚度變化應(yīng)不大于0.005mm。

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