激光誘導(dǎo)損傷閾值（LIDT-Laser Induced Damage Threshold）是衡量光學(xué)元件激光負載性能的核心指標(biāo)，而LIDT測試系統(tǒng)對準(zhǔn)確測量光學(xué)元件損傷閾值至關(guān)重要。本測試系統(tǒng)依據(jù)國際通用的LIDT測試規(guī)范，使用圖像識別方法實時在線判斷損傷，主要部件涵蓋：激光光源、能量衰減器、能量采樣系統(tǒng)、聚焦系統(tǒng)、光束質(zhì)量采樣系統(tǒng)、損傷識別系統(tǒng)、測點位置控制系統(tǒng)， 系統(tǒng)具有操作簡單、界面友好、信息直觀、功能豐富、主要部件全電動程序控制的特點，實現(xiàn)了激光損傷閾值的全自動化高效準(zhǔn)確測量。

激光誘導(dǎo)損傷閾值 (LIDT) 在 ISO 21254 中定義為“光學(xué)器件推測的損傷概率為零的高激光輻射量”。LIDT旨在指定激光器在損傷發(fā)生前能夠承受的最大激光能量密度（脈沖激光器，通常以J/cm2為單位）或最大激光強度（連續(xù)波激光器，通常以W/cm2為單位）。由于激光損傷試驗的統(tǒng)計性質(zhì)，LIDT不能被視為低于此值則不會發(fā)生損傷的能量密度，而是低于此值則損傷概率小于臨界風(fēng)險水平的能量密度。風(fēng)險水平取決于幾個因素，如光束直徑、每個樣品的測試點數(shù)量，以及為了確定規(guī)格而測試的樣品數(shù)量。 

光學(xué)組件中的激光損傷會導(dǎo)致系統(tǒng)性能降低，甚至可能因此導(dǎo)致災(zāi)難性的故障。對 LIDT 理解不正確可能會導(dǎo)致成本顯著提高或組件故障。尤其是在處理高功率激光時，LIDT是各類激光光學(xué)組件（包括反射性、透射性和吸收性組件）的重要規(guī)格。

除了熱積累和介質(zhì)擊穿之外，激光誘導(dǎo)損傷還可能由激光與某種缺陷的相互作用引起。缺陷包括研磨和拋光過程留下的表面下?lián)p傷、光學(xué)元件上留下的拋光磨粒的極小顆粒，或鍍膜上留下的一團團金屬元素。每個缺陷源都表現(xiàn)出不同的吸收特性，因為任何給定缺陷的性質(zhì)和大小都將決定光學(xué)元件在不造成損傷的情況下能夠承受的激光強度。

我司推出的激光損傷閾值測試系統(tǒng)主體機構(gòu)圖如下：

激光損傷閾值測試系統(tǒng)的測試工作原理如下：激光器用于產(chǎn)生固定能量的高能激光，經(jīng)過能量衰減系統(tǒng)將能量衰減為測試需要能量大小的激光。對于具有多個波長輸出的激光器，通過使用二向色鏡，將不同波長的光合束到同一光路。然后依此經(jīng)過快門進行光路的通斷控制，經(jīng)過分光比可變的分光鏡將光束按照測試需要分出一束進行能量采樣，經(jīng)過聚焦鏡將光束聚焦到樣品測試表面，在聚焦鏡后端通過加入光楔進行光束質(zhì)量采樣，使光束質(zhì)量分析儀的靶面與被測表面形成一對共軛焦平面。被測元件裝夾在二維位移臺上，并按照測試流程進行測點位置控制。激光通過被測元件后最終進入光陷阱進行回收。在元件前端的工業(yè)相機用于實時監(jiān)測元件的損傷情況，同時配有相應(yīng)的機器視覺光源，用于輔助完成視覺成像及損傷實時判斷和分析。

客戶現(xiàn)場實拍系統(tǒng)圖樣：

軟件實時顯示測試結(jié)果：

通過全自動的掃描打樣，在X-Y坐標(biāo)系內(nèi)標(biāo)記每個損傷概率點(Qi, i)，并使用最小二乘法作出擬合直線（通常 選用0幾率損傷的最大能量密度與100%幾率損傷的最小能量密度之間的損傷概率點進行直線 擬合），擬合后的直線在X軸上的截距即為損傷閾值。