原子熒光光譜儀是20世紀60年代中期提出并迅速發(fā)展起來的一種新型光譜分析方法，是原子光譜法中的一個重要分支。它是一種基于測量原子蒸氣吸收特定輻射被激發(fā)后去激發(fā)所發(fā)射出的特征譜線強度進行定量的元素痕量分析方法。

1964年，Winefordner和Vickers等人提出并論證了原子熒光光譜法可作為一種新的化學(xué)分析方法。自20世紀70年代以來，國內(nèi)外許多專家、學(xué)者、企業(yè)共同致力于原子熒光光度計的研制和開發(fā)。

美國Technicon公司于1976年生產(chǎn)出世界上**臺原子熒光光譜儀AFS-6，它采用脈沖調(diào)制空心陰極燈做光源，以計算機做控制和數(shù)據(jù)處理，能同時測定6個元素。20世紀80年代初，美國Baird公司研制出AFS-2000型多通道無色散原子熒光光度計，它采用電感耦合等離子體（ICP）做原子化器，可12道同時檢測。此后，國外原子熒光光度計的發(fā)展非常慢。直到1993年，才有英國PSA公司生產(chǎn)的蒸汽發(fā)生-無色散原子熒光光譜儀，它能同時檢測AS、Sb、Bi、Hg、Se、Te等6種元素。90年代末，加拿大Aurora公司推出一款氫化物發(fā)生-無色散原子熒光光度計（HG-AFS）。21世紀初，美國Leeman Labs公司和德國Analytik Jena公司分別研制并推出原子熒光測汞儀。

我國從20世紀70年代中期開始研制原子熒光光譜儀，原子熒光光度計技術(shù)及其商品化儀器在我國得到飛速發(fā)展的普及推廣。1975年，西北大學(xué)研制出以低壓汞燈做光源的冷原子熒光測汞儀；同時，中科院上海冶金研究所研制出用高強度空心陰極燈做光源、氮隔離空氣-乙炔火焰做原子化器的雙通道無色散原子熒光光度計。1979年，西北有色地質(zhì)研究院成功研制了以溴化物無極放電燈做激發(fā)光源的原子熒光光譜儀，為原子熒光光譜儀在我國程工實現(xiàn)商品化奠定了重要基礎(chǔ)；該院隨后研制開發(fā)了WYD、XDY-1等雙通道原子熒光光度計。1987年，劉明鐘等人成功研制了脈沖供電特制空心陰極燈，這種高性能激發(fā)光源為原子熒光光譜儀在我國的普及推廣創(chuàng)造了條件；在此基礎(chǔ)上研制生產(chǎn)的XDY-2無色散HG-AFS以屏蔽式高溫石英爐作為原子化器，手動進樣、雙通道同時檢測、微機控制，堪稱是我國原子熒光光譜儀發(fā)展史上具有里程碑意義的儀器。1996年我國推出了**款全自動氫化物發(fā)生-原子熒光光度計，采用斷續(xù)流動進樣裝置，實現(xiàn)了氫化物發(fā)生反應(yīng)的自動化，隨著后續(xù)多款經(jīng)典原子熒光光譜儀的研制成功和推廣使用，使得我國原子熒光光度計的研制和應(yīng)用水平，一直處于國際領(lǐng)xian地位。

近年來，隨著環(huán)境科學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域?qū)υ匦螒B(tài)和價態(tài)分析的要求，原子熒光聯(lián)用技術(shù)，特別是與色譜的聯(lián)用，已成為原子熒光光譜儀分析研究的熱點。