在半導(dǎo)體制造工藝中，濕法刻蝕作為關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一，其工藝液成分的精確控制直接影響器件加工的精度與良率。尤其是硝酸/氫氟酸混合蝕刻液體系，因酸性強(qiáng)、成分復(fù)雜、終點(diǎn)判斷困難，其濃度的準(zhǔn)確測(cè)定一直是行業(yè)關(guān)注的焦點(diǎn)。

傳統(tǒng)手工滴定方式不僅操作繁瑣、重復(fù)性差，還易受人為因素干擾，難以滿足現(xiàn)代半導(dǎo)體制造對(duì)高精度質(zhì)量控制的要求。為解決這一痛點(diǎn)，CT-Plus全自動(dòng)電位滴定儀應(yīng)運(yùn)而生，以其出色的穩(wěn)定性、高精度判定能力和智能化操作體驗(yàn)，為混酸體系分析提供了可靠的技術(shù)手段。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)顯著，結(jié)果精確可靠

CT-Plus電位滴定儀采用高精度液路系統(tǒng)與智能判定算法，具備以下核心特點(diǎn)：

-高精度計(jì)量系統(tǒng)：配備20mL高精度計(jì)量管，最小加液體積可達(dá)10μL，確保滴定過程細(xì)膩可控；

-智能終點(diǎn)識(shí)別：依托微分終點(diǎn)判定模式（微分值可設(shè)），有效避免主觀誤判，準(zhǔn)確捕捉滴定終點(diǎn)；

-高效穩(wěn)定的操作流程：方法預(yù)設(shè)、自動(dòng)攪拌、實(shí)時(shí)電位監(jiān)控一體化完成，單樣測(cè)試僅需約2分鐘；

-良好的兼容性與適應(yīng)性：可搭配pH102復(fù)合電極或銻電極，適用于強(qiáng)酸、混酸等復(fù)雜體系。

典型應(yīng)用案例：硝酸/氫氟酸混合蝕刻液濃度分析

通過實(shí)際測(cè)試數(shù)據(jù)可見，CT-Plus在硝酸/氫氟酸雙組分同步測(cè)定中表現(xiàn)出色：

-樣品質(zhì)量：約0.55–0.56g

-滴定劑：0.5111mol/L氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)溶液

-消耗體積：硝酸終點(diǎn)約3.5–3.6mL，氫氟酸終點(diǎn)約6.2–6.5mL

-測(cè)定結(jié)果：硝酸濃度約20.72%，氫氟酸濃度約5.17%

-重復(fù)性良好，雙平行試驗(yàn)結(jié)果偏差小，滿足產(chǎn)線質(zhì)量控制要求。

為什么選擇CT-Plus？

1.方法合規(guī)、操作簡(jiǎn)便：符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試流程，無需復(fù)雜前處理，降低操作門檻；

2.數(shù)據(jù)可追溯、報(bào)告直觀：內(nèi)置數(shù)據(jù)記錄和計(jì)算功能，可直接輸出含量百分比與平均值；

3.廣泛適用于復(fù)雜體系：不僅可用于硝酸/氫氟酸，還可擴(kuò)展至其它混酸、堿液及氧化還原體系；

4.幫助企業(yè)提質(zhì)增效：減少人工誤差，提高檢測(cè)一致性，是濕法刻蝕工藝控制的理想選擇。

無論是研發(fā)實(shí)驗(yàn)室還是量產(chǎn)質(zhì)檢環(huán)節(jié)，CT-Plus自動(dòng)電位滴定儀均可提供快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的酸濃度分析結(jié)果，協(xié)助企業(yè)實(shí)現(xiàn)工藝液管理的精細(xì)化、自動(dòng)化與標(biāo)準(zhǔn)化。

CT-Plus——以精確數(shù)據(jù)，助您掌控每一個(gè)刻蝕細(xì)節(jié)。

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