前言:確定關(guān)鍵部件的表面質(zhì)量,即與預(yù)期形狀的偏差,無論是平面還是球面等,是高精度制造的關(guān)鍵。當(dāng)光束照射到有疵病的光學(xué)元件表面時(shí), 會(huì)產(chǎn)生雜散光。在光學(xué)系統(tǒng)中, 影響其性能的主要原因是由系統(tǒng)內(nèi)部產(chǎn)生的大量散射光造成的, 即使整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)得再好, 如果內(nèi)部光學(xué)元件的質(zhì)量不過關(guān), 那么構(gòu)成的系統(tǒng)也不能正常工作。
干涉儀測(cè)量方法
傳統(tǒng)的檢測(cè)方法由干涉儀組成,例如Twyman-Green干涉儀(如下圖所示),將測(cè)試光與參考光學(xué)進(jìn)行比較。干涉儀的兩個(gè)臂之間的光程差會(huì)在光電探測(cè)器的光屏上形成干涉條紋(通常為CCD陣列)。在參考光和測(cè)試光之間引入小的傾斜度會(huì)產(chǎn)生干涉圖樣,其中與均勻間隔的直線條紋的任何偏差都意味著測(cè)試組件中的像差,如下所示。

雖然許多移相干涉儀都使用HeNe激光器作為光源,但使用外腔可調(diào)諧激光器(例如Newport的TLB-6700)卻具有明顯的優(yōu)勢(shì)。首先,當(dāng)光學(xué)元件鍍有對(duì)633 nm的抗反膜時(shí),可選擇與光學(xué)元件的工作波長(zhǎng)完全匹配的光。其次,通過不平衡的兩臂和改變激光波長(zhǎng)可以實(shí)現(xiàn)時(shí)變相移,從而無需線性驅(qū)動(dòng)器對(duì)參考光進(jìn)行平移。
Newport可調(diào)諧激光器
Newport的TLB-6700系列可調(diào)諧激光器,調(diào)諧速度快,范圍寬-Z高達(dá) 100 nm,調(diào)諧波長(zhǎng)范圍可從407-2450nm。除以上提及應(yīng)用也可以用作諸如微腔諧振器和原子光譜等方面。
具有非常zhuo越的特性:
·可保證在整個(gè)指定的波長(zhǎng)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)單模、無跳模調(diào)諧。
·電動(dòng)和壓電控制可實(shí)現(xiàn)寬范圍掃描和微調(diào)
·低噪聲,窄線寬--是市面上ECDL激光器中線寬Z窄的·集成的光纖耦合

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