數(shù)值孔徑(NA)是決定光學(xué)系統(tǒng)分辨率的關(guān)鍵參數(shù)，它直接影響物鏡的消位置色差能力和測(cè)量性能。

從圖中可見(jiàn)：

NA越大：通光量越大，進(jìn)光量減少，適合測(cè)量角度信息，具有更好的水平分辨率

NA越小：通光量越小，進(jìn)光量增加，更適合測(cè)量寬深比較大的樣品

在深孔測(cè)量中，結(jié)構(gòu)光路受限導(dǎo)致光強(qiáng)衰減，反射光捕獲困難是主要技術(shù)挑戰(zhàn)。

上圖展示的是10x長(zhǎng)焦干涉鏡頭拍攝的圖像，直徑僅13μm，深寬比高達(dá)11:1。

技術(shù)方案：

使用10x長(zhǎng)焦物鏡

優(yōu)勢(shì)：有效克服物鏡在深孔底部返回信號(hào)弱的現(xiàn)象

深孔與溝槽結(jié)構(gòu)的區(qū)別：

溝槽：通常為長(zhǎng)條形開(kāi)口結(jié)構(gòu)，側(cè)壁多為V型或U型

深孔：多為圓柱形或高深寬比的垂直孔洞，入射光進(jìn)一步減少

針對(duì)高深寬比微結(jié)構(gòu)的三維形貌表征需求，需要使用NA值更低的長(zhǎng)焦鏡頭。

激光加工表面存在粗糙度高、反光性差、槽寬窄等特點(diǎn)，對(duì)測(cè)量系統(tǒng)提出了更高要求。

上圖展示的是20x長(zhǎng)焦干涉鏡頭拍攝的圖像，深寬比高達(dá)24:1。

技術(shù)方案：

采用20x干涉物鏡(NA=0.1)

優(yōu)勢(shì)：更小數(shù)值孔徑提供高深寬比測(cè)量能力

配合白光干涉技術(shù)使用

在微納尺度溝槽形貌表征過(guò)程中，為實(shí)現(xiàn)更高橫向分辨率的測(cè)量要求，需優(yōu)先選用較高倍率物鏡，并在其中選擇數(shù)值孔徑更小的長(zhǎng)焦物鏡。

1.10x長(zhǎng)焦物鏡：適用于一般高深寬比結(jié)構(gòu)(如11:1深孔)

2.20x長(zhǎng)焦物鏡：適用于更高深寬比和需要更高水平分辨率的場(chǎng)景(如24:1切割槽)

需要強(qiáng)調(diào)的是，沒(méi)有完美的測(cè)量技術(shù)與測(cè)量鏡頭，每顆鏡頭都有自己的優(yōu)勢(shì)與劣勢(shì)。工程師需要根據(jù)具體測(cè)量需求，選擇最適合的光學(xué)系統(tǒng)，利用每顆鏡頭的優(yōu)勢(shì)，取長(zhǎng)補(bǔ)短，不斷拓寬測(cè)量的技術(shù)邊界。

在實(shí)際應(yīng)用中，建議與專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)溝通，根據(jù)樣品特性和測(cè)量要求，選擇最優(yōu)的測(cè)量方案。

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