朗繆爾探針是等離子體性質(zhì)診斷的基本方式之一，Hiden ESPion 高級朗繆爾探針是先進(jìn)、精確和可靠性集為一體的等離子體探針，由經(jīng)驗豐富的科學(xué)家和主要半導(dǎo)體制造廠的的工程師們研發(fā)出來，ESPion系列尤其滿足工業(yè)以及科研使用者們要求快速、可信、精確的等離子體分析。

（ESPion 高級朗繆爾探針示意圖）

ESPion 高級朗繆爾探針優(yōu)勢

1、先進(jìn)軟件功能：配備的ESPionSoft軟件是一大亮點，此軟件能自動調(diào)整搜集參數(shù)，并回返至其高級分析程序(OML-Laframboise, ABR, Druyvestyn-EEDF)計算出的等離子體參數(shù)，它能對ESPion 系統(tǒng)進(jìn)行精確控制，直接提供與等離子體穩(wěn)定性和可重復(fù)性相關(guān)的信息。軟件還具備自動實時計算多項等離子體參數(shù)的功能，詳細(xì)呈現(xiàn)等離子體的各項特性，涵蓋等離子體電位、懸浮電位、電子溫度、電子能量分布、離子密度和離子通量等，幫助用戶全面深入地了解等離子體。

2、快速響應(yīng)與高靈敏度: Hiden ESPion 系列是專為快速響應(yīng)和高靈敏度分析等離子體參數(shù)而設(shè)計的，能每秒進(jìn)行15次掃描，快速獲取數(shù)據(jù)，并通過D-O-E 接口實現(xiàn)自動、半自動或手動分析，讓操作人員能及時并精確掌握等離子體的實時狀態(tài)，為工藝調(diào)整提供有力支持。

3、多種探針及針尖選項：該系列提供了豐富的探針及針尖選項，可適應(yīng)廣泛的等離子體應(yīng)用場景，包括電子回旋共振（ECR）、高功率脈沖磁控濺射（HIPIMS）、磁控管放電、螺旋微波、直流輝光放電、脈沖等離子體以及激光燒蝕等。無論是何種復(fù)雜的工業(yè)等離子體環(huán)境，ESPion 高級朗繆爾探針都能應(yīng)對自如。

4、強(qiáng)大的射頻補償技術(shù)：Hiden 在被動射頻補償方面處于領(lǐng)先地位。ESPion 探針在所有商業(yè)化探針中具有最高的屏蔽阻抗（4.25Mohm at 13.56MHz cf. 100kohm），并采用了創(chuàng)新的多電感鏈技術(shù)，為射頻等離子體測量提供了可靠保障，有效減少射頻干擾對測量結(jié)果的影響。

5、高溫應(yīng)用解決方案：對于高溫等離子體應(yīng)用，ESPion 探針配備了整體氣體冷卻功能，確保在高溫環(huán)境下也能穩(wěn)定運行。同時，氣體冷卻射頻補償鏈可由用戶自行更換，方便根據(jù)不同頻率需求進(jìn)行調(diào)諧，極大地提高了設(shè)備的靈活性和適應(yīng)性。

6、自清潔功能：軟件中內(nèi)置的自動自清潔循環(huán)功能可有效限制探針尖端的污染，減少維護(hù)工作量，延長設(shè)備使用壽命，保證測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

綜上，ESPion憑借快速響應(yīng)、高靈敏度、先進(jìn)的軟件功能、多樣化的采樣選項以及強(qiáng)大的抗干擾能力和自清潔功能等優(yōu)勢，在工業(yè)等離子體診斷領(lǐng)域展現(xiàn)出了卓越的性能。

其部分應(yīng)用方向如下：

• 等離子體診斷 

• 脈沖等離子體  

• 射頻等離子體 

• 直流/高溫等離子體

• 射頻補償

• 離子/電子密度