- 2025-01-21 09:33:05微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)
- 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是集成了微型機(jī)械結(jié)構(gòu)、傳感器、執(zhí)行器以及電子控制單元于一體的微型系統(tǒng)。它具有體積小、功耗低、集成度高、性能穩(wěn)定等特點(diǎn)。MEMS技術(shù)廣泛應(yīng)用于傳感器領(lǐng)域，如加速度計(jì)、壓力傳感器等，也用于執(zhí)行器，如微型泵、微型閥等。此外，在醫(yī)療、航空、通信等領(lǐng)域也有重要應(yīng)用，是現(xiàn)代微納技術(shù)的重要組成部分。
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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)品
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