- 2025-01-21 09:31:31MEMS傳感器
- MEMS傳感器即微機(jī)電系統(tǒng)傳感器,是一種基于微電子技術(shù)和機(jī)械技術(shù)的新型傳感器。它利用半導(dǎo)體工藝制造,具有體積小、重量輕、功耗低、可靠性高等特點(diǎn)。MEMS傳感器廣泛應(yīng)用于汽車、醫(yī)療、消費(fèi)電子等領(lǐng)域,如壓力傳感器、加速度傳感器、陀螺儀等,是實(shí)現(xiàn)智能化、小型化、集成化的關(guān)鍵元件。
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