- 2025-02-28 17:57:56負(fù)性光刻膠
- 負(fù)性光刻膠是一種重要的感光材料，由感光樹脂、增感劑和溶劑組成。曝光后，其曝光區(qū)域發(fā)生光固化反應(yīng)，變得不溶于顯影液，而未曝光區(qū)域則溶于顯影液，形成與掩膜版圖形互補的圖案。負(fù)性光刻膠廣泛用于半導(dǎo)體制造、印刷電路板制作及微機電系統(tǒng)制造等領(lǐng)域，用于定義器件結(jié)構(gòu)、實現(xiàn)多層布線、制作光刻版等。
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