- 2025-03-06 15:48:44MPCVD
- MPCVD（微波等離子體化學(xué)氣相沉積）是一種先進(jìn)的材料合成技術(shù)。它利用微波能量激發(fā)氣體等離子體，產(chǎn)生高溫、高活性的反應(yīng)環(huán)境，使原料氣體在基體表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而沉積出高質(zhì)量的薄膜材料。MPCVD技術(shù)具有沉積速率快、薄膜質(zhì)量高、可制備復(fù)雜形狀和大面積薄膜等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于金剛石、碳化硅等硬質(zhì)薄膜的合成，以及半導(dǎo)體、光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的功能薄膜制備。
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