- 2025-07-23 03:47:26RHEED
- RHEED，即反射高能電子衍射，是一種用于表面分析的技術(shù)。它利用高能電子束以掠射角撞擊樣品表面，通過(guò)檢測(cè)反射回來(lái)的電子束形成的衍射圖案來(lái)分析材料表面的結(jié)構(gòu)信息。RHEED具有高分辨率、實(shí)時(shí)性強(qiáng)的特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、薄膜生長(zhǎng)、外延層質(zhì)量監(jiān)控等領(lǐng)域，是研究材料表面結(jié)構(gòu)、晶格常數(shù)及生長(zhǎng)動(dòng)力學(xué)的重要工具。
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