- 2025-01-10 17:03:23聚焦離子束 (FIB)
- 聚焦離子束(FIB)是一種利用聚焦的高能離子束對材料表面進(jìn)行微納加工的技術(shù)。它能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的材料去除、沉積和改性,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的故障分析、修復(fù),以及微納結(jié)構(gòu)的直接制造。FIB技術(shù)具有加工精度高、靈活性好、適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn),是微納加工領(lǐng)域的重要工具之一。通過精確控制離子束的參數(shù),如能量、束流和掃描路徑,可以實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的三維微納結(jié)構(gòu)加工。
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