- 2025-01-10 17:20:19 CD-SEM
- CD-SEM，即臨界維度掃描電子顯微鏡，是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中一種重要的檢測工具。它利用電子束掃描樣品表面，通過收集二次電子或背散射電子等信號，形成樣品表面的高分辨率圖像。CD-SEM特別適用于測量納米級結(jié)構(gòu)的尺寸和形狀，如半導(dǎo)體器件中的線寬、間距等關(guān)鍵尺寸。其高精度和高靈敏度使其成為監(jiān)控半導(dǎo)體制造過程質(zhì)量、確保產(chǎn)品符合設(shè)計(jì)要求不可或缺的設(shè)備。
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