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2025-01-24 09:32:01高精密位移臺(tái): 高精密位移臺(tái)是一種用于實(shí)現(xiàn)高精度直線、旋轉(zhuǎn)或二維/三維位移的精密機(jī)械裝置。它通常采用高精度導(dǎo)軌、絲杠、編碼器或光柵尺等組件，具有納米級(jí)或微米級(jí)的定位精度和重復(fù)定位精度。高精密位移臺(tái)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)實(shí)驗(yàn)、精密加工、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，能夠滿足科研和生產(chǎn)中對(duì)微小位移控制的嚴(yán)格要求。其設(shè)計(jì)緊湊、穩(wěn)定性好，且易于集成到各種自動(dòng)化系統(tǒng)中。

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高精密位移臺(tái)問答

2020-10-21 10:36:45Attocube公司低溫納米位移臺(tái)在NV-色心前沿進(jìn)展: 近年來，金剛石NV色心（Nitrogen-vacancy defect centers）在科研界受到越來越多的科學(xué)家的重視。NV色心獨(dú)特且穩(wěn)定的光學(xué)特性使其擁有極其廣泛的應(yīng)用前景。尤其在大力興起的量子信息領(lǐng)域，NV色心可以作為單光子源用于量子計(jì)算。而且NV色心作為具有量子敏感度的傳感器，還可應(yīng)用于納米級(jí)分辨率的磁場(chǎng)、電場(chǎng)、溫度和壓力的探測(cè)。在生物學(xué)領(lǐng)域，NV色心更是很好的生物標(biāo)識(shí)物，具有光學(xué)性能穩(wěn)定，細(xì)胞毒性低的優(yōu)點(diǎn)。德國attocube systems AG公司針對(duì)NV色心應(yīng)用領(lǐng)域開發(fā)了多款低溫納米精度位移器及掃描器，為低溫下的NV色心準(zhǔn)確位移、旋轉(zhuǎn)及掃描提供了很大的便利。以下我們總結(jié)了低溫環(huán)境中(4K)NV色心研究的典型實(shí)驗(yàn)方案。1. 基于NV 色心的量子網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)和寄存器設(shè)計(jì) 量子網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)的實(shí)現(xiàn)是未來量子網(wǎng)絡(luò)乃至量子互聯(lián)網(wǎng)的基本要求。這樣的量子寄存器在不干擾底層量子狀態(tài)的情況下負(fù)責(zé)接收或發(fā)射信息。近期，美國哈瓦德大學(xué)（Cambridge，MA，USA）的Marko Loncar和Mikhail Lukin小組提出了基于金剛石納米腔中硅空位色心的基本量子網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)。課題組在稀釋制冷機(jī)中采用德國attocube的極低溫納米位移器ANPxyz101和atocube的低溫復(fù)色差物鏡搭建的極低溫mK共聚焦顯微鏡，對(duì)金剛石晶格中的光學(xué)活性點(diǎn)缺陷進(jìn)行了表征。此外，作者還通過將系統(tǒng)耦合到入射光光子以及附近具有100 ms退相干時(shí)間的核自旋來演示作為量子寄存器節(jié)點(diǎn)的工作原理。使量子中繼器邁出了堅(jiān)實(shí)的一步。更多詳情請(qǐng)點(diǎn)擊: C.T. Nguyen et al, Phys. Rev. B 100, 165428 (2019)圖一、基于德國attocube公司的極低溫納米精度位移臺(tái)和低溫消色差物鏡搭建的共聚焦顯微鏡圖二、系統(tǒng)原理圖2. NV 色心在加壓凝聚態(tài)系統(tǒng)中的量子傳感壓力引起的影響包括平面內(nèi)部性質(zhì)變化與量子力學(xué)相轉(zhuǎn)變。由于高壓儀器內(nèi)會(huì)產(chǎn)生巨大的壓力梯度，例如金剛石腔，致使常用的光譜測(cè)量技術(shù)受到限制。為了解決這一難題，巴黎第十一大學(xué)，香港中文大學(xué)和加州伯克利大學(xué)的科研團(tuán)隊(duì)共同研發(fā)了一個(gè)新奇的納米尺度傳感器，研究者把量子自旋缺陷集成到金剛石壓腔中來探測(cè)極端壓力和溫度下的微小信號(hào)，空間分辨率不受到衍射極限限制。為此，加州伯克利大學(xué)團(tuán)隊(duì)使用與光學(xué)平臺(tái)高度集成的閉循環(huán)德國attocube公司的attoDRY800低溫恒溫器來進(jìn)行試驗(yàn)，attoDRY800中集成了attocube公司的極低溫納米精度位移臺(tái)，以此來實(shí)現(xiàn)快速并且準(zhǔn)確控制金剛石壓強(qiáng)的移動(dòng)以及測(cè)量實(shí)驗(yàn)。更多詳情請(qǐng)點(diǎn)擊:S. Hsieh et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1349-1354 (2019) M. Lesik, et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1359-1362 (2019)K. Yau Yip et al., Science, Vol. 366, Issue 6471, pp. 1355-1359 (2019)圖一、實(shí)驗(yàn)示意圖及測(cè)量結(jié)果3. NV 色心的自旋與光子的增強(qiáng)耦合研究可靠的量子信息系統(tǒng)需要不同的量子系統(tǒng)結(jié)合它們各自的高特性來實(shí)現(xiàn)。光子作為局域量子比特之間的媒介提供了尤為靈活和普遍的可能性。因此，對(duì)固體量子比特與光子的有效耦合是量子計(jì)算的基本要求。氮空位ZX具有較長的自旋相干時(shí)間，其自旋可以通過光學(xué)初始化、操縱和檢測(cè)。然而，只有大約3%的光子發(fā)射被躍遷到了零聲子線中。這很大的限制了單光子的區(qū)分效率和自旋與光子的相干相互作用信噪比。德國薩蘭大學(xué)（Saarbrücken, Germany）的Christoph Becher小組設(shè)計(jì)和制造了一個(gè)可調(diào)諧二維光子晶體腔（圖1A），并報(bào)道了一個(gè)數(shù)量級(jí)的增強(qiáng)發(fā)射率（圖1B）。通過激光誘導(dǎo)，實(shí)現(xiàn)了M0腔模式與NVZX零聲子線共振的調(diào)諧。原位光學(xué)測(cè)量可控制實(shí)時(shí)的調(diào)諧過程。其制作優(yōu)化和調(diào)諧結(jié)果是光學(xué)自旋讀出結(jié)果是其信噪比的三倍。Christoph教授提出的制造工藝和實(shí)驗(yàn)裝置，可以獲得更高的信噪比。為未來的量子信息提供了更多的可能和客觀的前景，在此測(cè)量實(shí)驗(yàn)中使用的德國attocube公司制造的低溫納米位移器ANPxyz101，能夠在極低溫環(huán)境下，實(shí)現(xiàn)5 mm*5 mm*5 mm的行程，而且能夠?qū)崿F(xiàn)200 nm分辨率，1 μm精度的閉環(huán)反饋。更多詳情請(qǐng)點(diǎn)擊:T. Jung, et al; "Spin Measurements of NV Centers Coupled to a Photonic Crystal Cavity", arXiv:1907.07602 (2019)圖一、A 實(shí)驗(yàn)制備的可調(diào)諧的二維光子晶體腔體；B 在637.4 nm處M0腔模式和NV-ZPL的相互作用4. 總體NV色心信號(hào)收集實(shí)驗(yàn) 將磁性樣品覆蓋在表面具有較多NV色心的塊體金剛石襯底上。這個(gè)NV色心表面層通常由離子注入或在金剛石表面合成富氮表面層來實(shí)現(xiàn)。通常采用532 nm的激光激發(fā)NV色心到激發(fā)態(tài)，并在630-800 nm波長范圍收集熒光信號(hào)。同時(shí)利用微波信號(hào)激發(fā)和探測(cè)NV色心的自旋態(tài)（ESR）。熒光信號(hào)由二維的CCD探測(cè)陣列收集成像并與樣品相對(duì)應(yīng)。與單個(gè)NV色心的研究不同，該實(shí)驗(yàn)方案采用大工作距離獲得大視野范圍的成像，從而實(shí)現(xiàn)大面積信號(hào)的采集。該實(shí)驗(yàn)方案中對(duì)于塊體金剛石襯底及磁性樣品的準(zhǔn)確位移采用的是attocube公司的ANP341系列納米精度位移臺(tái)，該位移臺(tái)可以在4K低溫強(qiáng)磁場(chǎng)環(huán)境中實(shí)現(xiàn)20 mm超大行程的位移，位移步長小至20 nm@4K，垂直方向的載重達(dá)2 Kg，低溫下采用電阻式傳感器，可以實(shí)現(xiàn)200 nm的分辨率，1 μm的重復(fù)精度。圖一、 CCD與顯微鏡成像系統(tǒng)圖二、低溫強(qiáng)磁環(huán)境兼容納米精度位移臺(tái) ANP3415. 單個(gè)NV色心研究：樣品表面的納米金剛石納米金剛石的單個(gè)NV色心探測(cè)可以通過共聚焦顯微技術(shù)來實(shí)現(xiàn)。該實(shí)驗(yàn)裝置包括attocube的三維低溫納米位移臺(tái)，Z方向可以準(zhǔn)確調(diào)整樣品到焦平面，XY可以對(duì)樣品表面進(jìn)行掃描。采用532 nm激光激發(fā)，對(duì)630 nm-800 nm范圍的熒光信號(hào)進(jìn)行采集。采用可調(diào)的微波信號(hào)對(duì)NV色心的自旋態(tài)進(jìn)行激發(fā)，通過熒光信號(hào)的峰值位移來確定其自旋態(tài)。整個(gè)實(shí)驗(yàn)在4K低溫恒溫器中進(jìn)行。為了研究感興趣的區(qū)域，通常將金剛石粉末（20-30 nm）均勻的撒在樣品表面，然后使用attocube三維納米位移臺(tái)來掃描樣品并且對(duì)特定NV色心進(jìn)行測(cè)量，并且可以通過單個(gè)NV色心觀測(cè)較大溫度范圍內(nèi)的樣品性質(zhì)。圖一、掃描共聚焦顯微鏡示意圖 Tokura課題組成功的運(yùn)用此技術(shù)研究了FeGe樣品中的磁渦旋結(jié)構(gòu)。更多細(xì)節(jié)請(qǐng)參考：Using NV-Center Optically Detected Magnetic Resonance (ODMR) as a Probe for Local Magnetic Dynamics in Transition Metals6. 掃描探針量子探測(cè)器(例如：掃描磁力顯微鏡) 將一個(gè)NV色心固定在掃描探針顯微鏡的探針末端?？梢酝ㄟ^在針尖上“粘貼”納米金剛石，或采用納米壓印與O2刻蝕技術(shù)將塊體金剛石加工成再用N-14注入來實(shí)現(xiàn)NV色心，現(xiàn)在甚至已經(jīng)有商業(yè)化的針尖。采用共聚焦顯微鏡將激發(fā)光聚焦在掃描探針的NV色心上。實(shí)驗(yàn)中樣品的準(zhǔn)確掃描是通過attocube公司的低溫納米精度位移臺(tái)進(jìn)行。這樣便可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面的納米級(jí)精度大范圍成像測(cè)量。該技術(shù)理論上可以對(duì)多種與NV色心熒光相關(guān)的特性進(jìn)行高精度顯微學(xué)測(cè)量。圖一、掃描探針顯微鏡示意圖 Jayich課題組 (UCSB)運(yùn)用這一技術(shù)在BaFe2(As0.7P0.3)2 超導(dǎo)材料的轉(zhuǎn)變溫度附近（30K）成功觀測(cè)到了旋渦。這一技術(shù)在研究材料低溫下的新奇性質(zhì)方面前景廣闊。更多細(xì)節(jié)請(qǐng)參考：Scanned probe imaging of nanoscale magnetism at cryogenic temperatures with a single-spin quantum sensor.7. 基于NV色心顯微鏡對(duì)疇壁跳變的納米級(jí)成像與控制磁力線中的疇壁可能對(duì)未來的自旋電子器件是有用的，因此其納米尺度的表征是邁向?qū)嵱没闹匾徊?。正如法國科學(xué)家Vincent Jaques在《科學(xué)》雜志上所展示的那樣，基于AFM/CFM的NVZX顯微鏡可以對(duì)1 nm厚的鐵磁納米線中的疇壁進(jìn)行成像，以及單個(gè)疇壁釘扎位置之間的跳躍。同時(shí)，研究還表明，由于高的局部激光功率，疇壁可以通過局部加熱誘導(dǎo)跳躍而沿導(dǎo)線移動(dòng)。對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果起關(guān)鍵作用的是德國attocube公司的低溫納米位移臺(tái)，其能夠?qū)崿F(xiàn)低溫下納米精度的樣品位移、傾角、旋轉(zhuǎn)和掃描等功能。更多詳情請(qǐng)點(diǎn)擊:Tetienne et al ., Science 344, 1366(2014)圖一、實(shí)驗(yàn)裝置示意圖

2021-02-20 11:31:14網(wǎng)絡(luò)研討會(huì)：無需針對(duì)每種液體進(jìn)行校準(zhǔn)的高精密通用流量控制-OB1 MK3+壓力控制器和科式流量計(jì)BFS的結(jié)合: 微流控實(shí)驗(yàn)中通常都需要精確的檢測(cè)或控制管路中的流體流量，高精度流量傳感器可以解決這一問題。不過，傳統(tǒng)的熱式流量傳感器在測(cè)量不同的液體之前，需要針對(duì)每一種液體進(jìn)行校準(zhǔn)，同時(shí)也無法精確的測(cè)量混合液體的流量，因此，這給精確的研究實(shí)驗(yàn)帶來了非常大的麻煩并浪費(fèi)了很多的時(shí)間和精力。本次網(wǎng)絡(luò)研討會(huì)介紹了科式流量傳感器BFS在微流控實(shí)驗(yàn)中的應(yīng)用如液滴產(chǎn)生、細(xì)胞培養(yǎng)/灌注、藥物測(cè)試/篩選、細(xì)胞包覆、液滴測(cè)序、水凝膠產(chǎn)生、生物/化學(xué)傳感器校準(zhǔn)、原位熒光雜化等。首先介紹了微流控流體控制的方法；其次介紹了科式流量傳感器BFS的工作原理和應(yīng)用領(lǐng)域；ZH，介紹了科式流量傳感器BFS結(jié)合OB1 MK3+壓力控制器的應(yīng)用領(lǐng)域。相關(guān)應(yīng)用鏈接如何使用微流體壓力泵OB1壓力控制器和科式流量傳感器BFS控制微流體流量？請(qǐng)點(diǎn)擊這里如何使用微流體壓力泵OB1和BFS科式流量傳感器高精度的控制微流體系統(tǒng)中的流體流速? 請(qǐng)點(diǎn)擊這里如何在Elveflow微流控智能界面軟件ESI中選擇反饋流量調(diào)節(jié)參數(shù)（PID參數(shù)）？請(qǐng)點(diǎn)擊這里

2019-08-19 17:24:05高精密微流控氣壓泵PneuWave-的流量控制和響應(yīng)時(shí)間: 高精密微流控PneuWave氣壓泵PneuWave氣壓泵對(duì)流體容器加壓，容器的體積范圍可以從幾個(gè)μL到大于1 L，容器采用安靜、集成的微型壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)加壓。一旦容器加壓，容器內(nèi)的流體流入管道。在線流量傳感器測(cè)量實(shí)際的流量。當(dāng)在流量控制模式下操作時(shí)，流量傳感器和壓縮機(jī)調(diào)節(jié)系統(tǒng)都與微處理器連續(xù)通信?；诹髁總鞲衅髯x數(shù)，微處理器向壓縮機(jī)調(diào)節(jié)系統(tǒng)發(fā)送命令，允許以nL分辨率進(jìn)行高度精確的流量控制。通過這種方式，可以實(shí)現(xiàn)可編程的流動(dòng)剖面。或者，PneuWave氣壓泵可以在壓力控制模式下工作，其中壓縮機(jī)調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)置在用戶定義的值，并且不再進(jìn)行基于流量傳感器讀數(shù)的任何調(diào)節(jié)。在流量控制模式和壓力控制模式下記錄流量和壓力。包含在PneuWave氣壓泵中：l 集成內(nèi)部流量傳感器l 集成內(nèi)部壓力傳感器l 集成內(nèi)部壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)l 集成內(nèi)部板載微處理器l 超過用戶定義的Z大壓力時(shí)安全關(guān)閉l 可選使用外部氣源供應(yīng)l Falcon導(dǎo)管的壓力帽l PC軟件l LabVIEW VIl 前面板顯示控制l 可在板上存儲(chǔ)多個(gè)校準(zhǔn) PneuWave氣壓泵的可選件：l 各種壓力帽l 壓力室l 導(dǎo)管/適配器/聯(lián)合接頭l 帶集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備的液體隔離閥l 用于模擬輸出，觸發(fā)和報(bào)警的I/O模塊l 用于生成不同液體校準(zhǔn)的軟件主要特點(diǎn)l 內(nèi)置一個(gè)安靜的壓縮機(jī) – 全電動(dòng)！無需外部壓縮機(jī)！l 精確、準(zhǔn)確的流體流量控制l 納升分辨率l 基于氣動(dòng)模式，帶集成流量傳感器的閉環(huán)l 無脈沖流動(dòng)l 響應(yīng)時(shí)間快，穩(wěn)定性好l 無限制的流體儲(chǔ)液池容積l 通過用戶友好的控制軟件實(shí)現(xiàn)可編程的流體輸送l 可以通過前顯示器或PC軟件（獨(dú)立和LabVIEW）進(jìn)行操作l 可配置1到8個(gè)通道l 獨(dú)立控制或與PC同步l 可以在流速或壓力控制模式下運(yùn)行l(wèi) 可以存儲(chǔ)多個(gè)校準(zhǔn)，以便對(duì)不同液體進(jìn)行精確的流速控制l 低死體積的流體路徑l 兼容多種化學(xué)品l 高性能l 非常適用于微流體應(yīng)用l 可選的擴(kuò)展I/O功能PneuWave氣壓泵的配置為您的應(yīng)用定制：選擇流量型號(hào)、壓力型號(hào)和通道數(shù)量。PneuWave氣壓泵可配置各種流量和壓力模型。另外，這些泵可包含各種數(shù)量的獨(dú)立流體通道。通道數(shù)量l 1通道l 2通道l 4通道l 8通道壓力型號(hào)l 低壓：0-1 barl 高壓：0-4 bar 流量型號(hào)*l Nano : 20 – 7000 nL/minl Micro : 0.1 – 50 μL/minl Milli : 30 – 1000 μL/minl Milli +5 : 0.2 – 5.0 mL/min *型號(hào)可以在提供的校準(zhǔn)范圍之外運(yùn)行。但是，當(dāng)在每個(gè)型號(hào)的相應(yīng)范圍內(nèi)操作時(shí)，流量測(cè)量將是Z準(zhǔn)確的。流量規(guī)格參數(shù)NanoMicroMilliMilli + 5流量范圍0–7000 nL/min0–50 μL/min0–1100 μL/min0–5.0 mL/min標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)流量范圍20–7000 nL/min0.1–50 μL/min10–1100 μL/min0.2–5.0 mL/min精度低于滿量程（滿量程的百分比）0.3%0.15%0.2%0.2%滿量程以下的重復(fù)性（滿量程的百分比）0.05%0.01%0.02%0.02%流量檢測(cè)響應(yīng)時(shí)間40 ms流量穩(wěn)定性低至0.1% CV*工作溫度10到50℃流體連接器類型UNF 1/4 – 28 Flat Bottom流量傳感器材料Quartz Glass, PEEK, Teflon, Tefzel硼硅酸鹽玻璃，PEEK, Teflon, Tefzel流量傳感器內(nèi)徑150μm430μm1.0 mm1.8 mm流量傳感器內(nèi)部容積1.5 μL5.1μL< 30μL< 90μL*相對(duì)于流體類型、導(dǎo)管和系統(tǒng)設(shè)置壓力規(guī)格參數(shù)LowHigh內(nèi)部壓縮機(jī)的壓力范圍0-1 Bar0-2 Bar外部氣壓源的壓力范圍*0-1 Bar0-4 Bar響應(yīng)時(shí)間低至10 ms*如果使用外部壓力源，氣體必須是無腐蝕性的，非爆炸性的，干燥的和無油的。

2019-08-19 17:21:08微流體實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)中液體流量測(cè)量用高精密流量傳感器MFS和BFS: 微流控實(shí)驗(yàn)過程中，經(jīng)常需要實(shí)時(shí)的了解實(shí)驗(yàn)通路上的液體流量是多少以及液體流量的實(shí)時(shí)變化，以便實(shí)驗(yàn)人員能夠及時(shí)的采取實(shí)驗(yàn)方法達(dá)到做需要的實(shí)驗(yàn)?zāi)康?。目前，測(cè)量微流體實(shí)驗(yàn)通路上的液體流量主要使用液體流量傳感器，通過傳感器讀數(shù)器連接到PC電腦，然后便可以在PC上的操作軟件上實(shí)時(shí)的監(jiān)控流體通路上的液體流量的變化。微流體實(shí)驗(yàn)通路上液體流量監(jiān)測(cè)的傳感器主要有2種：基于熱效應(yīng)的傳感器和基于科里奧利力效應(yīng)的傳感器。如下對(duì)這兩種傳感器做簡(jiǎn)要介紹。基于熱效應(yīng)的流量傳感器MFS（內(nèi)部芯片是盛思睿的傳感器芯片）流量傳感器的量程范圍從1.5 μL/min到5000 μL/min，如下圖所示。高精度液體流量傳感器/熱式流量傳感器（Microfluidic Flow Sensor，MFS）用于超低流量的監(jiān)測(cè)，其配備M8電氣連接后，可通過Elveflow軟件直接進(jìn)行控制。此外，此款流量傳感器有5個(gè)不同的量程范圍以及具有高度化學(xué)兼容性特點(diǎn)。優(yōu)異的性能 ● 已校準(zhǔn)的流量----0.07 μL/min到5000 μL/min ● 傳感器響應(yīng)時(shí)間--40 ms ● 分辨率----------低至1.5 pL/s 主要的功能 ● 當(dāng)和微流控OB1壓力進(jìn)樣泵配對(duì)時(shí)，可直接輸入流量。 ● 高化學(xué)和生物兼容性 ● 雙向流量測(cè)量（正向和反向）● 測(cè)量不同的液體之前，需要對(duì)待測(cè)的液體進(jìn)行校準(zhǔn)。熱式流量傳感器MFS的規(guī)格參數(shù)基于科里奧利力效應(yīng)的高精密流量傳感器BFS我們與Bronkhorst合作開發(fā)了一款適用于微流體的獨(dú)特科里奧利流量傳感器（科式流量傳感器，Bronkhorst Coriolis Flow Sensor，BFS）。它提供了各種益處：精度高，范圍廣泛，與所有液體直接兼容（無需校準(zhǔn)）。此外， √ 兼容所有液體&氣體 √ 不需要任何校準(zhǔn) 優(yōu)異的性能 ● 大流量范圍------1.6 μL/min到500 mL/min ● Z大流量--------500 mL/min ● 傳感器響應(yīng)時(shí)間--35 ms ● 準(zhǔn)確度----------測(cè)量值的2%（常規(guī)版本）或者測(cè)量值的0.2%（定制版本）科里奧利力原理Mini Cori-Flow是根據(jù)科里奧利力原理工作的。Mini Cori-Flow儀器可用于同時(shí)測(cè)量質(zhì)量流量、溫度和密度。Cori-Flow儀器通過兩個(gè)平行管循環(huán)來形成震蕩系統(tǒng)的一部分，當(dāng)流體流過管道時(shí)，科里奧利力將會(huì)使管彎曲或扭曲，從而引起循環(huán)過程中的變量相位的變化或相移，該相位的變化或相移將被傳感器感應(yīng)到。通過Z佳定位的傳感器檢測(cè)極小的管道位移并進(jìn)行電學(xué)估算。其結(jié)果輸出信號(hào)是完全依據(jù)真實(shí)的質(zhì)量流量率比率來顯示的。由于傳感器信號(hào)的測(cè)量相移與質(zhì)量流量成正比，因此，Mini Cori-Flow可以直接測(cè)量質(zhì)量流量。測(cè)量原理與密度、溫度、粘度、壓力、熱容量或電導(dǎo)率無關(guān)。對(duì)流經(jīng)管道的流體使用科里奧利力效應(yīng)，可以得出通過管道的質(zhì)量流量以及二級(jí)輸出處的流體密度。這種直接測(cè)量非常準(zhǔn)確，因?yàn)槠錈o需根據(jù)溫度、壓力和密度進(jìn)行校正，也不需要像熱式質(zhì)量流量計(jì)那樣依賴流體比熱。此外，科里奧利力流量計(jì)可與氣體和液體一起使用，并通過其在大范圍內(nèi)的高精度和快速響應(yīng)時(shí)間來區(qū)分。科里奧利力流量傳感器BFS和熱式流量傳感器MFS的規(guī)格比較