光刻膠作為配方型產(chǎn)品，其中樹(shù)脂的研發(fā)與生產(chǎn)是技術(shù)壁壘最高的環(huán)節(jié)。樹(shù)脂是一種高分子聚合物物質(zhì)，那么熱裂解-氣相色譜\質(zhì)譜（PY_GCMS）成為其研究和組成性能不可或缺的研究手段。