實驗名稱：基于MEMS工藝柔性基底磁通門傳感器性能測試與分析

本文主要搭建了一套磁通門性能測試系統(tǒng)，主要測試設(shè)備有：信號發(fā)生器、功率放大器、磁強計、電流表、磁通門傳感器、示波器等。

磁通門傳感器測試系統(tǒng)：

激勵信號由任意信號發(fā)生器33220A和功率放大器ATA-4011串聯(lián)產(chǎn)生。任意信號發(fā)生器可產(chǎn)生正弦波、方波、三角波、鋸齒波，也可以通過程序控制產(chǎn)生特殊形狀的波形。功率放大器ATA-4011帶寬可達到1MHz，提供2.82App的電流值，滿足測量需求。

為了測量激勵電流有效值，在激勵電路上串聯(lián)一個電流表，當磁通門傳感器作為磁場傳感器時，被測磁場由直流電源激勵一個螺線管產(chǎn)生，為了標定被測磁場的大小，在螺線管前串聯(lián)一個電流表測試螺線管電流。

基于MEMS工藝的柔性基底磁通門磁場傳感器

當磁通門作為電流傳感器時，將柔性基底磁通門傳感器粘貼在一個圓柱形的支撐骨架上，使柔性基底傳感器鐵芯兩端緊挨以使磁路閉合，并將被測電流穿過支撐骨架。被測電流用直流電源提供，并串聯(lián)一個電流表用于標定被測電流值，在磁通門的感應線圈兩端接示波器對輸出信號進行分析。

基于MEMS工藝的柔性基底磁通門電流傳感器

ATA-4011高壓功率放大器產(chǎn)品介紹：