1真空泵的極限壓強
泵的極限壓強單位是PA,是指泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗罩并按規(guī)定條件工作,在不引入氣體正常工作的情況下,趨向穩(wěn)定的Zdi壓強
2真空泵的抽氣速率
泵的抽氣速率單位是M3/S或L/S,是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗罩,并按規(guī)定條件工作時,從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩指定位置測得的平衡壓強之比簡稱泵的抽速
3真空泵的抽氣量
真空泵的抽氣量單位是PA M3/S或PA L/S是指泵入口的氣體流量
4真空泵的起動壓強
真空泵的起動壓強單位為PA,它是指泵無損壞起動并有抽氣作用時的壓強
5泵的前級壓強
真空泵的前級壓強單位是PA,它是指排氣壓強低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強
6真空泵的Zda前級壓強
真空泵口Zda前級壓強單位是PA,它是指超過了能使泵損壞的前級壓強
7真空泵的Zda工作壓強
真空泵的Zda工作壓強單位是PA,它是指對應(yīng)Zda抽氣量的入口壓強在此壓強下,泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞
8壓縮比
壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比
9何氏系數(shù)
泵抽氣通道面積上的實際抽速與該處按分子瀉流計算的理論抽速之比
10抽速系數(shù)
泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比
11返流率
泵的返流率單位是G/CM2.S它是指泵按規(guī)定條件工作時,通過泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率
12水蒸氣允許量
水蒸氣的允許量單位是KG/H,它是指泵在正常環(huán)境條件下,氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量
13Zda允許水蒸氣入口壓強
Zda允許水蒸氣入口壓強單位是PA 它是指在正常環(huán)境條件下,氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時所能抽除的水蒸氣的Z高入口壓強
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