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濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對濕度是無塵車間潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件半導(dǎo)體無塵車間潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)

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