PFA實(shí)驗(yàn)室器皿購(gòu)買后S次使用前的初始清潔

僅供參考，實(shí)驗(yàn)人員可按照自己的清洗方法在此基礎(chǔ)上按照自身需求加以改善。

a）適用對(duì)象：一般常規(guī)PFA器皿

過(guò)程：1. 用去離子水 (DIW) 徹底沖洗實(shí)驗(yàn)室器皿內(nèi)部和外部，以去除任何表面污染

2. 如果有條件，可以通過(guò)浸泡在溫和堿性清潔劑（如： 1% Micro 90）的溶液中并加熱至 100°C 以去除任何有機(jī)殘留物來(lái)實(shí)現(xiàn)更徹底的清潔。 讓其冷卻并用 DIW 沖洗干凈。

b）適用對(duì)象：痕量金屬實(shí)驗(yàn)室

1. 用去離子水（DIW）徹底沖洗瓶子

2. 灌滿2%高純HNO3+1%高純HF的混合溶液（如果沒(méi)有HF，可單獨(dú)使用 HNO3），擰緊瓶蓋密封

3. 將瓶子在 50°C 下至少存放 48 小時(shí)（如果可以是 7 天）

4. 清空瓶子并用 DIW 徹底沖洗

5. 重復(fù)步驟 2-4

6. 完成清潔，瓶子現(xiàn)在可以用于超痕量使用

瑞尼克提供的清洗工具

a）PFA清洗罐

由高純PFA材質(zhì)制成，專為熱浸泡清洗設(shè)計(jì)，與傳統(tǒng)玻璃燒杯相比，更結(jié)實(shí)。該小瓶清洗系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，可以消除空氣引入的污染，同時(shí)避免酸揮發(fā)引起的環(huán)境污染。可拆卸的倒酸口，可安全倒出酸液，便于取出實(shí)驗(yàn)器皿。

a）PFA酸缸

PFA清洗槽是即四氟清洗桶后的升級(jí)款，專為半導(dǎo)體光伏光電等行業(yè)設(shè)計(jì)的，一體成型，無(wú)需擔(dān)心漏液。主要用于浸泡、清洗帶芯片硅片電池片的花籃。由于PFA的特點(diǎn)它能耐受清洗溶液的腐蝕性，同時(shí)金屬元素值低，無(wú)溶出無(wú)析出，不會(huì)污染芯片晶圓等。

a）防腐加熱板